SU765399A1 - Evaporator for plating under vacuum - Google Patents

Evaporator for plating under vacuum Download PDF

Info

Publication number
SU765399A1
SU765399A1 SU762310636A SU2310636A SU765399A1 SU 765399 A1 SU765399 A1 SU 765399A1 SU 762310636 A SU762310636 A SU 762310636A SU 2310636 A SU2310636 A SU 2310636A SU 765399 A1 SU765399 A1 SU 765399A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
evaporator
cone
coating
vacuum
reflectors
Prior art date
Application number
SU762310636A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Борисович Димант
Владимир Васильевич Волков
Марат Шакирович Мулюков
Василий Павлович Федоренко
Сергей Иванович Мещеряков
Юрий Владимирович Егоров
Владимир Алексеевич Трифонов
Original Assignee
Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильного электрооборудования и автоприборов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильного электрооборудования и автоприборов filed Critical Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильного электрооборудования и автоприборов
Priority to SU762310636A priority Critical patent/SU765399A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU765399A1 publication Critical patent/SU765399A1/en

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Description

1one

Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий испарением в вакууме, конкретнее к устройству испарителей, примен е1«ы в вакуумных установках, например конвейерных , дл  нанесени  покрытий на подложки .The invention relates to the field of evaporation coating in vacuum, more specifically to the design of evaporators, used in vacuum installations, such as conveyor systems, for coating substrates.

Изобретение может быть использовано дл  получени  беспористых защитных покрытий, например, моноокисью кремни , в частности,на отражател х с целью повышени  коррозионной стойкости светоотражающего сло  .The invention can be used to obtain non-porous protective coatings, for example, silicon monoxide, in particular, on reflectors in order to increase the corrosion resistance of the reflective layer.

Известен испаритель дл  нанесени  покрытий в вакууме, представл ющий собой проволочный испаритель, свитый в виде конической спирали из тугоплавкого металла 1 ,A vacuum evaporator is known for vacuum coating, which is a wire evaporator twisted into a conical spiral of a refractory metal 1,

Однако этот испаритель не обеспечивает получени  беспористого покрыти , вследствие выброса макроскопических частиц, пробивающих получающуюс  на подложке пленку.However, this evaporator does not provide a non-porous coating, due to the ejection of macroscopic particles, penetrating the film produced on the substrate.

Цель изобретени  - повышение качества покрыти .The purpose of the invention is to improve the quality of the coating.

Достигаетс  это тем, что у испарител , выполненного в виде конусообразной спирали из тугоплавкого материала , спирали выполнены с переменным шагом, увеличивающимс  от основани  конуса.This is achieved in that the evaporator, made in the form of a conical spiral of refractory material, spirals are made with variable pitch, increasing from the base of the cone.

На фиг, 1 изображен предложенный испаритель, общий вид; на фиг. 2 приведена вакуумна  камера, общий вид, в которой предложенный испаритель использован дл  нанесени  беспористой защитной пленки на отражающее алюминиевое покрытие.Fig, 1 shows the proposed evaporator, a general view; in fig. 2 shows a vacuum chamber, a general view in which the proposed evaporator is used to apply a non-porous protective film on a reflective aluminum coating.

10 Предлагаемый испаритель .представл ет собой конусную спираль, свитую из проволоки 1 тугоплавкого металла , например молибдена, к концам которой подводитс  ток. Шаг навивки10 The proposed evaporator is a tapered helix made of wire 1 of a refractory metal, such as molybdenum, at the ends of which current is applied. Coiling step

15 спирали - переменный и увеличиваетс  от основани  конуса. В нижней части конуса размещена навеска 2 испар емого материала, например моноокиси кремни ,The helix 15 is variable and increases from the base of the cone. In the lower part of the cone there is a hinge 2 of evaporating material, for example, silicon monoxide,

20 В вакуумной камере конвейерной установки дл  нанесени  испарением в вакууме светоотражающего покрыти  повышенной коррозионной стойкости на отражатели фар, отражатели 320 In a vacuum chamber of a conveyor installation for applying a reflective coating of enhanced corrosion resistance to the headlight reflectors, reflectors 3 in evaporation in vacuum

25 располагаютс  с боковых сторон и25 are located on the sides and

Claims (1)

на одинаковом рассто нии от- испарител  4 параллельно оси конуса, в нижней части которого размещена навеска моноокиси кремни  2, распыл ема  после нанесени  алюминиевого, / v -J светоотражающего сло  от испарител  5, также располагаемого между рефлекторами на одинаковом рассто нии от последних в одной плоскости с испарителем моноокиси кремни . В указанной установке вакуумные камеры вход т в состав автономных постов металлизации, перемещаемых замкнутым цепным конвейером, причем каждый из постов снабжен откачными тройствами, станиной-тележкой и блоком автоматического управлени  процессом нанесени  покрыти . Как показали проведенные испытани  отражателей, применение предложенного испарител  в виде конусообразной спирали с переменным шагом, увеличивающимс  от меньшего диаметра конуса с размещенной в ней навеской испар емого материала, позвол ет более, чем в 6 раз повыси коррозионную стойкость отражающего 9.; ,Т пй рь1ти  .за счет получени  беспористой загцитной пленки и соответственно увеличить срок службы оптических элементов фар. Формула изобретени  Испаритель дл  нанесени  покрытий в вакууме, выполненный в виде конусообразной спирали из тугоплавкого металла,отличающийс  тем, что, с целью повышени  качества покрыти , спирали выполнены с переменным шагом, увеличивающимс  от основани  конуса. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1, Давыдов Б,С, Вакуумное нанесение тонких пленок. М,, Энерги , 1967, с. 221, рис. 3-52 И (прототип ),at the same distance from the evaporator 4 parallel to the axis of the cone, in the lower part of which a hinge of silicon monoxide 2 is placed, sprayed after the application of aluminum, / v –J reflective layer from the evaporator 5, also located between the reflectors at the same distance from the latter in one planes with a silicon monoxide vaporizer. In this installation, vacuum chambers are part of autonomous metallization posts moved by a closed chain conveyor, each of the posts being equipped with pumping trios, a trolley frame and an automatic control unit for the coating process. As shown by tests of reflectors, the use of the proposed evaporator in the form of a cone-shaped helix with a variable pitch increasing from a smaller diameter of the cone with a sample of evaporated material placed in it allows the corrosion resistance of the reflective 9 to be increased by more than 6 times; It is possible to increase the service life of the optical elements of the headlamps. Claims Evaporator for vacuum coating made in the form of a cone-shaped spiral of refractory metal, characterized in that, in order to improve the quality of the coating, the spirals are made with variable pitch increasing from the base of the cone. Sources of information taken into account in the examination 1, Davydov B, C, Vacuum deposition of thin films. M ,, Energie, 1967, p. 221, fig. 3-52 And (prototype) Фиг1Fig1
SU762310636A 1976-01-04 1976-01-04 Evaporator for plating under vacuum SU765399A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762310636A SU765399A1 (en) 1976-01-04 1976-01-04 Evaporator for plating under vacuum

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762310636A SU765399A1 (en) 1976-01-04 1976-01-04 Evaporator for plating under vacuum

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU765399A1 true SU765399A1 (en) 1980-09-23

Family

ID=20644392

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU762310636A SU765399A1 (en) 1976-01-04 1976-01-04 Evaporator for plating under vacuum

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU765399A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2688564A (en) Method of forming cadmium sulfide photoconductive cells
US20100182710A1 (en) Method for producing an optical element through a molding process, optical element produced according to the method, collector, and lighting system
US4654229A (en) Method for the production of substrates with a uniform dispersion of extremely fine granules
US2724663A (en) Plural metal vapor coating
DE2256435C3 (en) Process for the production of a hollow cold light mirror
SU765399A1 (en) Evaporator for plating under vacuum
US3486217A (en) Method of fabricating laser cavities
US3106488A (en) Improved method of forming a photoconductive layer on a translucent surface
RU2755324C1 (en) Installation for vacuum deposition and method for coating substrate
US2975075A (en) Method of evaporating metals
US4099969A (en) Coating method to improve adhesion of photoconductors
US4152747A (en) Ionization promoting electrode and method for increasing ionization efficiency
KR950034371A (en) Ion Optical System with Three Grids
US2842463A (en) Vapor deposited metal films
US928224A (en) Electrical condenser and process of making same.
GB827059A (en) Improvements in or relating to photo-sensitive devices employing photo-conductive layers
US4441964A (en) Method of depositing a metal
JP2570560Y2 (en) Electron beam evaporation source
US3960562A (en) Thin film dielectric storage target and method for making same
JPS62280358A (en) Vapor deposition apparatus
JPS5855563A (en) Method for vapor deposition
SU834245A1 (en) Coating-in-vacuum method
FR2442898A1 (en) Vacuum plant for coating of reflectors - where each vacuum chamber containers two evaporators, one for metal such as aluminium, the other providing protective coating on the metal
Hadley At,~ tr~ t No. III~ Vacuum Processing Techniques~ III and References
US2446237A (en) Selenium rectifier