SU724802A1

SU724802A1 - Apparatus for determining characteristics of turbomolecular vacuum pump

Info

Publication number: SU724802A1
Application number: SU782598861A
Authority: SU
Inventors: Владимир Иванович Бойцов; Борис Викторович Иванов
Original assignee: Московский Ордена Трудового Красного Знамени Институт Химического Машиностроения
Priority date: 1978-04-03
Filing date: 1978-04-03
Publication date: 1980-03-30

Description

1one

Изобретение относитс к вакуумной технике , а именно к устройствам дл определени характеристик вакуумных насосов.The invention relates to vacuum technology, namely, devices for determining the characteristics of vacuum pumps.

Известно устройство дл определени характеристик турбомолекул рного вакуумного насоса, содержащее присоединенный к откачиваемому объему и насосу вертикальный корпус, по оси которого на упругой нити подвешен пробный диск 1.A device for determining the characteristics of a turbomolecular vacuum pump is known, which comprises a vertical casing attached to the pumped-out volume and the pump, along the axis of which a test disk 1 is suspended on an elastic thread.

Недостатками указанного устройства вл ютс инерционность измерений динамически мен ющегос давлени , завис ща от проводимости зазора между пробным диском и насосом, и невысока точность измерений , обусловленна удаленностью измерительного устройства (пробного диска) от входа насоса.The disadvantages of this device are the inertia of measurements of dynamically varying pressure, depending on the conductivity of the gap between the test disk and the pump, and the low measurement accuracy due to the remoteness of the measuring device (test disk) from the pump inlet.

Целью изобретени вл етс повыщение точности, снижение инерционности и расширение диапазона измерений.Указанна цель достигаетс тем, что пробный диск размещен со стороны роторного диска насоса и снабжен лопатками, установленными зеркально относительно лопаток роторного диска. Пробный диск установлен с возможностью осевого перемещени .The aim of the invention is to increase the accuracy, decrease the inertia and expand the measurement range. This goal is achieved by placing the test disk on the side of the pump rotor disk and equipped with blades mounted mirror-image of the rotor disk blades. The test disk is installed with the possibility of axial movement.

-На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2- схема, по сн юща его работу. - FIG. 1 shows the proposed device, a longitudinal section; in fig. 2 is a diagram explaining his work.

Устройство дл определени . характеристик турбомолекул рного вакуумного насоса содержит присоединенный к насосу 1 ,вертикальный корпус 2, по оси которого на упругой нити 3 подвешен пробный диск 4, размещенный со стороны роторного диска 5 насоса 1 и снабженный лопатками 6, установленными зеркально относительно лопаток 7 диска 5 ротора 8. Пробный диск 4 установлен с возможностью осевого перемещени при помощи ввода 9. Насос 1 снабжен приводом 10. Кроме того, на вертикальном корпусе 2 размещены натекатель 11, датчики 12 вакуума, подсветка 13 н смотровое окно 14 дл проведени отсчета углов поворота пробного диска 4.Device for determination. characteristics of a turbomolecular vacuum pump contains a vertical casing 2 connected to the pump 1, along which axis a test disk 4 is suspended on the elastic thread 3, placed on the side of the rotor disk 5 of pump 1 and equipped with blades 6 mounted mirror relative to blades 7 of the rotor disk 5 5. The test disk 4 is mounted with the possibility of axial movement using the input 9. The pump 1 is equipped with an actuator 10. In addition, a leak detector 11, vacuum sensors 12, a backlight 13 and a viewing window 14 are placed on the vertical housing 2 for couple of angles of rotation test drive 4.

Устройство- работает следующим образом .The device works as follows.

При достижении предварительного вакуума в объеме корпуса 2, включаетс привод 10 насоса 1, который приводит во вращение ротор 8 с дисками 5. После выхода на заданный уровень вакуума пробный диск 4 с помощью ввода 9 приближаетс к диску 5 на определенное рассто ние. Молекулы газа , отраженньте диском 5 обратно в объем корпуса 12 и получившие при соударении дополнительный импульс количества движени (показаны на фиг. 2 стрелками), соудаUpon reaching a preliminary vacuum in the volume of the housing 2, the drive 10 of the pump 1 is turned on, which causes the rotor 8 with the disks 5 to rotate. After reaching the specified vacuum level, the test disk 4 approaches 9 the disk 5 by a certain distance by entering 9. The gas molecules, reflected by the disk 5 back into the volume of the body 12 and received an additional momentum of movement during the collision (shown in Fig. 2 with arrows), collide

Claims

Claim

1. A device for determining the characteristics of a turbomolecular vacuum pump, comprising a vertical casing connected to the pumped volume and pump, along the axis of which a test disk is suspended on an elastic thread, characterized in that, in order to increase the accuracy and 10 to reduce the inertia of measurements, the test disk is placed with side of the rotor disk of the pump and is equipped with blades mounted mirror-like relative to the blades of the rotor disk.

15 2. The device according to claim / characterized in that, in order to expand the measurement range, the test disk is mounted with the possibility of axial movement.