SU815488A1 - Интегрально-оптический тензодатчик - Google Patents
Интегрально-оптический тензодатчик Download PDFInfo
- Publication number
- SU815488A1 SU815488A1 SU792776521A SU2776521A SU815488A1 SU 815488 A1 SU815488 A1 SU 815488A1 SU 792776521 A SU792776521 A SU 792776521A SU 2776521 A SU2776521 A SU 2776521A SU 815488 A1 SU815488 A1 SU 815488A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- strain gauge
- integrated optical
- photodetector
- optical strain
- optical
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к тензометрии и может быть использовано дл измерени механических напр жений.
Известны оптические датчики механических напр жений, состо щие из оптического волоконного световода и внешних источников излучени , пол ризатора , анализатора и фотоприемника l
Недостатком этого устройства вл етс низка чувствительность к механическим напр жени м из-за депол ризадии излучени в волоконном световоде .
.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс ин гегральной-оптический тензодатчик, ссщержащий источник излучени , фотоприемник и подложку с тензочувствительным элементов в виде полупроводникового волновода, выполненного по планарной технологии, соединенные между собой волоконными световодами 2 .
Недостатком этого устройства вл етс , то, что необходимы внешние источник излучени и фотоприемник, что усложн ет конструкцию, а наличие волоконных световодов снижает чувствительность устройства из-за депол ризации излучени .
Цель изобретени - повышение чувствительности и упрощение конструкции тензодатчика.
С этой целью источник излучени и фотоприемник выполнены из полупроводника на той же подложке по планарной технологии, асостав материала полупроводника волновода отличаетс на 1-5% по одной из компонент от материала полупроводника источника излучени и фотоприемника.
На чертеже показана схема интегрально-оптического тензодатчика.
Тензодатчик содержит подложку 1 с нанесенными на нее по планарной технологии источником 2, фотоприемником 3 и тензочувствительным элементом в виде волновода 4.
Интегрально-оптический тензодатчик работает следующим образом.
Световое излучение от источника 2 распростран етс по полупроводниковому волноводу 4 и регистрируетс фотоприемником 3. При приложении механического воздействи Р к волноводу 4 его параметры измен ютс , что приводит к модул ции излучени и изменению сигнала с фотоприемника 3. Интегрально оптический датчик подобного типа обладает небольшими габаритами и имеет высокую чувствительность .
Claims (1)
1.Патент США Ц 3645603, кл. 350-149, 1Э72 {аналог) .
2,Авторское свидетельство СССР по за вке № 2633824/25-28
кл, G 01 В 11/16, 1978 (прототип;.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792776521A SU815488A1 (ru) | 1979-06-04 | 1979-06-04 | Интегрально-оптический тензодатчик |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792776521A SU815488A1 (ru) | 1979-06-04 | 1979-06-04 | Интегрально-оптический тензодатчик |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU815488A1 true SU815488A1 (ru) | 1981-03-23 |
Family
ID=20832160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792776521A SU815488A1 (ru) | 1979-06-04 | 1979-06-04 | Интегрально-оптический тензодатчик |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU815488A1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4692610A (en) * | 1986-01-30 | 1987-09-08 | Grumman Aerospace Corporation | Fiber optic aircraft load relief control system |
| US4734577A (en) * | 1986-01-30 | 1988-03-29 | Grumman Aerospace Corporation | Continuous strain measurement along a span |
| US4947693A (en) * | 1987-07-28 | 1990-08-14 | Grumman Aerospace Corporation | Discrete strain sensor |
-
1979
- 1979-06-04 SU SU792776521A patent/SU815488A1/ru active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4692610A (en) * | 1986-01-30 | 1987-09-08 | Grumman Aerospace Corporation | Fiber optic aircraft load relief control system |
| US4734577A (en) * | 1986-01-30 | 1988-03-29 | Grumman Aerospace Corporation | Continuous strain measurement along a span |
| US4947693A (en) * | 1987-07-28 | 1990-08-14 | Grumman Aerospace Corporation | Discrete strain sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2155623A (en) | Fibre optic sensor | |
| ATE64456T1 (de) | Optische messvorrichtung mit verwendung eines spektralmodulierenden sensors mit optisch resonierender struktur. | |
| Zou et al. | Wide range FBG displacement sensor based on twin-core fiber filter | |
| ATE101715T1 (de) | Fiberoptischer sensor. | |
| DE60214852D1 (de) | Differenzmesssystem auf der basis der benutzung von paaren von bragg-gittern | |
| JPH052086B2 (ru) | ||
| Jin et al. | Optical fiber sensor for simultaneous measurement of strain and temperature | |
| SU815488A1 (ru) | Интегрально-оптический тензодатчик | |
| SU1067349A1 (ru) | Чувствительный элемент оптического тензодатчика деформаций | |
| SU847085A1 (ru) | Тензофотопреобразователь | |
| KR100234007B1 (ko) | 스트레인 측정 장치 | |
| SU896396A1 (ru) | Интегрально-оптический тензодатчик | |
| SU1029001A1 (ru) | Оптический тензодатчик | |
| SU1686321A1 (ru) | Устройство дл измерени звукового давлени | |
| SU430323A1 (ru) | Пьезооптический акселерометр | |
| SU1318785A1 (ru) | Чувствительный элемент волоконнооптического тензодатчика | |
| SU549693A1 (ru) | Динамометр | |
| SU1265469A1 (ru) | Устройство дл измерени больших деформаций | |
| SU1017921A1 (ru) | Интегрально-оптический тензодатчик | |
| SU1035417A1 (ru) | Интегрально-оптический тензодатчик | |
| Bock et al. | Fiber-optic strain-gauge manometer up to 100 MPa | |
| SU1092361A1 (ru) | Интегрально-оптический тензодатчик | |
| SU1446496A1 (ru) | Пьезооптический измеритель механических величин | |
| JPS5930032A (ja) | 光フアイバ温度計 | |
| SU672525A1 (ru) | Датчик давлени |