SU815490A1

SU815490A1 - Device for measuring turn angle of object

Info

Publication number: SU815490A1
Application number: SU792777822A
Authority: SU
Inventors: Феликс Иванович Кокоулин
Original assignee: Специальное Конструкторское Бюронаучного Приборостроениясо Ah Cccp
Priority date: 1979-06-08
Filing date: 1979-06-08
Publication date: 1981-03-23

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА(54) DEVICE FOR MEASURING ANGULAR DISPLACEMENTS OF AN OBJECT

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени угловых перемещений объекта, например подвижного зеркала дефлектора. The invention relates to a measurement technique and can be used to measure the angular displacements of an object, for example, a movable mirror of a deflector.

Известен двухлучевой интерферометр дл измерени линейных перемещений , в измерительном плече которого под некоторым углом к световому лучу установлены два параллельных зеркала. Интерферометром можно измер ть угловые перемещени , если оба зеркала закрепить на подвижном объекте .A two-beam interferometer is known for measuring linear displacements, in the measuring arm of which two parallel mirrors are installed at an angle to the light beam. The interferometer can measure the angular displacements if both mirrors are mounted on a moving object.

Недостаток известного интерферометра заключаетс в вно выраженной нелинейной зависимости изменени раности оптических ходов лучей от угла поворота объекта.A disadvantage of the known interferometer is the clearly pronounced nonlinear dependence of the variation in the optical paths of the rays on the angle of rotation of the object.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс . устройство дл измерени угловых перемещений объекта, содержащее источник света, двухлучевой интерферометр , в одном плече которого установлен укрепленный на объекте оптический элемент дл параллельного смещени луча, и Приемный блок .The closest in technical essence to the proposed is. a device for measuring the angular displacements of an object, which contains a light source, a two-beam interferometer, in one arm of which an optical element fixed to the object is installed for parallel displacement of the beam, and a receiver unit.

Недостаток устройства заключаетс в нелинейной зависимости изменени разности оптических ходов лучей от угла поворота объекта и в низкой чувствительности измерени .The drawback of the device lies in the non-linear dependence of the change in the difference of the optical paths of the rays on the angle of rotation of the object and in the low sensitivity of the measurement.

Целью изобретени вл етс повышение чувствительности и линейности измерени .The aim of the invention is to increase the sensitivity and linearity of the measurement.

Поставленна цель достигаетс тем, что устройство снабжено идентичным оптическим элементом, жестко св зан0 ным с первым и установленным в другом плече интерферометра.The goal is achieved by the fact that the device is equipped with an identical optical element, which is rigidly connected with the first and installed in the other arm of the interferometer.

На чертеже изображена принципиальна схема устройства дл измерени угловых перемещений объекта.The drawing is a schematic diagram of a device for measuring the angular movements of an object.

Устройство содержит источник 1 The device contains source 1

5 света, светоделитель 2, два жестко св занных идентичных оптических элемента 3 и 4 дл параллельного смещени луча,- опорные отражатели 5 и 6 и 5 light, a beam splitter 2, two rigidly coupled identical optical elements 3 and 4 for parallel displacement of the beam - reference reflectors 5 and 6 and

0 приег гный блок 7.0 primary unit 7.

Работает устройство следующим образомThe device works as follows

Параллельный пучок света от источника 1 света делитс светоделителем A parallel beam of light from light source 1 is divided by a beam splitter.

5 2 на две ветви. В каждой ветви лучи, пройд через оптические элементы 3 и 4, параллельно смещаютс и далее, отразившись от опорных отражателей 5 и 6, возвращаютс по первоньчгшьному светоделитель 2, интерфери05 2 into two branches. In each branch, the rays, passing through the optical elements 3 and 4, are parallelly displaced and further, reflected from the supporting reflectors 5 and 6, and return via the primary beamsplitter 2, interferi0

Claims

A device for measuring the angular displacements of an object, containing a light source, a two-beam interferometer, in one arm of which 25 an optical element is mounted on the object for parallel beam displacement, and a receiving unit, characterized in that, in order to increase the sensitivity and linearity of measurement, it equipped with ⁵⁰ identical optical element rigidly connected to the first and installed in the other arm of the interferometer. Sources of information taken into account during the examination 35 1. USSR copyright certificate