SU760138A1 - Device for coordinate displacement - Google Patents
Device for coordinate displacement Download PDFInfo
- Publication number
- SU760138A1 SU760138A1 SU782621797A SU2621797A SU760138A1 SU 760138 A1 SU760138 A1 SU 760138A1 SU 782621797 A SU782621797 A SU 782621797A SU 2621797 A SU2621797 A SU 2621797A SU 760138 A1 SU760138 A1 SU 760138A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- coordinate
- carriage
- guides
- control unit
- raster
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано в маломощных прецизионных приводах исполнительных устройств систем программного управления, имеющих сравнительно небольшие ходы перемещения.The invention relates to the field of instrumentation and can be used in low-power precision actuators of executive devices of software control systems with relatively small moves.
Известны устройства координатного перемещения Щ, содержащие две взаимно- перпендикулярные каретки, соединенные с отдельными координатными шаговыми приводами, причем на первой каретке в направляющих, параллельных направляющим второй каретки, расположен столик, который через узел хвостовика связан с второй кареткой. Тцкоё устройство является исполнительным устройством системы с разомкнутым контуром управления, в которых точность угла между координатами обеспечивается точностью установки угла между каретками.There are known devices for the coordinate movement U, containing two mutually perpendicular carriages connected to separate coordinate stepper drives, and a table is located on the first carriage in guides parallel to the guides of the second carriage, which is connected to the second carriage through the shank assembly. The device is an actuator of an open-loop control system in which the accuracy of the angle between the coordinates is ensured by the accuracy of the angle between the carriages.
Этот.процесс является длительным и трудоемким и практически мало сокращается даже при серийном изготовлении устройств.This process is time-consuming and labor-intensive and is practically reduced a little, even with mass production of devices.
Известно устройство координатногоThe device is known coordinate
перемещения являющееся наиболееdisplacement which is the most
близким к предлагаемому устройствуclose to the proposed device
1515
2020
2525
по своей технической сущности и достигаемому результату и содержащее блок управления, соединенный с координатными приводами двух взаимно'перпендикулярных кареток, на первой из которых', й направляющих, параллельных направляющим второй каретки, установлен столик, который связан с второй кареткой и соответственно для каждой координаты фотоэлектрические датчики положения, соединенные с блоком управления и выполненные в виде подвижных и индикаторных шкале, фотоприемников и осветителей. Такое устройство является устройством с замкнутым контуром управления, в котором точность угла.между координатами обеспечивается точйостью угла между соответствующими датчиками координат [2] .In its technical essence and the achieved result, it contains a control unit connected to the coordinate drives of two mutually perpendicular carriages, on the first of which, guides, parallel to the guides of the second carriage, a table is installed, which is connected to the second carriage and accordingly for each coordinate photoelectric position sensors connected to the control unit and made in the form of moving and indicator scales, photodetectors and illuminators. Such a device is a device with a closed control loop, in which the accuracy of the angle. Between the coordinates is ensured by the accuracy of the angle between the corresponding coordinate sensors [2].
Однако как и в первом случае проблема снижения трудоемкости и увеличения точности не решается, так как необходимо юстировать угол между датчиками.However, as in the first case, the problem of reducing labor intensity and increasing accuracy is not solved, since it is necessary to adjust the angle between the sensors.
Целью изобретения является увеличение точности и технологичности Уст30 ройства.The aim of the invention is to increase the accuracy and manufacturability of the Device.
3 '°3 '°
Указанная цель достигается тем, что в известном устройстве координатного перемещения имеющем блок управления, соединенный с координатными приводами двух взаимно перпендикулярных кареток, на первой из которых, в направляющих, параллельных направляющим второй каретКй, установлен столик, который связан со второй кареткой и соответственно для Каждой координаты фотоэлектрические датчики по- / ЛОжения, соединенные с блоком управления и выполненные в виде подвижных " *й'индикаторных шкёлы, фотоприемниковThis goal is achieved by the fact that in a known device of coordinate movement having a control unit connected to the coordinate drives of two mutually perpendicular carriages, on the first of which, in guides parallel to the guides of the second carriage, a table is installed, which is connected to the second carriage and accordingly for Each coordinate photoelectric sensors P / L connected to the control unit and made in the form of movable "* indicator gauges, photodetectors
и осветителей, при этом подвижные шкалы обоих координат выполнены в виде двух взаимно перпендикулярных растрОВЫХ'структур, нанесенных на общую основу, закрепленную на столике, причем растровая структура для первой координаты имеет растры, оптически связанные с соответствующей индикаторной шкалой, прикрепленной к первой каретке, а растровая структура другой координаты имеет растры,оптиочески связанные с соответствующей ин' дикаторной шкалой, прикрепленной к основанию. .......·····— - На фиг. ί дана схема устройства; на фиг. 2 — координатный столик сand illuminators, while the moving scales of both coordinates are made in the form of two mutually perpendicular raster structures deposited on a common basis fixed on the table, and the raster structure for the first coordinate has rasters optically connected with the corresponding indicator scale attached to the first carriage, and The raster structure of the other coordinate has rasters that are optically connected with the corresponding indicator scale attached to the base. ....... ····· - - In FIG. ί given the device; in fig. 2 - coordinate table with
фотоэлектрическими датчиками, установленный на каретке (другие детали и блоки не показаны).photoelectric sensors mounted on the carriage (other parts and blocks are not shown).
\ ~ В направляющих ί установлена первая каретка 2, которая чёрез двигатель 3 соединена с блоком 4 управления. На каретке 2 в направляющих 5, перпендикулярных направляющим 1, установлен столик б, который через узел хвостовика 7 соединен с второй кареткой 8, установленной в направляющих 9, которая через двигатель 10 соединена с блоком 4 управления. На координатном столике закреплена подвижная шкала 11 датчиков координат, которая оптически связана с инди'катор_______ными шкалами координат хи у. Подвижная шкала выполнена в виде двух взаимно перпендикулярных растровых струк’ тур. Ширина растровой структуры коор" ' дийёты у равна длине растровой структуры координаты х. Индикаторная шкала 12 жестко прикреплена к каретке 2, а индикаторная шкала 13 координаты у жестко прикреплена к основанию 14. Осветитель 15 (фиг. 2) координаты х помещен напротив шкалы 13 и блока фотоприемников 16. Элементы 14 и 16,\ ~ In the guides ί, the first carriage 2 is installed, which is connected through engine 3 to control unit 4. On the carriage 2 in the guides 5, perpendicular to the guides 1, a table b is installed, which is connected to the second carriage 8 installed in the guides 9 through the shank assembly 7, which is connected to the control unit 4 through the engine 10. On the coordinate table there is a movable scale of 11 coordinate sensors, which is optically connected with the indicator of _______ scales of coordinates xi y. The movable scale is made in the form of two mutually perpendicular raster structures ’tour. The width of the raster structure of the coordinate system is equal to the length of the raster structure of the x coordinate. The indicator scale 12 is rigidly attached to the carriage 2, and the indicator scale 13 coordinates y are rigidly attached to the base 14. The lighter 15 (Fig. 2) x coordinates are placed opposite the scale 13 and block of photodetectors 16. Elements 14 and 16,
......какшкала 13, прикреплены к основа... нию 14. Элементы 17 и 18, как и шкала 12, прикреплены к каретке 2. Фотоприемники 16 и 17 соединены с" блоком 4 управления. ......... .. ............ As the frame 13, attached to the base ... 14. The elements 17 and 18, as well as the scale 12, are attached to the carriage 2. The photodetectors 16 and 17 are connected to the "control unit 4. ...... ... ... ......
Устройство работает следующим образом. 'The device works as follows. '
При движении каретки 2 в любом на, правлении по координатам х или у циклически меняется освещённость фотоприемников 17 и 16, а следовательно,When the carriage 2 moves in any direction, along the x or y coordinates, the illumination of the photodetectors 17 and 16 changes cyclically, and therefore
760138760138
5555
5.five.
10ten
1515
2020
2525
30thirty
3535
4040
4four
выдается периодический сигнал в блок управления по которому вырабатывается сигнал, служащий для управления перемещением кареток. Выполнение подвижной шкалы 11обоих координат на одной подложке и установление ее на координатном столике 6 позволяет непосредственно измерять перемещение столика без промежуточных звеньев, исключая вводимые ими погрешности. Обычнов известных устройствах датчики координат х и у имеют отдельную подвижную шкалу, выполненную на разных основаниях для каждой координаты. Такое выполнение устройства Требует точной установки и регулировки перпендикулярности угла между каретками и датчиками, а при их установке на разных элементах устройства процесс регулировки усложняется, является трудоемким и требует определенных навыков сборщика. Современное развитие техники изготовления микросхем позволяет фотохимическим способом напылять и вытравливать в металлической пленке перпендикулярные растровые структуры с высокой точностью. Эта же технология позволяет в неограниченном количестве мультиплицировать растровые структуры по изготовленным шаблонам. Поэтому; точное изготовление угла между растровыми структурами на одном шаблоне решает проблему установки угла для всей серии устройств.A periodic signal is issued to the control unit for which a signal is generated, which serves to control the movement of the carriages. The implementation of the moving scale 11oboi coordinates on the same substrate and its establishment on the coordinate table 6 allows you to directly measure the movement of the table without intermediate links, excluding errors introduced by them. Normally known devices, the x and y coordinate sensors have a separate moving scale, made on different bases for each coordinate. Such an embodiment of the device Requires precise installation and adjustment of the perpendicularity of the angle between the carriages and sensors, and when they are installed on different elements of the device, the adjustment process is complicated, time-consuming and requires certain skills of the assembler. The modern development of microchip fabrication technology allows using a photochemical method to spray and etch perpendicular raster structures in a metal film with high accuracy. The same technology allows for an unlimited number of multiplication of raster structures on the fabricated templates. Therefore; precision fabrication of the angle between the raster structures on one template solves the problem of setting the angle for the entire series of devices.
Таким образом, выполнение в предлагаемом устройстве подвижных шкал в виде растровых структур, нанесенных на общей основе, закрепленной на координатном столике, и оптически связанных с индикаторными шкалами, позволяет повысить точность и технологичность устройства.Thus, the implementation of the proposed device movable scales in the form of raster structures deposited on a common basis, mounted on the coordinate table, and optically connected with the indicator scales, allows to increase the accuracy and manufacturability of the device.
4545
5050
6060
6565
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782621797A SU760138A1 (en) | 1978-05-22 | 1978-05-22 | Device for coordinate displacement |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782621797A SU760138A1 (en) | 1978-05-22 | 1978-05-22 | Device for coordinate displacement |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU760138A1 true SU760138A1 (en) | 1980-08-30 |
Family
ID=20767242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782621797A SU760138A1 (en) | 1978-05-22 | 1978-05-22 | Device for coordinate displacement |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU760138A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4772835A (en) * | 1987-06-04 | 1988-09-20 | Kulicke And Soffa Industries Inc. | Interactive multiaxis encoder positioning system |
-
1978
- 1978-05-22 SU SU782621797A patent/SU760138A1/en active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4772835A (en) * | 1987-06-04 | 1988-09-20 | Kulicke And Soffa Industries Inc. | Interactive multiaxis encoder positioning system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3786332A (en) | Micro positioning apparatus | |
SE0301164D0 (en) | Improved high accuracy absolute optical encoder | |
DE3481641D1 (en) | MEASURING DEVICE. | |
US3957378A (en) | Two-axis moire fringe displacement transducer | |
US3106127A (en) | Device for the alignment and reading of distances and angles | |
SU760138A1 (en) | Device for coordinate displacement | |
FR2346681A1 (en) | DEVICE FOR OPTICAL CONTROL OF THE PROFILE OF AN OBJECT, USING A PLAIN LASER BEAM | |
US5408750A (en) | X-Y table apparatus | |
TW200732631A (en) | Optical absolute value encoder | |
JPS57165702A (en) | Two-dimentional magnetic scale device | |
US3230380A (en) | Photosensitive polyphase apparatus for detecting and indicating the extent of relative movement | |
CN116974148A (en) | Scanning interference lithography device | |
US3145250A (en) | Moire fringe constructions including a phase change | |
US4096384A (en) | Position transducer for machine tools and measuring machines | |
US4604562A (en) | Feedback-controlled workpiece positioning system | |
DE69535479D1 (en) | METHOD AND DEVICE FOR POSITION AND MOTION MEASUREMENT | |
SU717731A1 (en) | Device for object position control | |
RU2055310C1 (en) | Device for measurement displacement | |
SU564521A1 (en) | Method for measuring displacements | |
Ciddor et al. | A 70-metre laser interferometer for the calibration of survey tapes and EDM equipment | |
GB955045A (en) | Improvements relating to optical indicating devices | |
RU1796485C (en) | Method of assembling hydraulic press | |
RU1781540C (en) | Photoelectric travel converter | |
SU742708A1 (en) | Device for monitoring object position deviation from rectilinearity | |
SU1420339A1 (en) | Method of determining errors of measurements of displacements of moving elements of coordinate measuring machine |