SU842398A1

SU842398A1 - Device for checking planeness of transparent articles

Info

Publication number: SU842398A1
Application number: SU792745046A
Authority: SU
Inventors: Илья Ефимович Завин; Евгений Александрович Кусман; Владимир Егорович Матюшков
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6495
Priority date: 1979-04-04
Filing date: 1979-04-04
Publication date: 1981-06-30

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ ПРОЗРАЧНЫХ ДЕТАЛЕЙ(54) DEVICE TO CONTROL THE PLANE OF TRANSPARENT DETAILS

где D - световой диаметр оптического клина;where D is the light diameter of the optical wedge;

А - тангенс апертурного угла коллиматора.And - the tangent of the aperture angle of the collimator.

На чертеже изображена оптическа схема устройства.The drawing shows the optical layout of the device.

Устройство содержит источник 1 монохроматического излучени и последовательно расположенные по ходу излучени зеркало 2, коллиматор,включакнций . два конфокально расположенных объектива 3 и 4, кхшновидную пластину 5 с эталонной нижней поверхностью второе зеркало6, плоскость 7 наблюдени интерферьенционной картины, отклон ющий элемент 8, установленный с возможностью изменени его положени относительно оптической оси и расположенный между объективами 3 и 4 на рассто нии Ь от их фокальной плос ,кости.The device contains a source of 1 monochromatic radiation and a mirror 2 sequentially arranged along the radiation path, a collimator, and an on / off switch. two confocal lenses 3 and 4, a cusp-shaped plate 5 with a reference lower surface, a second mirror 6, an interference pattern observation plane 7, a deflecting element 8 installed with the possibility of changing its position relative to the optical axis and located between lenses 3 and 4 at a distance b from their focal flat bones.

Устройство работает следук цим образом .The device works in the following way.

Излучение от источника 1 монохроматического излучени направл етс зеркалом 2 на объектив 3,The radiation from the monochromatic radiation source 1 is directed by the mirror 2 to the lens 3,

Пройд отклон ющий элемент 8, излучение попадает на объектив 4 коллиматора , затем на клиновидную пластину 5 и контролируемую деталь 9. Излучение.отраженное от контролируемой детали 9 и эталонной нижней поверхности клиновидной пластины 5,интерферирует и направл етс вторым зеркалом 6 в плоскость 7 наблюдени интерференционной картины. На исследуемую интерференционную картину накладываютс паразитные картины, которые устран ютс отклон ющим элементом 8, установленным с возможностью либо возвратно-поступательного движени относительно оптической оси, либо колебани относительно той же оси, что приводитjK изменению угла падени излучени , вызьшакпцего изменение разности хода интерферирующего излучени , отраженного от двухPassing the deflecting element 8, the radiation hits the collimator lens 4, then the wedge-shaped plate 5 and the test piece 9. The radiation reflected from the test piece 9 and the reference lower surface of the wedge-shaped plate 5 interferes and is guided by the second mirror 6 into the plane 7 of the interference pattern the pictures. Parasitic patterns are superimposed on the studied interference pattern, which are eliminated by the deflecting element 8, installed with the possibility of either reciprocating movement about the optical axis, or oscillations about the same axis, which causes the j to change the angle of incidence of the interfering radiation reflected from two

поверхностей контролируемой детали 9. В результате чего паразитна интерференционна картина смещаетс на величину,, равную ширине одной полосыsurfaces of the test piece 9. As a result, the parasitic interference pattern is displaced by an amount, equal to the width of one band

и при периодическом изменении угла падени излучени вследствие изменени , положени отклон ющего элемейja В паразитна интерференционна картина размываетс , а размытые полезной интерференционной картины незначительно .and with a periodic change in the angle of incidence of the radiation due to a change in the position of the deflecting element B, the parasitic interference pattern is blurred and the blurred useful interference pattern is insignificant.

Claims

Invention Formula

A device for controlling the flatness of transparent parts, containing a source of monochromatic radiation and a successively arranged mirror along the radiation path, a collimator comprising two confocal lenses, a wedge-shaped plate with a reference lower surface, a second mirror, an interference pattern observation plane and a deflectable element installed its position relative to the optical axis, which is due to the fact that, in order to increase the control accuracy, the lement is in the form of optical wedges disposed between two lenses spaced

. 1L

from their focal plane, where D is the optical diameter of the optical CB

wedge;

And - tangent of aperture angle

Sources of information taken into account in the examination

1, US Patent No. 4072423, cl. 356-106, 1977.

2. USSR author's certificate

No. 357462, cl. G 01 V. 9/02, 1972 (prototype),