SU837847A1 - Микроманипул тор - Google Patents

Description

(54) МИКРОМАНИПУЛЯТОР

Изобретение относитс  к вакуумной технике , а именно к устройствам дл  перемещени  объектов исследовани  в высоковакуумных камерах. Известен микромакипул тор, содержащий корпус, несущую платформу с закрепленным на ней предметным столом, направл ющие и стакан с фланцем дл  подсоединени  к вакуумной камере 1. Недостатком данного мйкроманипул тора  вл етс  сложность конструкции и низкие эксплуатационные качества. Цель изобретени  - устранение указанных недостатков, т.е. упрощение конструкции и повыщение эксплуатационных качеств. Цель достигаетс  тем, что микроманипул тор снабжен двум  блоками горизонтального и вертикального перемещений предметного стола, состо щим из двигателей и сельсин-датчиков, и двум  ходовыми винтами , установленными соответственно на платформе и в стакане, причем блок горизонтального перемещени  размещен внутри вакуумной камеры и кинематически св зан с ходовым винтом, установленным на платформе , а блок вертикального перемещени  размещен снаружи вакуумной камеры и кинематически св зан с ходовым винтом, установленным в стакане. На фиг. 1 изображен микроманипул тор, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1. Микроманипул тор имеет корпус 1 и жестко св занный с ним фланец 2. В-корпусе расположен подвижный стакан 3 с фланцем, внутри которого проходит ходовой винт 4, и вакуумный ввод 5 движени . На нижнем конце ходового винта закреплена коническа  щестерн  6, котора  через конические щестерни 7 св зана с блоком, состо щим из электродвигател  8 и сельсиндатчика 9. На верхнем конце подвижного стакана закреплена несуща  платформа 10, на которой расположены направл ющие 11 с предметным столом 12, св занным с ходовым винтом 13. Ходовой винт 13 через конические щестерни 14 и 15 св зан с блоком, состо щим из электродвигател  16 и сельсин датчика 17. Вакуумный ввод 5 движени  имеет , например, такую конструкцию, В корпусе 1 установлены подщипники 18, втулка 19. Неподвижный стакан 20 с уплотнением 21 установлена на нижнем конце корпуса

координатного механизма. Внутри неподвижного стакана расположены вставка 22, кольцо 23, уплотнители 24 и 25, шайба 26, гайка 27.

Устройство работает следующи.м образом .

С помощью фланца 2 герметично подсоедин етс  к вакуумной камере микроманипул тор . От электродвигател  8 через конические шестерни 6 и 7 приводитс  во вращение ходовой винт 4, передающий вертикальное перемещение подвижному стакану 3. Стакан 3 жестко св зан с несущей платформой 10, на которой находитс  предметный стол 12, следовательно, несуща  платформа и предметный стол также перемещаетс  вертикально. Сельсин-датчик 9 через конические щестерни 6 и 7 св зан с ходовым винтом 4 и отсчитывает вертикальные перемещени  объекта исследовани , расположенного на предметном столе 12. От электродвигател  16 через конические щестерни 14 и 15 приводитс  во вращение ходовой винт 13, передаюп ий горизонтальное перемещение предметному столу 12. Сельсин-датчик 17 через конические шестерни 14 и 15 св зан с ходовым винтом 13 и отсчитывает горизонтальные перемещени  . f

екта исследовани , расположенного на предметном столе 12.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Микроманипул тор, содержащий несущую платформу с закрепленным на ней предметным столом, направл ющие и стакан с фланцем дл  подсоединени  к вакуумной камере, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  конструкции и повыщени  эксплуатационных качеств, он снабжен двум  блоками горизонтального и вертикального перемещений предметного стола, состо щими из двигателей и сельсин-датчиков, и дву.м  ходовыми винтами, установленны.ми соответственно на платфор.ме и в стакане, приче.м блок горизонтального перемещени  размещен внутри вакуумной камеры и кинематически св зан с ходовым винто.м, установленным на платформе, а блок вертикального перемещени  размещен снаружи вакуумной камеры и кинематиче;ски св зан с винтом, установленны.м в стакане.

   Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 363578, кл. В 25 J 7/00, 1971.

   л - А

   fPv3.2

   20

   фиг. 5