SU833492A1

SU833492A1 - Способ очистки графитовых изделий

Info

Publication number: SU833492A1
Application number: SU792829676A
Authority: SU
Inventors: Михаил Алексеевич Авдеенко; Ювеналий Валерьевич Новак
Original assignee: Предприятие П/Я М- 5409
Priority date: 1979-09-12
Filing date: 1979-09-12
Publication date: 1981-05-30

Description

(54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ГРАФИТОВЫХ ИЗДЕЛИЙ

I

Изобретение относитс к технологии очистки графитовых изделий, используемых например, в полпроводниковой технике.

По основному авт. св. № 394303 известен способ очистки графитовых изделий путем нагревани их в среде инертного газа, а затем в смеси с галоидосрдержащим газом с последующим охлаждением а вакууме 1.

Недостатком известного способа вл етс то, что издели оказываютс загр зненными кислородом, который проникает в них вместе с воздухом во врем извлечени охлажденных изделий из вакуума. Промышленный технологический процесс очистки графитовых изделий, основанный на данном способе , предусматривает, что после охлаждени изделий в вакуумной камере ее заполн ют воздухом и затем извлекают из нее издели . При этом происходит загр знение изделий кислородом, проникающим вместе с воздухом в поры изделий.

Дл многих изделий наличие в них кислорода крайне нежелательно или вообще недопустимо , так как он при высоких температурах их эксплуатации окисл ет графит и вызывает его эрозию, снижа тем самым механическую прочность изделий и срок: их службы. Б св зи с этим, такие издели перед эксплуатацией подвергают дополнительной операции - дегазации от кислорода в вакууме при высокой температуре с последующим заполнением их пор инертным газом .

Цель изобретени - предотвращение загр знени очищенных изделий кислородом путем усоверщенствовани известного способа очистки.

Поставленна цель достигаетс тем, что издели очищают путем нагревани в среде инертного газа, затем в смеси с галоидосодержащим газом с последующим охлаждением в вакууме и после о.хлаждени в вакууме в издели подают инертный газ- с повыщением давлени до атмосферного.

Пример. Графитовые тигли дл выращивани монокристаллов загружают в графитовом контейнере в электрическую печь сопротивлени и герметически закрывают ее. Тигли нагревают в печи со скоростью 20°С/мин сначала в среде аргона (или гели ), а начина с 1000°С в смеси аргона (или гели ) с 3 о.б.% дихлордифторметана

(фреона-12). Давление в печи атмосферное При достижении 2400°С, не прекраща подачу смеси газов, провод т изотермическую выдержку в течение 20 мин, после чего подачу газов прекращают, а контейнер с тигл ми перенос т в камеру охлаждени , герметически закрывают ее и вакуумируют до разр жени пор дка I-IO мм рт. ст. После охлаждени изделий (тиглей) в камере до 30-40°С (приблизительно за 3 ч) ее заполн ют аргоном (или гелием) комнатной температуры до тех пор, пока давление сней не сравн етс с атмосферным, затем камеру открывают и извлекают из нее очищенные издели . Содержание металлических примесей в них контролируют спектральСодержание примесей, вес. Ixio 3x10 -С 1x10

Claims

Формула изобретени

Способ очистки графитовых изделий по авт. св. № 394303, отличающийс тем, что с целью предотвращени загр знени изделий кислородом, после охлаждени в вакуным анализом, а содержание кислорода - методом импульсного нагрева. / Сравнительные результаты анализа предлагаемого и известного способов приведены в таблице.

Из представленных данных видно, что предлагаыемый способ по сравнению с известным позвол ет получать значительно более низкое содержание кислорода в издели х при аналогичном содержании в них металлических примесей. Это говорит о том, что предлагаемый способ позвол ет предохранить загр знение изделий кислородом и за счет этого повысить их эксплуатационные характеристики.

уме в издели подают инертный газ с повыщением давлени до атмосферного.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 394303, кл. О 01 В 31/04, 1971. Предлагаемый (инаргный газ-аргон или гелий) 1х10 1х10 1х1О Ixio 1х1о Ixio Известный Ixio 1х10 Ixio 1x10 1х10 1х10