SU741049A1

SU741049A1 - Object displacement measuring method

Info

Publication number: SU741049A1
Application number: SU782672508A
Authority: SU
Inventors: Владимир Владимирович Малов; Владимир Михайлович Макаров; Виктор Михайлович Плужников; Ольга Александровна Кучко
Original assignee: Московский Ордена Трудового Красного Знамени Инженерно-Физический Институт
Priority date: 1978-10-05
Filing date: 1978-10-05
Publication date: 1980-06-15

Description

1one

Изобретение относитс к области измерительной техники и может быть использовано дл измерени малых линейных и угловых перемещений материальных тел.The invention relates to the field of measurement technology and can be used to measure small linear and angular movements of material bodies.

Известен способ измерени микроперемещений объекта, заключающийс в том, что создают пространственно-периодическое поле и движение контролируемого объекта относительно пол пространственно-периодической структуры приводит к периодическому изменению сигнала на выходе детектора, сопр женного с перемещающимс объектом 1. В простейщем случае перемещени объекта могут фиксироватьс с точностью до одного периода пространственно-периодического пол , что ограничивает разрещающую способность измерени .A known method of measuring an object's microdisplacement is that they create a spatially periodic field and the movement of the object being monitored relative to the floor of the spatially periodic structure leads to a periodic change in the signal at the output of the detector associated with the moving object 1. Accuracy of up to one period of a spatially periodic field, which limits the measurement resolution.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату вл етс способ измерени перемещений объекта, заключающийс в том, что создают физическое пространственно-периодическое поле, размещают в нем контролируемый объект, измер ют с помощью детектора величину электрического сигнала, св занного с изменением положени объекта относительно физического пространственно-периодического пол , и о перемещении суд т по величине электрического сигнала 2.The closest to the invention in technical essence and the achieved result is a method for measuring the movement of an object, which consists in creating a physical spatial-periodic field, placing a controlled object in it, measuring the magnitude of an electrical signal associated with a change in the object's position using a detector relative to the physical spatially periodic field, and the displacement is judged by the magnitude of the electric signal 2.

Недостатком этого способа измерений вл етс сложность, а также мала разрещающа способность измерени микроперемещений .The disadvantage of this measurement method is the complexity as well as the low resolution of the measurement of the microdisplacements.

Сложность обусловлена необходимостью использовани высококачественных оптических систем, а также промежуточных преобразователей оптического сигнала в электрический .The difficulty is due to the need to use high-quality optical systems, as well as intermediate optical-to-electrical signal converters.

Повыщение разрещающей способности измерени микроперемещений св зано с необходимостью уменьщени периода растровой рещетки.Increasing the microscopic measurement resolution is associated with the need to reduce the period of the raster grid.

Цель изобретени - уменьщение процесса измерени и повыщение его разрещающей способности.The purpose of the invention is to reduce the measurement process and increase its resolution.

Поставленна цель достигаетс тем, что создают неподвижное пространственно-периодическое электрическое поле с помощью сто чих поверхностных акустических волн, распростран ющихс в пъезоэлектрике, а детектор устанавливают на контролируемом объекте.This goal is achieved by creating a fixed spatially periodic electric field with the help of standing surface acoustic waves propagating in a piezoelectric, and the detector is installed on a controlled object.

Claims

Formula of the invention ₁₅ A method for measuring the displacements of an object, which consists in creating a physical spatially periodic field, placing a controlled object in it, measuring with the aid of a detector ^{4 the} magnitude of the electric signal associated with a change in the position of the object relative to the physical spatially periodic field, and about moving judged by the magnitude of the electrical signal, characterized in that, in order to simplify the measuring process and _2J increase its resolution, the still create space consisting GOVERNMENTAL-periodic electric field using the standing surface acoustic waves propagating in the piezoelectric, and the detector mounted on the controlled object Yu.