SU731493A1 - Магниторазр дный насос - Google Patents
Магниторазр дный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU731493A1 SU731493A1 SU782679921A SU2679921A SU731493A1 SU 731493 A1 SU731493 A1 SU 731493A1 SU 782679921 A SU782679921 A SU 782679921A SU 2679921 A SU2679921 A SU 2679921A SU 731493 A1 SU731493 A1 SU 731493A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- discharge pump
- magnetic
- electrical
- pump
- magnetic discharge
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к электровакуумной технике, а более конкретно - к высоковакуумным магниторазр дным насосам, предназначенным дл вакуумировани объемов в электровакуумных и радиоэлектрон- 5 ных системах, в масс-спектрометрической аппаратуре, при измерении высокого вакуума , в космической технике и технике электрофизических исследований.
Известно устройство магниторазр дного ю насоса, где подачу высокого напр жени на электрод обеспечивает высоковольтный ввод 1.
Известен магниторазр дный насос, содержащий герметичный корпус, систему элек- is тродов, по крайней мере один электроввод и магнит с магнитопроводом 2.
Распыление материала катода, происход щее в процессе работы магниторазр дного насоса, может приводить к образова- 20 нию провод щих пленок на поверхности изол торов, что существенно снижает электрическую прочность последних.
Сохранение электрической прочности изо- 25 л торов электровводов достигаетс с помощью системы экранов, предотвращающих пр мое попадание распыл емого материала на поверхность изол торов.
Однако, так как электроввод находитс в магнитном поле рассе ни , то в области его расположени может возникать разр д, способствующий напылению провод щего сло на изол тор.
Данное обсто тельство особенно критично дл малогабаритных насосов, так как попытки выноса электровводов из активной зоны разр да привод т к значительному увеличению размеров и массы насоса.
Целью изобретени вл етс исключение электрических пробоев и утечек по поверхности изол тора электроввода.
Поставленна цель достигаетс тем, что стенка магнитопровода выполнена с отверстием , в котором размещен электроввод.
На фиг. 1 представлен продольный разрез насоса; на фиг 2 - продольный разрез электроввода; на фиг. 3 - поперечный разрез насоса.
В герметичном корпусе 1 (фиг. 1) смонтирована система электродов 2, закрепленна на высоковольтных электровводах 3. Изол торы 4 (фиг. 2) электровводов защищены от пр мого попадани распыленного титана из активной зоны электродов экранами 5 лабиринтной конструкции. Кориус насоса помещен в магнитное поле магнита, состо щего из диполей 6 (фиг. 3) (N и S),
изготовленных из магнитотвердого материала и магнитопровода 7, изготовленного из магнитом гкого материала.
Предлагаемое устройство нредставл ет собой магниторазр дный насос, у которого зона размещени изол торов высоковольтных вводов пересекаетс стенками магнитопровода , дл чего в ннх имеютс отверсти .
При такой конструкции магнитное ноле замыкаетс через стенку магннтопровода. Таким образом, ликвидируетс магнитное ноле в зоне изол тора и иоэтому ие возникает разр д в области изол торов вводов и соответственно исключаетс возмол :ность электрических утечек и нробоев из-за отсутстви нанылени .
Предлагаемое устройство нозвол ет новысить надежность и ресурс работы магниторазр дного насоса.
Claims (2)
1.Васильев Г. А. Магниторазр дные насосы . М., «Энерги , 1970, с. 81.
2.Конструкторска документаци на масс-спектрометр MX 6202, чертеж 1Г2.969.000 по ТУ 1ГЗ 394.000 завод электронных микроскопов г. Сумы, 1971 (нрототип ).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782679921A SU731493A1 (ru) | 1978-10-31 | 1978-10-31 | Магниторазр дный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782679921A SU731493A1 (ru) | 1978-10-31 | 1978-10-31 | Магниторазр дный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU731493A1 true SU731493A1 (ru) | 1980-04-30 |
Family
ID=20791668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU782679921A SU731493A1 (ru) | 1978-10-31 | 1978-10-31 | Магниторазр дный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU731493A1 (ru) |
-
1978
- 1978-10-31 SU SU782679921A patent/SU731493A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100659828B1 (ko) | 이온화 물리적 증착 방법 및 장치 | |
| US4166018A (en) | Sputtering process and apparatus | |
| US3291715A (en) | Apparatus for cathode sputtering including a plasmaconfining chamber | |
| KR920004847B1 (ko) | 스퍼터 장치 | |
| KR0155568B1 (ko) | 플라즈마 처리장치 | |
| US4194962A (en) | Cathode for sputtering | |
| US4383177A (en) | Multipole implantation-isotope separation ion beam source | |
| US7102139B2 (en) | Source arc chamber for ion implanter having repeller electrode mounted to external insulator | |
| KR960029488A (ko) | 원통형 마그네트론 차폐 구조물 및 침착 방법 | |
| US4434042A (en) | Planar magnetron sputtering apparatus | |
| EP0525633A1 (en) | Plasma processing apparatus | |
| AU6589398A (en) | Plasma processing system utilizing combined anode/ion source | |
| JPH06240452A (ja) | 陰極スパッタリングによってプラズマを発生させるための装置 | |
| ATE29623T1 (de) | Magnetron kathodenzerstauebungssystem. | |
| KR100679593B1 (ko) | 고전압 발생 장치 및 이를 이용한 가속 장치 | |
| KR20010034145A (ko) | 셀프-밸런싱 차폐된 양극성 이온화기 | |
| US3451917A (en) | Radio frequency sputtering apparatus | |
| NL9301480A (nl) | Inrichting voor het opwekken van een plasma door middel van kathodeverstuiving en microgolfbestraling. | |
| EP0326531A2 (en) | Improved RF plasma processing apparatus | |
| SU731493A1 (ru) | Магниторазр дный насос | |
| US3436332A (en) | Stabilized low pressure triode sputtering apparatus | |
| GB1270496A (en) | Ion source for slow-ion sputtering | |
| US3400882A (en) | Ion pump | |
| JP7114368B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
| JP2832360B2 (ja) | 薄膜形成装置 |