SU756282A1

SU756282A1 - Electrolyte for determining dielectric film flaws

Info

Publication number: SU756282A1
Application number: SU782635843A
Authority: SU
Inventors: Georgij N Pavlov
Original assignee: Georgij N Pavlov
Priority date: 1978-06-30
Filing date: 1978-06-30
Publication date: 1980-08-15

Description

Изобретение относится к электрохимическим средствам для исследования материалов и может быть использовано в микроэлектронике при определении с дефектов диэлектрических пленок.The invention relates to electrochemical means for the study of materials and can be used in microelectronics in the determination of defects of dielectric films.

Известен 'в качестве электролита 30%-ный раствор едкого кали [1].A 30% potassium hydroxide solution is known as an electrolyte [1].

Однако применение этого раствора ограничено из-за того, что едкое кали^ является дорогостоящей (редкой) щелочью. Кроме того, едкое кали и· его растворы оказывают разъедающее действие на кожу человека.However, the use of this solution is limited due to the fact that caustic potash is an expensive (rare) alkali. In addition, caustic potassium and its solutions have a corrosive effect on human skin.

Известен также в качестве электро-15 лита солянокислый раствор бензидина [2].Also known as an electro-15 litas hydrochloric acid solution of benzidine [2].

Однако применение этого раствора ограничено, его нельзя использовать для определения пористости стеклянных покрытий.Бензидин хорошо растворяется 20 только в соляной кислоте, но в солянокислых растворах часто травятся и пленки стекла. Кроме того, бензидин - токсичное вещество.However, the use of this solution is limited, it cannot be used to determine the porosity of glass coatings. Benzidine dissolves well 20 only in hydrochloric acid, but glass films are also etched in hydrochloric acid solutions. In addition, benzidine is a toxic substance.

Из известных электролитов наиболее25 близким к заявляемому по составу является электролит ГЗ], представляющий собой водный раствор фенола и желатины при следующем соотношении компонентов, вес.%:Of the known electrolytes, the closest to the claimed composition is the electrolyte GZ], which is an aqueous solution of phenol and gelatin in the following ratio of components, wt.%:

Желатина 0,1-0,5Gelatin 0.1-0.5

Вода ОстальноеWater Rest

Однако применение этого раствораHowever, the application of this solution

небезопасно, так как фенол весьма ядовит. При действии на кожу фенол вы эывает сильные ожоги.unsafe, since phenol is highly toxic. Phenol causes severe burns on the skin.

Целью изобретения является исключение токсичности состава при сохранении травящих свойств.The aim of the invention is the elimination of the toxicity of the composition while maintaining the etching properties.

Для достижения указанной цели в известный электролит, включающий водный раствор желатины, дополнительно введена винная кислота.To achieve this goal, tartaric acid is added to a known electrolyte, which includes an aqueous solution of gelatin.

Электролит представляет собой водный раствор винной кислоты и желатины при следующем соотношении компонентов вес.%:The electrolyte is an aqueous solution of tartaric acid and gelatin in the following ratio of components, wt.%:

Винная кислота 4-6Tartaric acid 4-6

Желатина 0,1 - 0,5Gelatin 0.1 to 0.5

Вода ОстальноеWater Rest

Электролит был опробован на диэлектрических пленках из моноокиси кремния, нанесенных на ситалловую подложку с напыленным алюминием.The electrolyte was tested on dielectric films of silicon monoxide deposited on a glass substrate with sprayed aluminum.

Данные по составу выбранных электролитов и измеряемых с их помощьюData on the composition of the selected electrolytes and measured with their help

размеров дефектов приведены в таблице .sizes of defects are given in the table.

33

756282756282

4four

СоставComposition

электролитаelectrolyte

вес.%weight.%

ВиннаяWinery

кислотаacid

ЖелатинаGelatin

ВодаWater

Измеряемые размеры дефектов в диэлектрических пленках моноокиси кремния, мкмMeasured size of defects in dielectric films of silicon monoxide, µm

4 four 0,1 0.1 остальное rest 0,25-0,5 0.25-0.5 5 five 0,3 0.3 остальное rest 0,4-0,7 0.4-0.7 6 6 0,5 0.5 остальное rest 1,5-2 1.5-2

Предлагаемый электролит является безвредным. Кроме того, винная кисло- . ~ та является более активной, чем фенол, т.е. скорость травления при использовании предложенного электролита повышается.The proposed electrolyte is harmless. In addition, the wine is sour. ~ that is more active than phenol, i.e. the etching rate when using the proposed electrolyte increases.

2020

Claims

Claim

The electrolyte for the determination of defects in dielectric films, comprising a 25 aqueous solution of gelatin, characterized in that, in order to eliminate toxicity while maintaining

etching properties, it additionally contains tartaric acid in the following ratio, wt.%

Tartaric acid 4-6

Gelatin od - 5

Water Rest