SU758971A1 - Способ изготовления полупроводниковых приборов - Google Patents
Способ изготовления полупроводниковых приборовInfo
- Publication number
- SU758971A1 SU758971A1 SU2744733/25A SU2744733A SU758971A1 SU 758971 A1 SU758971 A1 SU 758971A1 SU 2744733/25 A SU2744733/25 A SU 2744733/25A SU 2744733 A SU2744733 A SU 2744733A SU 758971 A1 SU758971 A1 SU 758971A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- semiconductor devices
- manufacturing semiconductor
- manufacturing
- absent
- abstract
- Prior art date
Links
Landscapes
- Element Separation (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ с боковой диэлектрической изоляцией, включающий операции термического окисления, нанесение диэлектрического слоя, селективное травление по отношению к окислу кремния, вскрытие окон в диэлектрических слоях, легирование для формирования базовой и эмиттерной областей, металлизацию, отличающийся тем, что, с целью повышения качества изготавливаемых приборов и процента выхода годных, после операции термического окисления и вскрытия окон в окисле формируют базовую область, наносят диэлектрический слой и проводят вскрытие в нем окон под эмиттер так, что окна в термическом окисле и диэлектрическом слое перекрещиваются, после чего осуществляют легирование для формирования эмиттерной области.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU2744733/25A SU758971A1 (ru) | 1979-04-02 | 1979-04-02 | Способ изготовления полупроводниковых приборов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU2744733/25A SU758971A1 (ru) | 1979-04-02 | 1979-04-02 | Способ изготовления полупроводниковых приборов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU758971A1 true SU758971A1 (ru) | 1996-04-27 |
Family
ID=60523280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU2744733/25A SU758971A1 (ru) | 1979-04-02 | 1979-04-02 | Способ изготовления полупроводниковых приборов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU758971A1 (ru) |
-
1979
- 1979-04-02 SU SU2744733/25A patent/SU758971A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3065340D1 (en) | Method of producing semiconductor devices | |
DE3161904D1 (en) | Process for the doping of semiconductors | |
JPS5694777A (en) | Method of manufacturing semiconductor | |
JPS5650563A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JPS551194A (en) | Method of manufacturing mos semiconductor | |
MY8500674A (en) | Method of manufacturing semiconductor devices | |
JPS5696868A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JPS5693366A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JPS5658246A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JPS55160425A (en) | Method of manufacturing multiistage semiconductor device | |
JPS55134981A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JPS5688318A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
GB2061243B (en) | Method of making semiconductor devices | |
SU758971A1 (ru) | Способ изготовления полупроводниковых приборов | |
EP0028655A4 (en) | METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE. | |
JPS556896A (en) | Method of manufacturing semiconductor | |
JPS5667974A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
SU745298A1 (ru) | Способ изготовления транзисторных структур | |
SU1193950A1 (ru) | Способ изготовления микроканальных пластин | |
SU760837A1 (ru) | Способ изготовления полупроводниковых интегральных схем | |
SU705934A1 (ru) | Способ изготовления интегральных схем | |
JPS5630766A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
SU723984A1 (ru) | Способ изготовления самосовмещающихся планарных транзисторов | |
SU952051A1 (ru) | Способ изготовления интегральных схем | |
SU865065A1 (ru) | Способ изготовления омических контактов к полупроводниковым приборам |