Изобретение относитс к области насосо- и компрессоростроени , а именно к мембранным вакуум-насосам Известен мембранный вакуум-насос содержащий корпус, установленную в нем рабочую мембрану, соединенную с толкателем, имеющим приводной ICTO и раздел ющую корпус на две камеры одна из которых, расположенна над :Мембраиой, снабжена всасывающим и нагнетатэльным клапанами, змеевик охлаждени и дополнительную мембрану , закрепленную на торце толкател со стороны штока. Между мембранами циркулирует охлаждакла среда, поступающа из зг.еевика охлаждени l Этот вакуум-насос вл етс наиболее близким к описываемому технич КИМ решением из известных. Недостатком указанного вакуумнасоса вл етс сравнительно невысо ка надежность, вследствие неблагопри тных условий работы мембраны заключающихс в том, что, с одной стороны, наличие охлаждающей среды между мембранами преп тствует их максимальному изгибу, а с другой больша разность давлений с обеих сторон рабочей мембраны снижает ее срок службы, следовательно, и надежность всего устройства. Целью насто щего изобретени вл етс повышение надежности мембранного вакуум-насоса. Указанна цель достигаетс тем, что толкатель имеет охлаждгшщую полость и торцовые отверсти со стороны дополнительной мембраны, а в штоке выполнены осевые отверсти , сообщенные посредством всасывающего и нагнетательного клапанов с охлаждающей полостью и подключенные к змеевику, корпус снабжен направл ющей дл штока, ограничитель движени толкател , взаимодействующий с дополнительной мембраной , и камера, расположенна под рабочей мембраной, снабжена входным патрубком и сообщена с камерой над рабочей мембраной посредством трубопровода , подсоединенного к всасывающему -клапану. На фиг. 1 схематично изображен мембранный вакуум-насос с рабочей мембраной в крайнем нижнем положении , продольный разрез; на фиг. 2насос с мембраной в крайнем верхнем положении. 3 Мембранный вакуум-насос содержит корпус 1, установленную в нем рабочую мембрану 2, соединенную с толкателем 3, имеющим приводной шток 4, и раздел ющую корпус 1 на две камеры 5 и 6, перва из которых, расположенна над мембраной 2, снабжена всасывающим и нагнетательным клапанами 7 и 8, змеевик 9 охЛс сдени и дополнительную мембрану 10, закрепленную на торце толкател 3со стороны штока 4, Толкатель 3 имеет охлаждающую полость 11 и торцовые отверсти 12 со стороны дополнительной мембраны 10, а в штоке 4выполнены осевые отверсти 13, сообщенные посредством всасываквдего и нагнетательного клапанов 14 и 15 с охлаждающей полостью 11 и подключенные к змеевику 9. Корпус 1 снабжен направл ющей 16 дл штока 4, имекицей ограничитель 17 движени толкател 3, взаимодействующий с дополнительной мембраной 10, и камера 6, расположенна под рабочей мембраной 2, снабжена входным патрубком 18 и сообщена с камерой 5 над рабоч мембраной 2 посредством трубопровод 19, подсоединенногф к всасывакадему клапану 7. Мембранный вакуум-насос работает следующим образом. Вакуум-насос соедин етс .с откачиваемой системой посредством входн го патрубка 18. При движении привод ного штока 4 с толкателем 3 вверх,) рабоча мембрана 2 сжимает наход щи с в камере 5 газ и сбрасывает его через нагнетательный клапан 8 в атм сферу. Всасывающий клапан 7 при это . закрыт. При этом объем камеры б расположенной под мебраной 2, увеличиваетс , давление в ней падае и через входной патрубок 18 в нее п ступает газ из откачиваемой системы При движении штока 4 и мембраны 2 с толкателем 3 вниз, когда нагнетательный клапан 8 закрыт, объем камеры 5, расположенной Нс1д мембран увеличиваетс и в нее через клапан 7 по трубопроводу 19 поступает газ из камеры 6 При этом рабоча мембрана 2 оказываетс практически оди наково нагруженной как со стороны камеры 5, так и со стороны камеры 6, то есть она не испытывает напр ж ни раст жени , что благопри тно от рг1жаетс на ее долговечности. По мере приближени к крайнему нижнему положению толкател 3 дополнительна мембрана 10, закреплен на на его торце в месте выполнени отверстий 12, надавливает на ограни читель 17, раст гиваетс под его воздействием, в результате чего объ охлаждающей полости 11 уменьшаетс и наход ща с в ней жидкость через нагнетательный клапан 15 сливаетс по OBHOiiy из осевых отверстий 13 шт ка 4 в змеевик 9 дл охлаждени . При обратном движении штока 4 с толкателем 3 мембрана 10 принимает первоначальноую форму и в полость 11 по осевому отверстию 13 штока 4 через всасывающий клапан 14 поступает охлажденна жидкость. Затем цикл повтор етс . При этом направл юща 16 дл штока 4 обеспечивает его пр молинейное перемещение, что, в свою очередь, обеспечивает максимальный объем камер 5 и 6. Благодар тому, что толкатель имеет . охлаждакицую полость и торцовые отверсти со стороны дополнительной мембраны, а в штоке выполнены осевые отверсти , сообщенные посредством всасывающего и нагнетательного клапанов с охлаждающей полостью и подключенныек змеевику, корпус снабжен направл ющей дл штока , имеющей ограничитель движени толкател , взаимодействующий с дополнительной мембраной, и камера, расположенна под рабочей мембраной , снабжена входным патрубком и сообщена с камерой над рабочей мембраной посредством трубопровода, подсоединенного к всасывающему клапану обеспечиваетс значительное улучшение условий работы мембраны она работает в малонапр женном состо нии и с хорошим отводом тепла, что повышает надежность вакуум-насоса , а также увеличивает его пройзво- ительность . формула изобретени , Мембранный вакуум-насос, содержа-, щий корпус, установленную в нем рабочую мембрану, соединенную с толкателем , имеющим приводной шток, и раздел к цую корпус на две камеры, одна из которых, расположенна над мембраной, снабжена всасывающим и нагнетательным клапанами, змеевик охлаждени и дополнительную мембрану , закрепленную на торце толкател со стороны штока, отличающийс тем, что, с целью повышени надежности, толкатель имеет охлаждающую полость и торцовые отверсти со стороны дополнительной мембраны , а в штоке выполнены осевые отверсти , сообщенные посредством всасывающего и нагнетательного клапанов с охлёикдающей полостью и подключенные к змеевику, корпус снабжен направл .ющей длк штока, имеющей ограничитель движени толкател , взаимодействующий с дополнительной мембраной , и камера, расположенна под рабочей мембраной, снабжена входным патрубком и сообще на с камерой над рабочей мембраной посредством трубопровода , подсоединенного к всасывающему клапану. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Патент Англии 1395403, кл. F t А, опублик. 1975.The invention relates to the field of pump and compressor construction, in particular, to membrane vacuum pumps. A membrane vacuum pump is known comprising a housing, an operating diaphragm mounted therein, connected to a pusher, having a drive ICTO and dividing the housing into two chambers, one of which is located above : Membrane, equipped with suction and pressure valves, cooling coil and additional diaphragm mounted on the end of the pusher from the stem. The medium coming from the cooling cooling fluid is circulating between the membranes. This vacuum pump is the closest solution to the technical KIM described. The disadvantage of this vacuum pump is comparatively low reliability, due to the unfavorable operating conditions of the membrane, namely, on the one hand, the presence of a cooling medium between the membranes prevents their maximum bending, and on the other hand, a large pressure difference on both sides of the working membrane reduces its service life, therefore, the reliability of the entire device. The object of the present invention is to increase the reliability of a membrane vacuum pump. This goal is achieved by the fact that the pusher has a cooling cavity and end holes on the side of the additional diaphragm, and axial holes are provided in the rod, communicated by means of suction and discharge valves with a cooling cavity and connected to the coil, the body is equipped with a rod guide, a pusher limiter, interacting with an additional diaphragm, and a chamber located under the working diaphragm is provided with an inlet nozzle and communicated with the chamber above the working diaphragm through a pipe wires connected to the suction valve. FIG. 1 schematically shows a membrane vacuum pump with a working membrane in its lowest position, a longitudinal section; in fig. 2 pump with a membrane in the highest position. 3 A diaphragm vacuum pump comprises a housing 1, a working diaphragm 2 mounted therein, connected to a pusher 3 having a driving rod 4, and a separating housing 1 into two chambers 5 and 6, the first of which, located above the diaphragm 2, is equipped with a suction and the discharge valves 7 and 8, the coil 9 of the cooling shaft and an additional diaphragm 10 fixed at the end of the pusher 3 on the side of the stem 4, the Pusher 3 has a cooling cavity 11 and the end openings 12 on the side of the additional diaphragm 10, and in the stem 4 there are axial bores 13, connected via ohm suction and all the injection valves 14 and 15 with a cooling cavity 11 and connected to the coil 9. The housing 1 is equipped with a guide 16 for the stem 4, and a movement restrictor 17 of the pusher 3, which interacts with the additional diaphragm 10, and the chamber 6 located under the working diaphragm 2 , is provided with an inlet 18 and communicates with the chamber 5 above the working membrane 2 through a pipe 19 connected to the suction valve 7. The diaphragm vacuum pump works as follows. The vacuum pump is connected to the pumped system through the inlet 18. When the drive rod 4 moves with the pusher 3 up, the working membrane 2 compresses the gas in chamber 5 and releases it through the discharge valve 8 into the atmosphere. The suction valve 7 is at it. is closed. At the same time, the volume of the chamber b located under the furniture 2 increases, the pressure in it drops and gas flows from the pumped-out system through the inlet 18 to it when the rod 4 and diaphragm 2 with the pusher 3 move down, when the discharge valve 8 is closed, the volume of the chamber 5 The located HCl membrane increases and the gas from chamber 6 enters it through valve 7 through conduit 19. At the same time, working membrane 2 is almost equally loaded both from chamber 5 and from chamber 6, i.e. it does not undergo stress stretch h This is beneficial for its durability. As the extreme lower position of the pusher 3 approaches, the additional membrane 10 is fixed on its end in the place of the holes 12, presses on the restrictor 17, expands under its influence, as a result of which the volume of the cooling cavity 11 decreases and the fluid through the discharge valve 15 is discharged by OBHOiiy from the axial orifices 13 pcs 4 into the coil 9 for cooling. During the reverse movement of the rod 4 with the pusher 3, the membrane 10 takes on its original shape and cooled liquid flows through the suction valve 14 through the axial bore 13 of the rod 4 into the cavity 11. Then the cycle is repeated. At the same time, guide 16 for stem 4 ensures its straight-line movement, which, in turn, provides the maximum volume of chambers 5 and 6. Thanks to the fact that the pusher has. cooling cavity and end holes on the side of the additional membrane, and axial holes in the rod, communicated through the suction and discharge valves to the cooling cavity and connected to the coil, the body is equipped with a stem guide with a pusher motion limiter interacting with the additional membrane, and a chamber, located under the working diaphragm, provided with an inlet nozzle and communicated with the chamber above the working diaphragm through a pipeline connected to the suction valve It provides a significant improvement in the working conditions of the membrane; it works in a low-stress state and with good heat removal, which increases the reliability of the vacuum pump and also increases its performance. Claims of the invention: Diaphragm vacuum pump comprising a housing, a working diaphragm mounted therein, connected to a pusher having a drive rod, and a section to this body into two chambers, one of which is located above the diaphragm, equipped with suction and discharge valves , a cooling coil and an additional membrane fixed on the end of the pusher from the side of the rod, characterized in that, in order to increase reliability, the pusher has a cooling cavity and end openings from the side of the additional membrane, and in the rod Axial bores made by suction and discharge valves with a cooling cavity and connected to a coil are made, the body is provided with a guide for the rod, having a pushing motion limiter interacting with an additional diaphragm, and a chamber located under the working diaphragm is equipped with an inlet nozzle and connected with a chamber above the working membrane through a pipe connected to the suction valve. Sources of information taken into account in the examination 1. Patent of England 1395403, cl. F t A, publ. 1975.