SU851143A1

SU851143A1 - Устройство дл измерени парциаль-НОгО дАВлЕНи КиСлОРОдА B ВАКууМЕ

Info

Publication number: SU851143A1
Application number: SU792807959A
Authority: SU
Inventors: Сергей Павлович Голубков; Петр Михайлович Таланчук; Геннадий Михайлович Гаврилов; Зорян Петрович Комаровский; Александр Михайлович Пенцак; Василий Козьмич Гришин; Юрий Николаевич Окуневский; Леонид Александрович Суслин
Priority date: 1979-08-03
Filing date: 1979-08-03
Publication date: 1981-07-30

Description

Изобретение относится к газоаналитической технике и может быть использовано при исследовании взаимодействия кислорода с поверхностями твердых тел.

Известен полупроводниковый измеритель парциального давления газов, включающий корпус, на котором закреплён чувствительный элемент, содержащий чувствительный слой и нагреватель [Ц.

Недостатком этого измерителя является высокая температура чувствительного слоя.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является измеритель парциального давления кислорода, содержащий корпус, катод, покрытый, чувствительным слоем из окиси циркония, и анод. Температура катода поддерживается постоянной с помощью нагревателя и термометра сопротивления, включенных в мостовую схему [2].

Недостатком этого измерителя является высокая температура чувствительного слоя, вызывающая изменение состава газов, что вносит погрешности в измерения.

Цель изобретения - повышение точ10 ности измерения.

Указанная цель достигается тем, что в чувствительный слой введен редкоземельный или щелочно-земельный или переходный металл, а в устройство введена диэлектрическая подложка, причем термометр сопротивления, нагреватель и чувствительный слой с катодом и анодом последовательно расположены на ней в виде слоев и разделены диэлектриком.

На фиг. 1 изображено устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, в плане.

Устройство содержит корпус 1 с крышкой 2. На корпусе закреплены изоляторы 3, на которых расположена подложка 4. · На подложке. 4 расположены слой термометра 5 сопротивления с контактными площадками 6, диэлектрик 7, слой нагревателя 8 с контактными площадками 9, диэлектрик 10, чувствительный слой 11 с катодом и анодом и с контактными площадками 12.

Устройство работает следующим образом .

При взаимодействии молекул кислорода с поверхностью чувствительного слоя 11 при 400-600^0, изменяется сопротивление чувствительного слоя 11.

Величина сопротивления чувствительного слоя 11 является функцией парциального давления кислорода в вакууме* Получение температуры 400600^вС и измерение ее величины осуществляются соответственно нагревателем 8 и термометром 5 сопротивления.

Селективность измерения кислорода в смеси газов обеспечивается добавлением в чувствительный слой металла.

Таким образом, введение в чувствительный слой металла, например серебра, позволяет уменьшить погрешность измерения кислорода за счет снижения температуры чувствительного слоя.

Claims

Изобретение относитс к газоаналитической технике и может быть использовано при исследовании взаимодействи кислорода с поверхност ми твердых тел. Известен полупроводниковый измеритель парцисшьного давлени газов, включающий корпус, на котором закреплён чувствительный элемент, соде жащий чувствительный слой и нагреватель 1. Недостатком этого измерител вл етс высока температура чувствительного сло . Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс измеритель парциального давлени кислорода, содержащий корпус, катод покрытый, чувствительным слоем из окиси циркони , и анод. Температура катода поддерживаетс посто нной с помощью нагревател и термометра сопротивлени , включенных в мостовую схему 2. Недостатком этого измерител вл етс высока температура чувствительного сло, вызывающа изменение состава газов, что вносит погрешности в измерени . Цель изобретени - повышение точности измерени . Указанна цель достигаетс тем, что в чувствительный слой введен редкоземельный или щелочно-земельный или переходный металл, а в устройство введена диэлектрическа подложка , причем термометр сопротивлени , нагреватель и чувствительный слой с катодом и анодом последовательно расположены на ней в виде слоев и разделены диэлектриком. На фиг. 1 изображено устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, в плане. Устройство содержит корпус 1 с крышкой 2. На корпусе закреплены изол торы 3, на которых расположена подложка 4.На подложке. 4 расположены слой термометра 5 сопротивлени с контактными площадками 6, диэлектрик 7, слой нагревател 8 с контактными площадками 9, диэлектрик 10, чувствительный слой 11 с катодом и анодом и с контактными площадками 12. Устройство работает следукндим образом . При взаимодействии молекул кислорода с поверхностью чувствительного сло 11 при 400-600 С измен етс сопротивление чувствительного сло 11. Величина сопротивлени чувствительного сло 11 вл етс функцией парциального давлени кислорода в вакууме Получение температуры 400600 С и измерение ее величины осуществл ютс соответственно нагревателем 8 и термометром 5 сопротивлени . Селективность измерени кислород в смеси газов обеспечиваетс д обавлением в чувствительный слой металл Таким образом, введение в чувствительный слой меташла, например се ребра, позвол ет уменьшить погрешность измерени кислорода за счет снижени температуры чувствительного сло . Формула изобретени Устройство дл измерени парциального давлени -кислорода в вакуг уме, содержащее корпус, анод, катод , чувствительный слой из окиси циркони и нагреватель с термометром сопротивлени , отличающеес тем, что, с целью повышени точности измерени , в чувствительный слой введен редкоземельный или щелочноземельный или переходный металл, а в устройство введена диэлектрическа подложка, причем термометр сопротивлени , нагреватель и чувствительный слой с катодом и анодом последовательно расположены на ней в виде слоев и разделены диэлектриком . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент США 3479257, кл. 204-1,18.11.69.
2.За вка Великобритании 1301931, кл. G 1 N, 04.01.73 (прототип).