Изобретение относитс к вакуумно технике, в частности к тепловым маномерам . По основному авт. св. № 605136 и вестен манометр, у которого нагрева ема нить выполнена из биметалла, внутренний и наружный слой которого выполн ют роль термопары 1. Недостатками известного манометр вл ютс низка чувствительность и стабильность. Цель изобретени - повышение чув вительности и стабильности за счет исключени вли ни цепи.питани на цепь измерени термоэдс. Эта цель достигаетс тем, что Б тепловом манометре, в нагреваемой нити между наружным и внутренним сло ми биметалла размещен слой диэлектрика . Введение изол тора между нитью накала и термопарой приводит к повышению чувствительности и стабил ности измерени давлени , так как цепи питани нити накала и измерени термоэдс термопары не вли ют друг на друга. На чертеже изображен предлагаекы манометр. Манометр содержит внешнюю нить 1а - 16, внутреннюю нить 2а - 26, изол ционный слой За -36, трансформатор 4, милливольтметр 5 и компенсирующие емкости 6. Устройство работает следующим образом. Трансформатор 4 подключают к концам внешнего сло 1а - 16, милливольтметр 5 - к средней точке трансформатора 4 и центру внутреннего сло 2а - 2 б.При подаче переменного напр жени питани на нити1а - 2а и 16 - 26 от трансформатора 4 они нагреваютс и при этом возникает термоэдс в термопаре 1а - 2а и 16-26, Величина термоэдс. измер етс прибором-5 . При изменении давлени Т;ёмпература нити измен етс , мен ет-с и термоэдс , что служит мерой давлени . Применение предлагаемого манометра позволит значительно повысить чувствительность и стабильность при измерении давлени газа в вакуумных системах и установках, а изготовление рабочих элементов с помощью напылительной техники позволит получать идентичные гоадуировочные кривыеThe invention relates to vacuum technology, in particular to thermal manometers. According to the main author. St. No. 605136 and it is known a pressure gauge in which the heated thread is made of bimetal, the inner and outer layer of which perform the role of thermocouple 1. The disadvantages of the known pressure gauge are low sensitivity and stability. The purpose of the invention is to increase sensitivity and stability by eliminating the effect of the supply circuit on the thermopower measurement circuit. This goal is achieved by the fact that a thermal gauge B, in the heated filament between the outer and inner layers of the bimetal, is placed a dielectric layer. The introduction of an insulator between the filament and the thermocouple leads to an increase in the sensitivity and stability of the pressure measurement, since the power supply lines of the filament and the thermopair thermopair measurements do not affect each other. The drawing shows the gauge. The pressure gauge contains an external thread 1a - 16, an internal thread 2a - 26, an insulating layer Behind -36, a transformer 4, a millivoltmeter 5 and compensating capacitors 6. The device operates as follows. Transformer 4 is connected to the ends of the outer layer 1a - 16, millivoltmeter 5 - to the midpoint of transformer 4 and the center of the inner layer 2a - 2 b. Thermopower arises in the thermocouple 1a - 2a and 16-26, the magnitude of the thermopower. measured by instrument-5. With a change in pressure T; the temperature of the filament changes, changes e s and thermopower, which serves as a measure of pressure. The use of the proposed gauge will significantly improve the sensitivity and stability when measuring gas pressure in vacuum systems and installations, and the production of working elements using the sputtering technique will allow you to get identical guiding curves
манометров и хорошую повтор емость от образца к образцу.gauges and good repeatability from sample to sample.