SU773557A1 - Вогнута дифракционна решетка дл вакуумной ультрафиолетовой области спектра - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к спектральному приборостроению и может быть использовано в оптико-механической пpoгv5ышлeннocти при изготовлении приборов с вогнутыми дифракционными - 5 решетками дл  вакуумной ультрафиолетовой области спектра.

Известна вогнута  дифракционна  решетка дл  вакуумной ультрафиолетовой области спектра со ступен- 10 чатым профилем -штрихом, у которой рабочие грани всех штрихов наклонены к касательной в каждой точке ее поверхности под одинаковыми углами

1.. 15

Известна вогнута  дифракционна  решетка дл  вакуумной ультрафиолетовой области спектра, у которой наклон рабочей грани штрихов имеет три различных значени  на трех раз- 20 личных участках решетки по ее ширине 2 .

Рабочий грани всех штрихов в случае первой решетки и каждый из трех участков второй решетки дают макси- 25 мум концентрации энер- ии в одном узком пространственном диапазоне направлени , в результате чего достигаетс  увеличение светосилы решетки в сравнительно узкой области спект- 30

ра, котора  уменьшаетс  по ширине при смещении рабочей области в коротковолновую часть спектра.

Claims (3)

1. Известна также дифракционна  решетка дл  вакуумной ультрафиолетовой о.бласти спектра, имеюща  ступенчатые штрихи с посто нным углом между гран ми штрихов и плоскостью делени  3 . При изготовлении такой решетки поверхность резца, формующа  рабочие плоскости штрихов, составл ет с хордой, ст гивающей кра  решетки, посто нный угйл. Вследствие этого угол наклона рабочей грани штрихов по отношению к касательной к вогнутой поверхности плавно мен етс  по ширине решетки. Во всех установках на круге Роуленда вогнутые решетки освещаютс  расход щимс  пучком из точки, лежащей на круге Роуленда . Поэтому угол падени  пучков на рабочие грани штрихов и соответственно положение максимума концентрации , даваемого решеткой,мен ютс  по ширине решетки. Вследствие этого каждый участок решетки дает максимум концентрации в определенную область, в результате область высокой концентрации вогнутой решетки . увеличиваетс  до двух и более раз зависимости от ширины решетки. Недостатком такой решетки  вл етс  то, что любое из известных покрытий дл  решеток, работаквдих а вакуумной ультрафиолетовой облас ти, вследствие селективиости отражательной способности по спектру в этой области значительно уменьшает светосилу дл  тех участков ре шетки, максимум концентрации от которых не совпадает с наибольшим коэффициентом отражени  покрыти  решетки в этой области спектра. Цель изобретени  - увеличение светосилы решетки в широкой oблacтй спектра. Поставленна  цель достигаетс  те что покрытие решетки состоит из не . менее двух частей,кажда  из которых имеет наибольший коэффициент отражени  в одном из рабочих участков спектра и расположена на том участке решетки , область максимальн концентрации которого соответствует тому хе участку спектра, а границы частей покрыти  расположены ot начала решетки на рассто ни х . Xir-R(o. jdwieTz .. где R -.радиус кривизны решетки К - пор док спектра; Xj - длина вол вы, при которой вы сокоотражающие покрыти  см ных i и н-1 частей имеют ра ные коэффициенты отражени  -периой решетки -угол между падающим и дифрагирующим . пучком в схеме использовани  решетки -ширина решетки; -угол между гран ми штри хов и плоскостью делени  дл  центрального участка решетки. На фиг.1 на круге Роуленда изобр жена предлагаема  вогнута  дифрак ционна  решетка Р, концентрирующа  излучение от источника S в область Ьпектра Л-Л. ; на фиг. 2 - графики распределени  эффективности, даваемой каждым из участков решетки. Покрытие решетки состоит из двух частей I.и
2. 2.При этом-кажда  из час тей 1 и 2 покрыти ,имеющего наиболь Коэффициент отражени  соответственн И област х и .j , pacnojfb жена на тех участках 1 и 2 решетки Область максимальной концентрации которых также %i-9ц, H j-X/j с Максимумами концентрации при Xmi и R.rr Участки решетки содержат кривую 3 (см. фиг.2) с областью максималь ной концентрации о первой ЧАСТИ решетки, кривую 4 с областью максимальной концентрации дл  втоРОЙ части и cyммiapнyю кривую 5. Решетка работает следующим: обра ом . При падении излучени  на. решетку от источника S она концентрирует наибольшую энергию в область -Л. , причем в область Л,-% - от первой части решетки с покрытием из вольфрама , имеющим наибольший коэффициент отражени  в этой области сцектра , а в область Л(,-Л. - от второй части решетки с покрытием из алюмини  с фтористым магнием, имеющим наибольший коэффициент о±ражени  в этой же области спектра, в результате , как видно из Лиг. 2, происходит увеличение светосилы решетки в широкой области спектра . Светосила решетки была бы значительно меньше , если бы на всю решетку был нанесен только вольфрам или алюминий с фтористым магнием. . Формула изобретени  Вогнута  дифракционна  решетка дл  вакуумной ультрафиолетовой области спектра со ступенчатыми штрихами с посто нным углом между гран ми штрихов и плоскостью делени  и отражающим покрытием дл  вакуумной ультрафиолетовой области спектра, о тл и ч. а .ю щ а   с   тем, что, с целью увеличени  светосилы з широкой области спектра, покрытие ре .шетки состоит из не менее двух частей,- кажда  из которых имеет наибольший коэффициент отражени  в одном из рабочих участков спектра и расположена на том участке решетки, область максимальной концентрации которого соответствует тому же участку спектра, а границы частей покрыти  расположены от начала решетки на рассто ни х ) где R - радиус кривизны решетки; -пор док спектра; -длина волны, при которой высокоотражающие .покрыти  -смежных I и 1+1 частей имеют равные -коэффициенты отражени ; . период решетки; -угол между падакадим и дифрагированным пучками в схеме использовани  решетки -ширина решетки) -угол между гран ми штрихов и плоскостью делени  дл  центрального участка решетки . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1, Авторское свидетельство СССР 387319, кл. G 02 В 5/18, 1973. 2.3ооспоБ ОрКсаВ society of American, V,43,953,c.8lb.
3. 3. Оптика и спектроскопи . Л., Наука, т Л б, 1964 с. 133 (прототип ) .