Изобретение относитс к вспомога тельным устройствам- дл проведени различных технологических процессов и может быть использовано дл очист кй подложек в парах органических рас ворителей перед нанесением пленок в в ак ууме . Известно устройство дл очистки изделий, содержащее снабженную нагр вателем ванну дл органического рас ворител , держатель изделий и конденсатор дл охлаждени отработанных паров 1. Недостлток его - невозможность обеспечить высокое качество очистк и изделий, необходимое дл р да практических случаев, Цель изобретени - повышение каче ,1ства очистки изделий.. Она достигаетс тем, что устройство , содержащее снабженную нагревателем ванну дл органического растворител , держатель изделий и конденсатор дл охлаждени отработанных паров, снабжено герметизированной камерой и, по меньшей мере одним паропроводом, при. этом ванна размещена внутри камеры/ паропровод ycTaHOBJigH цад ванной, а держатель изделий выполнен кольцевым и размещен у выходного отверсти паропрово да, тарельчатым рассенв.ателем, рас- , положенным между выходным отверстием паропровода и держателем изделий. На чертеже представлена схема .устройства дл очистки изделий. Устройство содержит нагреватель 1 ванны 2 дл органического растворител , паропровод 3, снабженый тарельчатым рассеивателем 4, расположенным между выходным отверстием паропровода и кольцевым держателем 5 изделий. Конденсатор дл охлаждени отработанных паров выполнен в виде рубашки охлаждени герметизированной камеры б, в которой размещеныЬсе узлы устройства. Улучшению работы устройства способствует ловушка 7, охлаждаема , например жидким азотом. Ванна 2 размещена внутри герметизированной камеры 6, паропровод 3 установлен над ванной 2, а держатель 5 изделий выполнен кольцевым и размещен у выходного отверсти паропровода 3, Устройство работает следующим образом .The invention relates to auxiliary devices for carrying out various technological processes and can be used for cleaning substrates in vapors of organic solvents before applying films in the akum. A device for cleaning products is known, which contains an organic solvent bath supplied with a heater, a product holder and a condenser for cooling exhaust vapors. 1. Its disadvantage is the inability to ensure the high quality of cleaning and products necessary for a number of practical cases. This is achieved by the fact that a device containing an organic solvent bath equipped with a heater, a product holder and a condenser for cooling the waste steam It is provided with a sealed chamber and at least one steam pipe, when. In this case, the bath is located inside the chamber / steam line of the ycTaHOBJigH bath tub, and the product holder is made annular and is placed at the outlet of the steam line, with a dishwasher dispersed between the outlet of the steam line and the product holder. The drawing shows a circuit for cleaning products. The device comprises a heater 1 for a bath 2 for an organic solvent, a steam line 3, provided with a disk-type diffuser 4, located between the outlet of the steam line and the ring holder 5 of products. The condenser for cooling the exhaust vapor is made in the form of a cooling jacket of the sealed chamber b, in which all the components of the device are located. Improving the operation of the device contributes to the trap 7, cooled, for example with liquid nitrogen. Bath 2 is placed inside the sealed chamber 6, the steam line 3 is installed above the bath 2, and the holder 5 products made annular and placed at the outlet of the steam line 3, the device works as follows.
В устройстве дл очистки изделий подогреваемым нагревателем 1, эакипа ,ет органический растворитель, згши- тый Б ванну 2, Пары растворител , поднима сь по паропроводу 3, с большой скоростью вылетают около тарельчатого рассеивател 4 и, в виде направленной струи, -попадаиот на издели , укрепленные на кольцевом держателе 5. Очища издели , пары конденсируютс и загр зненный конденсат стекает по стенкам камеры 6 в ванну 2. Пары растворител не могут выйти за пределы камеры 6, так как они перехватываютс и выморажиBajoTCH азотной ловушкой 7.In the device for cleaning products with a heated heater 1, an aikip, an organic solvent, a contracted bath 2, solvent vapors, ascend along the steam line 3, fly out at high speed around the dish-shaped diffuser 4 and, in the form of a directional jet, hit the product mounted on the ring holder 5. The product wipes, the vapors condense and the contaminated condensate flows along the walls of chamber 6 into the bath 2. Solvent vapors cannot extend beyond chamber 6 because they are intercepted and the BajoTCH freeze with a nitrogen trap 7.
Применение герметизированной камеры , паропровода, кольцевого держател изделий и их взаимное расположение позвол ет существенно повысить качество очистки обрабатываемых изделий.The use of a sealed chamber, a steam line, an annular holder of products and their mutual arrangement allows to significantly improve the quality of cleaning of the processed products.
Повышение качества о гистки при этом обеспечиваетс и тем, что стру пара, вылета с большой скоростью из паропровода не только химически, но и механически очищает подложки. Кроме того, фракционирующее действие устройства приводит к самоочищению порций пара, выход щих из паропро- вода. Использование устройства дл очистки подложек в парах органического растворител показало, чтоThe improvement of the quality of the whistles is also ensured by the fact that the jet of steam, the emission at high speed from the steam line, not only chemically, but also mechanically cleans the substrates. In addition, the fractionation effect of the device leads to self-cleaning of the portions of steam leaving the steam line. The use of a device for cleaning substrates in vapors of an organic solvent showed that
выход годных к последующему нанесению пленок в вакууме подложек превышает 95%.the yield of substrates that are suitable for the subsequent deposition of films in vacuum exceeds 95%.