SU800745A1 - Pressure sensor - Google Patents

Pressure sensor Download PDF

Info

Publication number
SU800745A1
SU800745A1 SU792742706A SU2742706A SU800745A1 SU 800745 A1 SU800745 A1 SU 800745A1 SU 792742706 A SU792742706 A SU 792742706A SU 2742706 A SU2742706 A SU 2742706A SU 800745 A1 SU800745 A1 SU 800745A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pressure sensor
waveguide
housing
thickness
piezoelectric element
Prior art date
Application number
SU792742706A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Герман Николаевич Сунцов
Лев Васильевич Новиков
Владислав Васильевич Чевидаев
Original Assignee
Предприятие П/Я М-5539
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я М-5539 filed Critical Предприятие П/Я М-5539
Priority to SU792742706A priority Critical patent/SU800745A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU800745A1 publication Critical patent/SU800745A1/en

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

. Изобретение относитс  к измери- тельной технике, в частности к датчикам давлени . Известны датчики давлени , содер жащие индуктивный преобразователь с ферромагнитным корпусом и размеще ными в корпусе катушками и диафрагмой tl , Недостатком датчика  вл етс  по вление погрешности измерений в уль развуковом диапазоне частот. Известны также датчики давлени , содержащие индуктивный преобразователь с ферромагнитным корпусом и размещенными в корпусе катушкамии диафрагмой, а также плоский пьезоэл мент с волноводо в виде пучка пров лок С2 . При воздействии давлени  на датчик из-за искривлений проволок в ни по вл ютс  изгибные деформации,что приводит к уменьшению затухани  воз мущений в волноводе и снижению точности измерений. Кроме того, из-за значительной длины пучка проволок датчик имеет большие размеры и не обеспечивает высокой точности измерений распределени  давлени  по по,верхности исследуемого объекта. Цель изобретени  - повышение точ ности измерений. Указанна  цель достигаетс  тем, что волновод выполнен в виде демпфи рующей высокочастотные колебани  подложки , соединенной с корпусом индуктивного преобразовател . Кроме того, подложка выполнена из сплава магни  с цирконием- и имеет толщину в 1,51 ,8 раза превышающую толщину пъезоэлемента . На-чертеже представлена схема датчика , разрез. В корпусе 1 индуктивного преобразовател , сбсто щем из двух симметричных частей, с каждой стороны выполнены кольцевые проточки 2. В проточках размещены кольцевые подложки 3 и плоские пъезоэлементы 4 и 5,каждый из которых содержит два кольца. Кольца 4 сложены вместе положительными полюсами, ,k кольца 5 - отрицательными . Центральные электроды обоих пъезоэлементов соединены вместе, так же соединены их наружные электр оды.Обе точки соединений подключены к измерительному устройству (не показано). Пъезоэлементы отделены от внешней среды кольцевыми разделительными. The invention relates to a measurement technique, in particular to pressure sensors. Pressure sensors are known that contain an inductive transducer with a ferromagnetic housing and coils and diaphragm tl arranged in the housing. A sensor deficiency is the occurrence of measurement errors in the ultrasonic frequency range. Pressure sensors are also known that contain an inductive transducer with a ferromagnetic body and coils and a diaphragm placed in the body, as well as a flat piezoelectric element with a waveguide in the form of a beam of wires C2. When pressure is applied to the sensor, due to the curvature of the wires, bending deformations appear, which leads to a decrease in the attenuation of the disturbances in the waveguide and a decrease in the measurement accuracy. In addition, due to the considerable length of the wire bundle, the sensor is large and does not provide high precision measurements of pressure distribution over the surface of the object under study. The purpose of the invention is to improve the accuracy of measurements. This goal is achieved by the fact that the waveguide is made in the form of damping high-frequency oscillations of the substrate connected to the housing of the inductive converter. In addition, the substrate is made of an alloy of magnesium with zirconium - and has a thickness of 1.51, 8 times the thickness of the piezoelectric element. The drawing shows a diagram of the sensor section. In case 1 of an inductive converter, which is made of two symmetrical parts, annular grooves 2 are made on each side. Ring grooves 3 and flat piezoelectric elements 4 and 5 are placed in the grooves, each of which contains two rings. Rings 4 are put together by the positive poles,, k of ring 5 - negative. The central electrodes of both piezoelectric elements are connected together, their external electrodes are also connected. Both connection points are connected to a measuring device (not shown). The piezoelectric elements are separated from the external environment by annular separating

Claims (2)

1. Датчик давления, содержащий индуктивный преобразователь с ферромагнитным корпусом и размещенными в1. A pressure sensor containing an inductive transducer with a ferromagnetic housing and placed in 2Q корпусе катушками и диафрагмой, а также плоский пьезоэлемент с волноводом, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, волновод выполнен в виде __ демпфирующей высокочастотные колеба*5 ния подложки, соединенной с корпусом индуктивного преобразователя.2Q housing with coils and a diaphragm, as well as a flat piezoelectric element with a waveguide, characterized in that, in order to increase the accuracy of measurements, the waveguide is made in the form of a __ damping high-frequency vibration * 5 substrate connected to the body of an inductive transducer. 2. Датчик поп. 1, отличающийся тем, что подложка выпол- ' йена из сплава магния с цирконием и2. Sensor pop. 1, characterized in that the substrate is made of an alloy of magnesium with zirconium and 30 имеет толщину в 1,5-1,8 раза превышающую толщину пьезоэлемента.30 has a thickness of 1.5-1.8 times the thickness of the piezoelectric element.
SU792742706A 1979-03-27 1979-03-27 Pressure sensor SU800745A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792742706A SU800745A1 (en) 1979-03-27 1979-03-27 Pressure sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792742706A SU800745A1 (en) 1979-03-27 1979-03-27 Pressure sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU800745A1 true SU800745A1 (en) 1981-01-30

Family

ID=20817778

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792742706A SU800745A1 (en) 1979-03-27 1979-03-27 Pressure sensor

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU800745A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3402609A (en) Semiconductor mechanical-to-electrical transducer
US4446544A (en) Small diameter, low frequency multimode hydrophone
EP2013591B1 (en) Tri axis high frequency fiber optic acoustic sensor
SU800745A1 (en) Pressure sensor
JPS5560832A (en) Pressure sensor
SU558189A1 (en) Differential Mechanical Transducer
US4064758A (en) Pressure transducer structure
GB1177356A (en) Sonic Displacement Transducer
SU979919A1 (en) Converter of pressure to electric signal
SU896396A1 (en) Integral optical strain gauge
SU1157462A1 (en) Accelerometer
SU935728A1 (en) Pressure pickup
SU871348A1 (en) Piezoelectric vibration measuring converter
SU800743A1 (en) Pressure transducer
SU1432357A1 (en) Pressure transducer
SU667838A1 (en) Pressure pickup
SU991178A1 (en) Displacement meter
SU654866A2 (en) Piezoelectric pressure indicator
SU777525A1 (en) Pressure sensor
SU1435967A1 (en) Integral pressure strain-gauge transducer
SU745022A1 (en) Two-channel piezoelectric transducer
SU972282A1 (en) Piezoelectric pressure pickup
SU1509648A1 (en) Piezoelectric converter of pressure
SU1029085A1 (en) Linear accelerating pickup
SU547046A1 (en) The method of measuring the level of oscillations in an excited electromechanical converter of torsional vibrations