SU758971A1 - Способ изготовления полупроводниковых приборов - Google Patents

Способ изготовления полупроводниковых приборов

Info

Publication number
SU758971A1
SU758971A1 SU2744733/25A SU2744733A SU758971A1 SU 758971 A1 SU758971 A1 SU 758971A1 SU 2744733/25 A SU2744733/25 A SU 2744733/25A SU 2744733 A SU2744733 A SU 2744733A SU 758971 A1 SU758971 A1 SU 758971A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
semiconductor devices
manufacturing semiconductor
manufacturing
absent
abstract
Prior art date
Application number
SU2744733/25A
Other languages
English (en)
Inventor
В.Н. Кокин
А.Д. Сулимин
Н.М. Манжа
А.И. Одиноков
Г.П. Коваленко
А.Р. Назарьян
Original Assignee
В.Н. Кокин
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by В.Н. Кокин filed Critical В.Н. Кокин
Priority to SU2744733/25A priority Critical patent/SU758971A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU758971A1 publication Critical patent/SU758971A1/ru

Links

Landscapes

  • Element Separation (AREA)
  • Recrystallisation Techniques (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ с боковой диэлектрической изоляцией, включающий операции термического окисления, нанесение диэлектрического слоя, селективное травление по отношению к окислу кремния, вскрытие окон в диэлектрических слоях, легирование для формирования базовой и эмиттерной областей, металлизацию, отличающийся тем, что, с целью повышения качества изготавливаемых приборов и процента выхода годных, после операции термического окисления и вскрытия окон в окисле формируют базовую область, наносят диэлектрический слой и проводят вскрытие в нем окон под эмиттер так, что окна в термическом окисле и диэлектрическом слое перекрещиваются, после чего осуществляют легирование для формирования эмиттерной области.
SU2744733/25A 1979-04-02 1979-04-02 Способ изготовления полупроводниковых приборов SU758971A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2744733/25A SU758971A1 (ru) 1979-04-02 1979-04-02 Способ изготовления полупроводниковых приборов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2744733/25A SU758971A1 (ru) 1979-04-02 1979-04-02 Способ изготовления полупроводниковых приборов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU758971A1 true SU758971A1 (ru) 1996-04-27

Family

ID=60523280

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2744733/25A SU758971A1 (ru) 1979-04-02 1979-04-02 Способ изготовления полупроводниковых приборов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU758971A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3065340D1 (en) Method of producing semiconductor devices
DE3161904D1 (en) Process for the doping of semiconductors
JPS5694777A (en) Method of manufacturing semiconductor
JPS5650563A (en) Method of manufacturing semiconductor device
JPS551194A (en) Method of manufacturing mos semiconductor
MY8500674A (en) Method of manufacturing semiconductor devices
JPS5658246A (en) Method of manufacturing semiconductor device
JPS55160425A (en) Method of manufacturing multiistage semiconductor device
JPS55134981A (en) Method of manufacturing semiconductor device
JPS5688318A (en) Method of manufacturing semiconductor device
GB2061243B (en) Method of making semiconductor devices
SU758971A1 (ru) Способ изготовления полупроводниковых приборов
EP0028655A4 (en) METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE.
JPS556896A (en) Method of manufacturing semiconductor
JPS5667974A (en) Method of manufacturing semiconductor device
SU745298A1 (ru) Способ изготовления транзисторных структур
SU1193950A1 (ru) Способ изготовления микроканальных пластин
SU760837A1 (ru) Способ изготовления полупроводниковых интегральных схем
SU705934A1 (ru) Способ изготовления интегральных схем
JPS5630766A (en) Method of manufacturing semiconductor device
SU723984A1 (ru) Способ изготовления самосовмещающихся планарных транзисторов
SU952051A1 (ru) Способ изготовления интегральных схем
SU865065A1 (ru) Способ изготовления омических контактов к полупроводниковым приборам
SU1128694A1 (ru) Способ изготовления высокотемпературного тензорезистивного элемента
GB2013977B (en) Methods of manufacturing semiconductor devices