SU813226A1 - Емкостной преобразователь дл изМЕРЕНи удЕльНОгО СОпРОТиВлЕНи - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к измерител ной технике и предназначено дл  конт рол  и измерени  удельного сопротивлени  полупроводниковых материалов. Известны емкостные преобразователи , предназначенные дл  измерени  тангенса угла потерь или удельного сопротивлени , в которых электроды изготовлены в виде плоскопараллельных полосок, дисков или полукруговых дисков l . Недостатками известных преобразователей  вл етс  отсутствие экраниро вани  (незг мкнутость внешних электро дов), большие помехи,возникающие от посторонних электромагнитных полей и невозможность уменьшени  размеров электродов без значительного ухудшени  чувствительности, т.е. получени  локальности измерений. Ближайшим по техническому решению к предлагаемому  вл етс  емкостной преобразователь, содержащий основание с высркопотенциальным и низкопотенциальным электродами в виде пло кого диска и окрулсак цего его кольца 2:1. Недостатки данного преобразовател  заключаютс  в том, что малый зазор между внутренним и внешним электродами и больша  площадь торцовой поверхности (рабочей части электродов ) преобразовател  привод т к низкой чувствительности по сопротивлению , больша  бокова  поверхность преобразовател  определ ет значительную емкость на землю и приводит к погрешност м измерени , в невозможности точного согласовани  выходного сопротивлени  преобразовател  и входного сог ротивлени  измерительного прибора вследствие применени  элементов с сосредоточенными и распределительными параметрами. Цель изобретени  - повьииение чувствительности к сопротивлению, точности , локальности, стабильности первичного преобразовател  и обеспечени  независимости измерений от толщины измер емого матери.аша. Эта цель достигаетс  тем, что в предлагаемом преобразователе электроды нанесены на основание таким образом, чтобы рассто ние между ними по отношению к ширине Кс1ждого электрода удовлетвор ло условию

где г,( - радиус внепотенциального

электрода; г - внутренний радиус ниэкопотенциального электрода; Гд - внвиний радиус низкопотенциального электрода. На фиг. 1 изображен емкостный преобразователь с измер емым образцом, разрез А-А на фиг. 2, на фиг. 2 преобразователь , вид сверху, без образца .

Емкостйый преобразователь содержит высокопотенцйальный электрод 1, заземл е1 1ый электрод 2 и диэлектрическое основание 3.

Образец 4 материала помещают на кольцеобразный выступ основани  3. Зазор, образующийс  между электродами 1 и 2 и образцом 4, представл ет собой емкость св зи. Высокочастотна  энерги  от генератора наводитс  через емкость св зи и выдел етс  (рассеиваетс ) в объеме образца. Это процесс отображаетс  эквивгипентной схемой в виде параллельного или последовательного соединени  активного сопротивлени  и емкости. Применение вышеуказанных соотнс иений размеров электродов 1 и 2 увеличивает длину линий тока и уменьшает плсвдадь эх ектродов , тем самым повышаетс  чувствительность к сопротивлению и снижаетс  к емкости.

Заземл емый электрод 2 в форме коцентрического кольца экранирует рабочую зону преобразовател  от внешних электромагнитных полей, и тем самлм повышаетс  точность измерений.

Предлагаема  конфигураци  электродов и высока  чувствительность дают возможность соответственно уменьшить размеры преобразовател  и получить рабочее поле, сосредоточенное в малом объеме, т.е. локальность и незавсимость измерений от толщины образца

С помощью предлагаемого преобразовател  совместно с резонансным или мостовым измерительным прибором возможно осуществл ть неразрушаюЬщй контроль исходного полупроводникового материала и распределение его на группы по величине удельного сопротивле ,ни  без повреждени  и загр знени  поверхности материала.

Claims (2)

1.Нетуш А.В. идр. Высокочастотный нагрев диэлектриков и полупроводников . М.-Л., Госэнергоиздат, 1959 с. 169-182.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 283636, кл. G 01 N 27/22, 1969 (прототип ) .

Т