SU765911A1 - Device for control of piezoelectric motor - Google Patents

Device for control of piezoelectric motor Download PDF

Info

Publication number
SU765911A1
SU765911A1 SU782658082A SU2658082A SU765911A1 SU 765911 A1 SU765911 A1 SU 765911A1 SU 782658082 A SU782658082 A SU 782658082A SU 2658082 A SU2658082 A SU 2658082A SU 765911 A1 SU765911 A1 SU 765911A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
frequency
speed
signal
control
output
Prior art date
Application number
SU782658082A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Анатолий Александрович Ерофеев
Анатолий Николаевич Кирсяев
Владимир Васильевич Андрущук
Виктор Васильевич Андрущук
Виктор Сергеевич Лопатин
Original Assignee
Ордена Ленина Политехнический Институт Им. М.И.Калинина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Ленина Политехнический Институт Им. М.И.Калинина filed Critical Ордена Ленина Политехнический Институт Им. М.И.Калинина
Priority to SU782658082A priority Critical patent/SU765911A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU765911A1 publication Critical patent/SU765911A1/en

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

ройства, причем выход последнего через ключ аналоговых сигналов соединен с управл ющим входом управител  частоты, а выход порогового устройства через одновибратор - с управл ющим входом упом нутого ключа; выход основного корректирукщего устройства соединен с усилителем мощности через сумматор, другой вход которого через второе дополнительное корректирующее устройство соединен автогенератором.device, the output of the latter through the key of the analog signals is connected to the control input of the frequency controller, and the output of the threshold device through the one-shot is connected to the control input of the key; the output of the main corrective device is connected to the power amplifier via an adder, the other input of which is connected by an auto-oscillator through the second additional correction device.

На фиг. 1 представлена схема устройства управлени  (стабилизации ) скоростью пъезодвигател ; на фиг. 2 - характеристика пъезодвигател , иллюстрирующа  работу устройства и представл ющие зависимость тока питани  и скорости пъезодвигател  от частоты,, сн тые дл  р да фиксированных значений нагрузочных моментов М и амплитуд питающего напр жени  А.FIG. 1 shows a diagram of a control device (stabilization) of a piezoelectric speed; in fig. 2 is a characteristic of a piezoelectric motor, illustrating the operation of the device and representing the dependence of the supply current and speed of the piezoelectric motor on frequency, taken for a series of fixed values of the load moments M and the amplitudes of the supply voltage A.

Устройс ;во содержит пъезодвигатель 1, пъезорезонатор (ПР) которог питаетс  от усилител  мощности 2. Последовательно с ПР включен управитель частоты 3 (в простейшем случае последовательный резонансный контур, перестраиваемый напр жением или током). ПР двигател  1, управитель частоты 3 и усилитель мощности 2 образуют петлю положительно обратной св зи автогенератора синусоидальных колебаний, частотно-задающим элементом которого  вл етс  система управитель частоты - ПР двигател . Сигнал, подаваемый на управл ющий (верхний, см. фиг. 1) вход управител  частоты, позвол ет перестраивать его резонансную частоту на 1-5%. При малых нагрузочных моментах , когда как,видно из фиг. 2, добротность ПР велика, добротность системы управитель частоты - ПР определ етс  свойствами последнего. При изменени х сигнала на управл ющем входе управител  частоты резонансна  частота тока этой системы а значит и частота автогенератора перестраиваетс  в пределах 1-5% относительно резонансной частоты тока ПР. Этого достаточно, чтобы установить рабочую частоту двкгател  вблизи резонансной частоты соответствукщей характеристики скорость-частота в рабочем диапазоне нагрузочных моментов и амплитуд напр жени  питани . Если нагрузочные моменты значительные ( М М, см. фиг. 2),.добротность ПР падает, а резонансна  частота тока и добротность системы управитель частоты ПР задаетс  свойствами управител  частоты. Параметры последнего подобраны таким образом, что нормальна  работа автогенератора продолжаетс  и в ЭТ1РС услови х. С валом пъезодвигател  1 св зан датчик обраThe device contains a piezoelectric 1, a piezoresonator (PR) which is powered by a power amplifier 2. A frequency controller 3 is connected in series with the PR (in the simplest case, a series resonant circuit tuned by voltage or current). The PR of the motor 1, the frequency controller 3 and the power amplifier 2 form a positive feedback loop of the sinusoidal oscillator, the frequency defining element of which is the frequency controller system - the PR of the motor. The signal applied to the control (upper, see Fig. 1) input of the frequency control allows you to tune its resonant frequency by 1-5%. At low load moments, when as seen from FIG. 2, the quality factor of the PR is high; the quality factor of the system is the frequency regulator — PR is determined by the properties of the latter. When the signal on the control input of the frequency control changes, the resonant frequency of the current of this system and, therefore, the frequency of the oscillator changes within 1-5% relative to the resonant frequency of the current PR. This is enough to establish the operating frequency of the dvGgatel near the resonant frequency of the corresponding speed-frequency characteristic in the operating range of load moments and amplitudes of the supply voltage. If the load moments are significant (M M, see Fig. 2), the quality factor of the PR drops, and the resonant frequency of the current and the quality factor of the system, the frequency manager of the PR, is determined by the properties of the frequency controller. The parameters of the latter are selected in such a way that the normal operation of the autogenerator continues under the ET1PC conditions. A sensor is connected to the piezo motor 1

ной св зи 4, частота выходного напр жени  которого пропорциональна скорости вращени  пъезодвигател . Сигнал с выхода датчика обратной св зи преобразуетс  в последова , тельность пр моугольных импульсов напр жени  с помощью формировател  5. Аналогичную функцию выполн ет формирователь 6 дл  генератора эталонной частоты 7 задани  скороQ сти. Сигналы формирователей 5 и 64, the frequency of the output voltage of which is proportional to the speed of rotation of the piezoelectric motor. The signal from the output of the feedback sensor is converted into a series of rectangular voltage pulses using a driver 5. A similar function is performed by the driver 6 for the reference frequency generator 7 to set the speed. Shaper signals 5 and 6

поступают на блок 8 вычитани  частот, вырабатывающий последовательность импульсов, скважность которых пропорциональна разности фазовых углов входных сигналов блока.Сигналы бло5 ка 8 и формировател  6 воздействуют на входы фазового детектора 9, выполн емого на базе интегратора с запоминающей емкостью. Выходное напр жение фазового детектора, про0 порциональное интегралу отклонени  скорости двигател  от задани , через динамический формирователь 10, реализующий пропорционально-дифференцирующее звено, и ключ аналоговыхA frequency subtraction unit 8 is generated, generating a pulse train whose duty cycle is proportional to the difference in the phase angles of the input signals of the block. The signals of the block 8 and the former 6 affect the inputs of the phase detector 9 performed on the basis of an integrator with a storage capacity. The output voltage of the phase detector, which is proportional to the integral of the engine speed deviation from the reference, through the dynamic driver 10, which implements the proportional-differentiating element, and the analog key

5 сигналов 11 воздействует на управитель частоты 3, т.е. на частоту возбуждакндего напр жени , а через корректирующее устройство 12 и сумматор 13 на усилитель мощности 2,5 signals 11 acts on frequency controller 3, i.e. on the frequency of the excitation voltage, and through the correction device 12 and the adder 13 to the power amplifier 2,

измен   амплитуду напр жени  питани  пъезодвигател . Передаточна  функци  корректирующего устройства 12 выбрана в соответствии с требуемым законом управлени  (в данном случае ПИ). На второй вход сумматора 13 поступает сигнал с корректирующего устройства 14, выполненного на основе преобразовател  частота-напр жение и вырабатывающего сигнал, пропорциональный абсолютной величине производной частоты автогенератора по времени.changing the voltage amplitude of a piezoelectric transducer. The transfer function of the correction device 12 is selected in accordance with the required control law (in this case, PI). The second input of the adder 13 receives a signal from a correction device 14, made on the basis of a frequency-voltage converter and producing a signal proportional to the absolute value of the derivative of the frequency of the oscillator with respect to time.

Пороговое устройство 15 представл ет собой триггер Шмидта. Его вход The threshold device 15 is a Schmidt trigger. His entrance

соединен с выходом фазового детектора , а сигнал на его выходе по вл етс  в момент, когда производна  от выходного напр жени  фазового детектора 9, т.е. скорость вращени connected to the output of the phase detector, and the signal at its output appears at the moment when the derivative of the output voltage of the phase detector 9, i.e. rotation speed

пъезодвигател , превысит по абсолютной величине заданный уровень. Сигнал порогового устройства 15 запускает одновибратор 1б.Формируемый на выходе одновибратора 16 импульс напр жени  размыкает ключ 11, блокиру  тем самым прохождение сигнала на управл ющий вход управител  частоты. В результате рабоча  частота сдвигаетс  в направлении частоты начальной настройки управител  частотыpiezoelectric motor, exceeds the specified level in absolute value. The signal of the threshold device 15 triggers the one-shot 1b. A voltage pulse generated at the output of the one-shot 16 opens the key 11, thereby blocking the signal to the control input of the frequency control. As a result, the operating frequency shifts in the direction of the frequency of the initial setting of the frequency controller.

(т.е. частоты настройки управител  частоты при отсутствии сигнала на его верхнем входе). После окончани  импульса на выходе одновибратора 16 ключ 11 снова замыкает контур управлени  частотой.(i.e., the frequency settings of the frequency controller when there is no signal at its upper input). After the end of the pulse at the output of the one-shot 16, the switch 11 again closes the frequency control loop.

Рассмотрим как протекает процесс отслеживани  заданной скорости вращени  при изменени х нагрузочного момента. При малых нагрузочных моментах зависимость скорость-частота имеет резко вьфаженный резонансный характер. В этих услови х дл  нормального функционировани  системы необходимо производить отслеживание рабочей точки в функции нагрузочного момента вблизи частоты, соответствующей максимальной скорости. При зтом, рабоча  точка должна находитьс  на заранее .выбранном склоне резонансной характеристики скорость-частота и не должна переходить на другой склон, чтобы не нарушалась динамическа  устойчивость системы в результате изменени  знака обратной св зи в контуре регулировани  по частоте. Пусть в исходном состо нии нагрузочный момент равен М, а рабоча  точка находитс  в положении Ч (см. фиг. 2).Так как скорость вращени  близка к заданной {I1o,oie ) , сигналы на выходах порогового устройства 15 и одновибратора 1 б отсутствуют, ключ 11 замкнут и на управл ющий (верхний) вход управител  частоты 3 проходит сигнал с динамического формировател  10, поддержива  соответствующую рабочей точке частоту f возбуждающего напр жени . Одновременно сигнал с выхода корректирующего устройства 12 згодает требуемую амплитуду A-J, возбуждающего напр жени . Ввиду того, что рабоча  частота не мен етс , сигнал на выходе дифференцирующего звена 14 отсутствует.Let us consider how the process of tracking a given rotational speed proceeds with changes in load torque. At low load moments, the speed-frequency dependence has a sharply resonant, high-frequency character. Under these conditions, for the normal functioning of the system, it is necessary to monitor the operating point as a function of the load moment near the frequency corresponding to the maximum speed. At the same time, the operating point must be located on the preselected slope of the resonant velocity-frequency characteristic and must not change to another slope so that the dynamic stability of the system is not affected by a change in the sign of the feedback in the frequency control loop. Suppose that in the initial state the loading moment is equal to M, and the operating point is in the position см (see Fig. 2). Since the rotation speed is close to the given {I1o, oie), the signals at the outputs of the threshold device 15 and the one-shot 1 b are missing, the key 11 is closed and the control (upper) input of the frequency control 3 passes the signal from the dynamic driver 10, maintaining the excitation voltage frequency f corresponding to the operating point. At the same time, the signal from the output of the correction device 12 is sufficient for the required amplitude A-J, the exciting voltage. Due to the fact that the operating frequency does not change, there is no signal at the output of differentiating link 14.

При скачкообразном изменении нагрзочного момента до значени  М М сигнал рассогласовани  с выхода фазового детектора,формируеьвлй корректирющими устройствами 10 и 12,стремитс  уменьшить частоту и увеличить амплитду возбуждающего напр жени . При измнени х частоты на выходе корректирующего устройства 14 возникает сигнал, сдерживающий рост амплитуды воздуждающего напр жени .Так как корректирующее устройство 10 представл ет собой пропорцио наль но-дифферен цирующее звено, и частично под вли нием сигнала устройства 14 воздействие по частоте опережает воздействие по амплитуде. Таким образом наличие дополнительного корректирующего устройства 10,  вл етс  принципиально необходимым. В противном случае могут возникнуть большие колебани  мгновенной скорости, таккак из-за смещени  резонансных частот при вариаци х момента рабоча  точка окажетс  глубоко внизу на склоне характеристики скорость-частота (например, в положении на фиг. 2). По окончании переходного процесса установ тс  новые значени ,With an abrupt change in the loading moment up to the value of M M, the error signal from the output of the phase detector, which is formed by corrective devices 10 and 12, tends to reduce the frequency and increase the amplitude of the exciting voltage. When the frequency at the output of the correction device 14 changes, a signal arises that inhibits the growth of the amplitude of the exciting voltage. Since the correction device 10 is a proportional-differential link, and partly influenced by the signal of the device 14, the frequency impact is ahead of the amplitude . Thus, the presence of an additional correction device 10 is fundamentally necessary. Otherwise, large fluctuations of the instantaneous velocity may occur, since due to the displacement of the resonant frequencies with variations in the moment, the operating point will be deep down on the slope of the speed-frequency characteristic (for example, in the position in Fig. 2). At the end of the transition process, new values will be established,

амплитуды и частоты возбуждающего напр жени  (Aj. и f 2 соответственно, фиг. 2) , а рабоча  точка окажетс  в положении, близком к точке 2 вблизи резонанса соответствугощей характеристики скорость-частота the amplitudes and frequencies of the exciting voltage (Aj. and f 2, respectively, Fig. 2), and the operating point will be in a position close to point 2 near the resonance corresponding to the speed-frequency characteristic

а не в положении, например, 2 t I по той причине, что воздействие на амплитуду, вызванное изменением частоты и вырабатываемое д№})ференц друющим звеном 10 опережает воздействие на rather than in a position, for example, 2 t I, for the reason that the effect on amplitude caused by a change in frequency and produced by the reference number}) by another link 10 is ahead of the effect on

0 амплитуду, вызванное отклонением скорости и вырабатываемое корректирующим устройством 12. Таким образом введение дополнительного корректирующего устройства 14 обеспечивает по5 ложение рабочей точки вблизи резонансной частоты характеристики скорость-частота , что  вл етс  принципиально необходимым дл  увеличени  КПД, а также по той причине, 0 amplitude caused by the speed deviation and produced by the correction device 12. Thus, the introduction of an additional correction device 14 ensures the position of the operating point near the resonant frequency of the speed-frequency characteristic, which is essential for increasing the efficiency, as well as

0 что некоторые типы пъезодвигателей начинают работать неустойчиво в результате параметрического возбуждени  паразитных механических колебаний ПР, если рабоча  частота далека от резонанса. Корректирующие уст5 ройства 10,12 и 14 рассчитаны так, чтобы во врем  переходного процесса сигналы на выходе фазового детектора 9 не превышали порог срабатывани  устройства 15. Аналогичным образом 0 that some types of piezoelectric motors start to work unstably as a result of parametric excitation of parasitic mechanical oscillations of the PR, if the operating frequency is far from resonance. Corrective devices 10,12 and 14 are designed so that during the transition process the signals at the output of the phase detector 9 do not exceed the response threshold of the device 15. Similarly

0 работает система и в том случае, если новое значение нагрузочного момента столь велико, что резонансные свойства характеристики скоростьчастота станов тс  слабо выражен5 ными. Например, при изменении нагрузочного момента до значени  М- (см. фиг. 2) рабоча  точка из положени  1 перейдет в положение 3 0 the system works even if the new value of the load moment is so great that the resonant properties of the characteristic speed and frequency become poorly pronounced. For example, when changing the load moment to the value of M- (see Fig. 2), the operating point from position 1 will move to position 3

00

Предположим, что в исходном состо нии рабоча  точка находитс  в положении 2 и происходит скачкообразный сброс нагрузки до значени  М М,. Непосредственно послесброса нагрузки скорость будет падать, а Suppose that in the initial state, the operating point is in position 2 and there is an abrupt load shedding to the value M M ,. Directly after a load drop, the speed will drop, and

5 в ответ на этосигнал на выходе корректирующего устройства 10 стремитс  уменьшить рабочую частоту, что в свою.очередь будет способствовать уменьшению скорости. В результате 5, in response to this signal at the output of the correction device 10, tends to reduce the operating frequency, which in turn will contribute to a reduction in speed. As a result

0 сигнал рассогласовани  на выходе фазового детектора 9 превысит порог срабатывани  устройства 15, сработает одновибратор 16 и ключ 11 блокирует прохождение сигнала корректиру5 ющего устройства 10 на управл ющий вход управител  частоты 3, Настройка управител  частоты при отсутствии сигнала на управл ющем входе выбрана таким обра0 зом, что рабоча  частота автогенератора в этом случае оказываетс  больше f (см. фиг. 2). Длительность выходного импульса одновибратора пренебрежимо мала по сравне5 нию с переходным процессом изменени  скорости. Поэтому раз1.«лкание ключа 11 достаточно кратковременно чтобы не приводить к заметным колебани м скорости. После окончани  Iiмпyльca одновибратора 16 ключ 11 замыкаетс , а процесс регулирование будет происходить :Тсжже, как и в рассмотренном ранее случае скачкооб разного увеличени  нагрузки. При этом сигнал на выходе устройства 14, по вл ницийс  во врем  изменени  ра-, бочейчастоты, будет способствовать уменьшению амплитуды возбуждакацего напр жени , так что по окончании пе реходного процесса рабоча  точка ока .Порог сра0, the error signal at the output of the phase detector 9 exceeds the response threshold of the device 15, the one-shot 16 activates and the key 11 blocks the passage of the signal of the correcting device 10 to the control input of the frequency control 3, Setting the frequency control in the absence of a signal at the control input is selected in such a way that the operating frequency of the oscillator in this case is greater than f (see Fig. 2). The duration of the output pulse of the one-shot is negligible compared to the transient process of changing the speed. Therefore, the release of key 11 is sufficiently short so as not to lead to noticeable fluctuations in speed. After the end of the Impullca of the one-shot 16, the key 11 is closed, and the regulation process will take place: Tzzhe, as in the previously discussed case of stepwise increase in load. At the same time, the signal at the output of the device 14, which appears during the change of the working frequency, will help to reduce the amplitude of the exciting voltage, so that at the end of the transient process the operating point of the eye.

жетс  в положенииzhets in position

батывани  устройства 15 выбран несколько меньше уровн , соответствую щего допустимому отклонению tскорост от задани . Описанное устройство бе существенных изменений можно использовать в случае выбора в кЯчестве рабочего левого склона характеристики скорость-частота, а также дл  управлени  скорости пъезодвигателей с люйлм другим взимным расположением резонансных характеристик скорость-частота и ток пъезорезонатора-частота . Дл  этого необходимо лишь соответствующим образ задать частоту настройки управител  частоты при отсутствии сигнала на его управл ющем входе. По. сравнению с известными устройствами предлагаемое устройство имеет следующиэ .технико-экономические преимущества (по результатам испытаний):The device 15 is selected slightly lower than the level corresponding to the tolerance t speed from the task. The described device without significant changes can be used in case of choosing the speed-frequency characteristic in the quality of the working left slope, as well as to control the speed of piezoelectric motors with another charge arrangement of resonant characteristics speed-frequency and piezoresonator-frequency current. To do this, it is only necessary to set the frequency control frequency setting in the absence of a signal at its control input. By. In comparison with known devices, the proposed device has the following technical and economic advantages (according to test results):

повышение стабильности скорости вращени  пъезодвигател  (с погрешностью на уровне 0,1% дл  средней скорости и 0,01% дл  мгновенной);increasing the stability of the speed of rotation of the piezoelectric motor (with an error of 0.1% for the average speed and 0.01% for the instantaneous);

расширение диапазона нагрузочных моментов, внутри которого сохран етс  заданна  стабильность скорости вращени  (от Мхх до примерно Мкз) ;extending the range of load moments within which the desired stability of the rotational speed is maintained (from Mxx to about Mk);

сохранение работоспособности в широком диапазоне изменени  внешних условий (температура, влажность), а также в услови х изменени  (на пример, в результате износа) таких внутренних параметров двигател , как усилие прижима, свойства пъезорезонатора;preservation of performance in a wide range of changes in external conditions (temperature, humidity), as well as in conditions of change (for example, as a result of wear) of such internal parameters of the engine, such as pressing force, properties of a piezoresonator;

увеличение КПД при работе двигаI тел  в системе электропривода примерно на 15%.increase in efficiency when engines are operating in the electric drive system by about 15%.

Использование устройства позволит применить пъезодвигатель в качестве быстродействующего привода в установках разнообразного назначени , например в установках магнитной 3аписи-воспроизведени , что позволит снизить их стоимость, уменьшить габариты, увеличить качество записи-воспроизведени , увеличить надежность.The use of the device will make it possible to use a piezoelectric drive as a high-speed drive in installations of various purposes, for example, in magnetic recording-reproducing installations, which will reduce their cost, reduce size, increase the quality of recording-reproduction, and increase reliability.

Claims (2)

1.Сандлер А.С., Сарбатов Р.С. втоматическое частотное управление асинхронными двигател ми. М.,Энерги , 1974 ., с. 34-158.1. Sandler A.S., Sarbatov R.S. automatic frequency control of asynchronous motors. M., Energie, 1974., P. 34-158. 2.Сб. Вибротехника. Научные труды ВУЗов Литовской ССР, 1972, 3/16/, с. 296-307 (прототип).2.Sb. Vibrotechnics. Scientific works of universities of the Lithuanian SSR, 1972, 3/16 /, p. 296-307 (prototype).
SU782658082A 1978-07-28 1978-07-28 Device for control of piezoelectric motor SU765911A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782658082A SU765911A1 (en) 1978-07-28 1978-07-28 Device for control of piezoelectric motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782658082A SU765911A1 (en) 1978-07-28 1978-07-28 Device for control of piezoelectric motor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU765911A1 true SU765911A1 (en) 1980-09-23

Family

ID=20782705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU782658082A SU765911A1 (en) 1978-07-28 1978-07-28 Device for control of piezoelectric motor

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU765911A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2608842C1 (en) * 2015-09-28 2017-01-25 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ФГБОУ ВПО "Пензенский государственный университет") Self-sensitive linear piezoelectric actuator control device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2608842C1 (en) * 2015-09-28 2017-01-25 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ФГБОУ ВПО "Пензенский государственный университет") Self-sensitive linear piezoelectric actuator control device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2863280B2 (en) Driving method of ultrasonic motor
US4468597A (en) Method for regulating the power supply to a direct-current motor and a device for the application of said method
US4277758A (en) Ultrasonic wave generating apparatus with voltage-controlled filter
DE4107802C2 (en)
US4853579A (en) Drive method for ultrasonic motor providing enhanced stability of rotation
US4973876A (en) Ultrasonic power supply
SU765911A1 (en) Device for control of piezoelectric motor
US4403176A (en) Circuit for driving an ultrasonic dental tool at its resonant frequency
US5159223A (en) Driving apparatus for ultrasonic motor
US4295081A (en) Load actuating servomechanism with resonance equalization
SU754529A1 (en) Device for soldering storage battery terminals
JPS5775591A (en) Motor drive circuit
JPH0516272B2 (en)
RU2025882C1 (en) Device for control over piezoelectric motor
US4070609A (en) Automatic control system
SU1283924A1 (en) Electric drive of mechanical arm coordinate
JPH01298967A (en) Driver for ultrasonic actuator
JP2574293B2 (en) Ultrasonic motor driving method
US3344360A (en) Inverter frequency control
SU646393A1 (en) Piezoelectric vibromotor
SU790044A1 (en) Piezoelectric drive
JP2699299B2 (en) Ultrasonic motor drive circuit
US2420312A (en) Frequency regulator
JP2743404B2 (en) Ultrasonic motor drive controller
JPH03243183A (en) Ultrasonic motor device