SU804956A1

SU804956A1 - Устройство дл возвратно-поступательногопЕРЕМЕщЕНи B ВАКууМЕ

Info

Publication number: SU804956A1
Application number: SU792738979A
Authority: SU
Inventors: Александр Петрович Мерзликин; Сергей Леонидович Кудрявцев; Николай Семенович Кузин; Михаил Сергеевич Казаков
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6601
Priority date: 1979-03-22
Filing date: 1979-03-22
Publication date: 1981-02-15

Description

1

Изобретение относитс к машино строению и может быть использовано в устройствах вакуумной техники.

Известно устройство дл передачи возвратно-поступательного перемещени в вакууме, содержащее корпус, установленное в нем ведущее звено, выполненное в виде штока, соединенного с корпусом сильфоном, ведомое звено, св занное сильфоном с ведущи звеном tl.

Наиболее близко по технической сущности к изобретению устройство дл возвратно-поступательного перемещени в вакууме, содержащее корпус , установленные в нем ведущее звено, выполненное в виде шарнирно соединенного с корпусом штока и цилиндра, соединенного с корпусом сильфоном, ведомое звено с направл ющими , шарнирно соединенное с цилиндром ведущего звена через св зывющий их сильфон 2.

Недостатком этих устройств вл етс наличие трущихс в объеме вакуума элементов, вследствие чего пр перемещении ведомого звена происходит осыпание поверхностного сло металла взаимодействующих в вакууме

элементов, что ведет к снижению .чистоты вакуума.

Цель изобретени - уменьшение вли ни трущихс поверхностей на чистоту вакуума.

Поставленна цель достигаетс тем, что направл ющие ведомого звен выполнены в виде, по крайней мере, двух пар упругих металлических лент с отогнутыми параллельными ветв ми, одна из которых соединена с корпусо а друга - с .ведомым звеном.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

Устройство содержит корпус 1, установленное в нем ведущее звено 2 выполненное в виде шарнирно соединенного с корпусом штока 3 и цилиндра 4, соединенного с корпусом сильфоном 5, ведомое звено 6 с направл ющими 7, шарнирно соединенное с цилиндром ведущего звена через св зывающий их сильфон 8., Направл ющие ведомого звена выполнены в виде, по крайней мере, двух пар упругих металлических лент с отогнутыми параллельньми ветв ми, одна из которых соединена с корпусом, а друга - с ведомым звеном.

Устройство работает следующим образом.

При перемещении установленного в корпусе 1 ведущего звена 2 шток 3, поворачива сь, воздействует на цилиндр 4, который с одной стороны воздействует на сильфон 5, св зывающий его с корпусом 1, а с другой - перемещает ведомое звено б, которое в свою очередь с одной стороны сгибает или разгибает параллельные ветви упругих металлических направл ю1ДИХ 7, ас другой-воздействует на сильфон 8,

Использование данного устройства в вакуумной технике позволит повысить чистоту вакуума в вакуумных камерах, что улучшит услови протекани в них технологических процессов .

Claims

Формула изобретени

Устройство дл возвратно-поступательного перемещени в вакууме,со:держащее корпус, установленные в нем ведущее звено, выполненное в виде шарнирно соединенного с корпусом штока и цилиндра, соединенного с корпусом сильфоном, ведомое звено с направл ющими, шарнирно соединенное с цилиндром ведущего звена через св зывающий их сильфон,. отличающеес тем, что, d целью уменьшени вли ни трувщхс поверхностей на чистоту вакуума, направл ющие ведомого звена выполнены в виде, по крайней мере, двух пар упругих металлических лент с отогнутыми параллельными ветв ми, одна из которых соединена с корпусом, а друга - с ведомым звеном.

Источники информации, .прин тые во внимание при экспертизе

1- Медников М.И. Вводы движени в вакуум. М., Машиностроение, 1974, с. 89, рис. 34.
2. Там же, с. 90, рис. 35 (прототип ) .

фиг. г