JP2606568B2 - Leak detector - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、漏れ箇所の検出及び漏
れ量を定量検出するためのリークデテクタに関し、特
に、該リークデテクタに用いられる高真空排気用真空ポ
ンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak detector for detecting a leak location and quantitatively detecting a leak amount, and more particularly to a vacuum pump for high vacuum exhaust used in the leak detector.
【０００２】[0002]
【従来の技術】漏れ箇所の検出及び漏れ量を定量検出す
るためのリークデテクタとして、種々の装置があり、高
真空系のリーク試験に用いるものとして質量分析計形分
析管等の分析計を用いたものが知られている。この種の
リークデテクタでは、高真空排気用真空ポンプによって
真空排気が行われている。図４は逆拡散法による従来の
リークデテクタの構成図である。図４において、テスト
ポート１０１の一端は被試験体であるワークに接続さ
れ、他端は粗引きバルブ１１１及びＲＰ接続ポート１０
２を介して油回転真空ポンプ（ＲＰポンプ）１０４に接
続される。また、吸気口側に分析計１０７が接続された
高真空排気用真空ポンプであるターボ分子ポンプ１０３
の排気口側は、フォアバルブ１１２を介してＲＰ接続ポ
ート１０２と粗引きバルブ１１１との接続点に接続され
る。2. Description of the Related Art There are various devices as leak detectors for detecting leak locations and quantitatively detecting the amount of leaks. An analyzer such as a mass spectrometer type analysis tube is used as a leak detector for a high vacuum system leak test. What was known is known. In this type of leak detector, vacuum exhaust is performed by a vacuum pump for high vacuum exhaust. FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional leak detector by the inverse diffusion method. In FIG. 4, one end of a test port 101 is connected to a work as a test object, and the other end is a roughing valve 111 and an RP connection port 10.
2 and connected to an oil rotary vacuum pump (RP pump) 104. Further, a turbo molecular pump 103 which is a vacuum pump for high vacuum evacuation with an analyzer 107 connected to the inlet side.
Is connected to a connection point between the RP connection port 102 and the roughing valve 111 via a fore valve 112.
【０００３】前記構成のリークデテクタにおいて、試験
下のワークを高真空排気用真空ポンプの補助排気ライン
につなぐとともに分析計側を高真空側につなぎ、プロー
ブガスとしてヘリウムを用いると、高真空排気用真空ポ
ンプはリークしている系内に主として存在するＨ2 Ｏ、
Ｎ2 、Ｏ2 等の重い気体と軽いヘリウムとを圧縮比によ
って差別して、他の気体より多くのヘリウムを高真空側
に逆拡散し、高真空側のヘリウムの濃度を補助真空側よ
りも高くする。そして、このヘリウム濃度を分析管によ
り測定することにより、リーク検出を行うことができ
る。[0003] In the leak detector having the above construction, when the work under test is connected to an auxiliary exhaust line of a vacuum pump for high vacuum exhaust and the analyzer side is connected to the high vacuum side, and helium is used as a probe gas, a high vacuum exhaust Vacuum pumps mainly contain H 2 O in the leaking system,
N 2 , O 2 and other heavy gases and light helium are discriminated by the compression ratio, more helium is diffused back to the high vacuum side than other gases, and the helium concentration on the high vacuum side is higher than that on the auxiliary vacuum side. Make it higher. Then, leak detection can be performed by measuring the helium concentration using an analysis tube.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来のリークデテクタにおいては、リークデテクタに用
いられる従来の高真空排気用真空ポンプは、通常、吸気
口と排気口が１対となった構成であり、前記逆拡散法に
必要な補助真空側を形成するためには、その構成が複雑
となるという問題点がある。However, in the above-described conventional leak detector, the conventional high vacuum exhaust vacuum pump used for the leak detector usually has a configuration in which an intake port and an exhaust port are paired. In order to form the auxiliary vacuum side necessary for the reverse diffusion method, there is a problem that the configuration becomes complicated.
【０００５】また、ロータの中間位置に第２の排気口を
形成することにより、補助真空側をポンプ自体に設けた
高真空排気用真空ポンプが知られているが、回転体であ
るロータ付近に排気口を形成するためには複雑な構成が
必要となり、そのため部品数も増加し、組み立ても複雑
となるという問題点がある。[0005] A high-vacuum evacuation vacuum pump in which an auxiliary vacuum side is provided in the pump itself by forming a second exhaust port at an intermediate position of the rotor is known. In order to form the exhaust port, a complicated configuration is required, and therefore, there is a problem that the number of parts increases and the assembly becomes complicated.
【０００６】そこで、本発明は前記した従来のリークデ
テクタの問題点を解決し、補助真空側の第２の排気口を
少ない部品数で容易に組み立てができる高真空排気用真
空ポンプからなるリークデテクタを提供することを目的
とする。Accordingly, the present invention solves the above-mentioned problems of the conventional leak detector, and comprises a leak detector comprising a high vacuum exhaust vacuum pump capable of easily assembling the second exhaust port on the auxiliary vacuum side with a small number of parts. The purpose is to provide.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、分析計と、該
分析計を排気する高真空排気用真空ポンプと、被試験体
を排気する粗引排気装置からなり、逆拡散法により漏れ
検出を行うリークデテクタにおいて、高真空排気用真空
ポンプに、軸により回転可能に軸支されるロータと、ロ
ータからの排気を行う前記被試験体側に接続される第１
の排気口と前記粗引排気装置側に接続される第２の排気
口を持たせた構成とし、その排気口の内いずれか一方
を、高真空排気用真空ポンプを構成するべースの下面で
あって、ロータを軸支する軸受けの一部を支持する支持
部材と共用する部材に形成することにより、前記目的を
達成する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises an analyzer, a high vacuum pump for exhausting the analyzer, and a rough exhaust device for exhausting the device under test, and detects leaks by a reverse diffusion method. A high-vacuum evacuation vacuum pump, a rotor rotatably supported by a shaft, and a first device connected to the test object side for evacuation from the rotor.
And a second exhaust port connected to the rough exhaust device side, and one of the exhaust ports is provided on the lower surface of a base constituting a high vacuum exhaust vacuum pump. The above object is attained by forming a member shared with a support member that supports a part of a bearing that supports the rotor.
【０００８】本発明における分析計は、質量分析の機能
を有する装置であり、例えば質量分析計形分析管等を用
いることができる。The analyzer according to the present invention is a device having a function of mass spectrometry, and for example, a mass spectrometer type analysis tube or the like can be used.
【０００９】また、本発明における逆拡散法によるリー
クデテクタは、被試験体を分析計を排気する高真空排気
用真空ポンプの背圧側に接続するものであり、本発明に
おける高真空排気用真空ポンプは、１０-1Ｐａ〜１０-5
Ｐａの高真空を実現する機能を有する装置であって、例
えばターボ分子ポンプや、分子ポンプ等を用いることが
できる。In the leak detector according to the present invention, the device to be tested is connected to the back pressure side of a vacuum pump for high vacuum exhaust for exhausting the analyzer, and the vacuum pump for high vacuum exhaust according to the present invention is provided. Is 10 -1 Pa to 10 -5
An apparatus having a function of realizing a high vacuum of Pa, for example, a turbo molecular pump, a molecular pump, or the like can be used.
【００１０】本発明において、排気口と支持部材とを共
用する部材は、高真空排気用真空ポンプが通常持つ構成
部材とすることができ、例えば高真空排気用真空ポンプ
のフランジとすることができる。In the present invention, the member that shares the exhaust port and the support member can be a component member normally included in a high vacuum exhaust vacuum pump, for example, a flange of the high vacuum exhaust vacuum pump. .
【００１１】[0011]
【作用】前記構成とすることにより、リークデテクタの
高真空排気用真空ポンプにおいて、軸により回転可能に
軸支されたロータからの排気を行う第１と第２の２つの
排気口の内のいずれか一方を、高真空排気用真空ポンプ
を構成するべースの下面であって、ロータを軸支する軸
受けの一部を支持する支持部材であるフランジ等の共用
部材に形成することにより、排気口を構成するための構
成要素を、ロータの軸受けの一部を支持する支持部材と
共用して形成することができ、これにより、構成部材の
点数を減少させることができる。また、一つの部品が２
つの構成要素を有するものであるため、この２つの構成
要素の組み立て工程を省くことができ、さらに、該部品
はフランジに形成されるため、駆動モータを組み込んだ
ベースへの設置をベース下部への取付けのみにより行う
ことができるため、組み立てが容易となる。According to the above construction, in the vacuum pump for high vacuum exhaustion of the leak detector, any one of the first and second exhaust ports for exhausting from the rotor rotatably supported by the shaft. Either one is formed on a common member such as a flange, which is a support member that supports a part of a bearing that supports the rotor, on a lower surface of a base that constitutes a vacuum pump for high vacuum exhaust. A component for forming the mouth can be formed in common with a support member that supports a part of the bearing of the rotor, thereby reducing the number of components. Also, one part is 2
Since it has two components, the assembling step of these two components can be omitted, and since the part is formed on the flange, installation on the base incorporating the drive motor can be performed at the bottom of the base. Since assembly can be performed only by attachment, assembly becomes easy.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明するが、本発明は実施例に限定されるものでは
ない。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments.
【００１３】（実施例の構成）はじめに、本発明の実施
例のリークデテクタに用いる高真空排気用真空ポンプの
構成について、図１の本発明のリークデテクタの高真空
排気用真空ポンプの構成図を用いて説明する。なお、図
１に示す高真空排気用真空ポンプはターボ分子ポンプを
例としているが、ターボ分子ポンプに限定されるもので
はなく、分子ポンプ等の他の高真空排気用真空ポンプに
も適用することができるものである。(Structure of Embodiment) First, regarding the structure of a vacuum pump for high vacuum evacuation used in the leak detector of the embodiment of the present invention, FIG. 1 is a diagram showing the structure of a vacuum pump for high vacuum evacuation of the leak detector of the present invention. It will be described using FIG. Although the vacuum pump for high vacuum evacuation shown in FIG. 1 is an example of a turbo molecular pump, the present invention is not limited to the turbo molecular pump, but may be applied to other high vacuum evacuation vacuum pumps such as a molecular pump. Can be done.
【００１４】図１において、高真空排気用真空ポンプ
は、ハウジング２内に軸受け８及び軸受け９によって縦
方向に回転可能に支持された軸１を持ち、その軸１には
モータロータ７が取り付けられている。モータロータ７
は、ハウジング２側で該モータロータ７と対向した位置
に取り付けられたモータステータ６とによって駆動モー
タを構成しており、ベース１４上に組み込まれている。
該駆動モータは、ベース１４に設けた気密電流導入端子
１２を通して駆動電流を導入して駆動される。また、軸
１には該軸とともに回転する回転円筒１３が取り付けら
れ、該回転円筒１３にはタービン型の翼板配列からなる
吊鐘形のロータ５が設けられている。一方、ハウジング
２側には、該ロータ５と同様な翼板を持つステータ４が
ロータ５の翼板と交互に櫛歯状にからませた状態で取り
付けられており、モータロータ７の回転によりステータ
４とロータ５の翼板が相対的に移動し、排気作用を行
う。Referring to FIG. 1, the vacuum pump for high vacuum evacuation has a shaft 1 supported in a housing 2 by a bearing 8 and a bearing 9 so as to be rotatable in a vertical direction, and a motor rotor 7 is attached to the shaft 1. I have. Motor rotor 7
, A drive motor is constituted by a motor stator 6 attached to a position facing the motor rotor 7 on the housing 2 side, and is incorporated on a base 14.
The drive motor is driven by introducing a drive current through a hermetic current introduction terminal 12 provided on a base 14. A rotating cylinder 13 that rotates with the shaft 1 is attached to the shaft 1, and the rotating cylinder 13 is provided with a bell-shaped rotor 5 having a turbine-type blade plate arrangement. On the other hand, on the housing 2 side, a stator 4 having blades similar to the rotor 5 is attached so as to be alternately entangled with the blades of the rotor 5 in a comb-like manner. And the blades of the rotor 5 relatively move to perform an exhaust action.
【００１５】この排気作用は、ハウジング２の上部に形
成された開口部からなる吸気口２０から吸気を行い、前
記ステータ４とロータ５の翼板を通して図中の矢印に示
す方向に気体分子を移動させ、ロータ５とその内側に形
成した固定壁３との間に形成した気体輸送用のねじ溝２
１、および固定壁３の内側に形成した導通孔２２を通し
てハウジング２の下方に導き、ハウジング２の下方側部
に形成された第１排気口２３、及びハウジング２の下端
部に形成された第２排気口２４から排気を行うことによ
り行われる。なお、前記ねじ溝２１はロータ５側あるい
は固定壁３側のいずれに形成することもできる。In this exhaust operation, air is taken in from an intake port 20 formed in an upper portion of the housing 2 and gas molecules are moved in the direction shown by an arrow in the figure through the stator 4 and the blades of the rotor 5. A screw groove 2 for gas transport formed between the rotor 5 and the fixed wall 3 formed inside the rotor 5.
1 and a lower portion of the housing 2 through a conduction hole 22 formed inside the fixed wall 3 to be guided to the lower side of the housing 2, a first exhaust port 23 formed on a lower side of the housing 2, and a second exhaust port 23 formed on a lower end of the housing 2. This is performed by exhausting air from the exhaust port 24. The screw groove 21 can be formed on either the rotor 5 side or the fixed wall 3 side.
【００１６】第１の排気口２３は、ベース１４側に形成
され、前記導通孔２２を通して導かれた気体分子の一部
を排気する。一方、第２の排気口２４は、ベース１４の
下部に取り付けたフランジ１５に開口部を形成し、該開
口部を通して前記導通孔２２を通過して導かれた気体分
子を排気する。The first exhaust port 23 is formed on the base 14 side, and exhausts a part of the gas molecules guided through the through hole 22. On the other hand, the second exhaust port 24 forms an opening in the flange 15 attached to the lower part of the base 14, and exhausts gas molecules guided through the opening through the conduction hole 22.
【００１７】また、前記軸１の下端は、軸受け与圧バネ
支え１１によって支持された軸受け与圧バネ１０によ
り、上方に与圧が加えられた状態で支持されており、該
軸受け与圧バネ支え１１はベース１４の下部のフランジ
１５の一部によって形成されている。したがって、フラ
ンジ１５は、軸受け与圧バネ支え１１と第２排気口２４
の両方の構成要素となっており、第２排気口２４は、排
気口のための別個の構成を持つことなく軸受け与圧バネ
支え１１と共用するフランジ１５より構成することがで
きる。The lower end of the shaft 1 is supported by a bearing pressurizing spring 10 supported by a bearing pressurizing spring support 11 while being pressurized upward. Numeral 11 is formed by a part of the lower flange 15 of the base 14. Therefore, the flange 15 is provided between the bearing pressurizing spring support 11 and the second exhaust port 24.
The second exhaust port 24 can be constituted by the flange 15 shared with the bearing pressurizing spring support 11 without having a separate configuration for the exhaust port.
【００１８】次に、本発明のリークデテクタの構成につ
いて図２のリークデテクタのブロック構成図を用いて説
明する。図２は逆拡散法による本発明のリークデテクタ
の一実施例の構成を示しており、テストポート１０１の
一端は被試験体であるワークに接続され、他端は粗引き
バルブ１１１を介して高真空排気用真空ポンプであるタ
ーボ分子ポンプ１０３の第１排気口側に接続される。ま
た、ターボ分子ポンプ１０３の第２排気口側は、ＲＰ接
続ポート１０２を介して油回転真空ポンプ（ＲＰポン
プ）１０４に接続される。また、ＲＰ接続ポート１０２
のテストポート側と粗引きバルブ１１１のターボ分子ポ
ンプ側とはフォアバルブ１１２を介して接続されてい
る。一方、ターボ分子ポンプ１０３の吸気口側には質量
分析計形分析管（以下、分析管という）１０７が接続さ
れている。Next, the configuration of the leak detector of the present invention will be described with reference to the block diagram of the leak detector shown in FIG. FIG. 2 shows the configuration of an embodiment of the leak detector according to the present invention using the reverse diffusion method. One end of a test port 101 is connected to a work to be tested, and the other end is connected to a high level via a roughing valve 111. It is connected to the first exhaust port side of a turbo-molecular pump 103 which is a vacuum pump for evacuation. The second exhaust port side of the turbo molecular pump 103 is connected to an oil rotary vacuum pump (RP pump) 104 via an RP connection port 102. Also, the RP connection port 102
The test port side is connected to the turbo molecular pump side of the roughing valve 111 via a fore valve 112. On the other hand, a mass spectrometer-type analysis tube (hereinafter referred to as an analysis tube) 107 is connected to the intake port side of the turbo-molecular pump 103.
【００１９】また、テストポート１０１と粗引きバルブ
１１との接続点には、ピラニ真空計１０５が接続され
て、ワーク側の圧力が測定され、分析管１０７とターボ
分子ポンプ１０３の吸気口との接続点には、マグネトロ
ン真空計１０６が接続されて、分析管側の圧力が測定さ
れる。なお、ここで接続される真空計は、ピラニ真空計
あるいはマグネトロン真空計に限られるものではなく、
同様の測定範囲を有する真空計を用いることができる。A Pirani vacuum gauge 105 is connected to a connection point between the test port 101 and the roughing valve 11 to measure the pressure on the work side. A magnetron vacuum gauge 106 is connected to the connection point, and the pressure on the analysis tube side is measured. The vacuum gauge connected here is not limited to a Pirani gauge or a magnetron vacuum gauge.
A vacuum gauge having a similar measurement range can be used.
【００２０】（実施例のリークデテクタの作用）前記構
成のリークデテクタにおいて、はじめに、粗引きバルブ
１１１及びフォアバルブ１１２を開いた状態で油回転真
空ポンプ１０４を駆動して、ターボ分子ポンプ１０３が
動作可能な圧力とし、ターボ分子ポンプ１０３を駆動さ
せる。(Operation of the Leak Detector of the Embodiment) In the leak detector having the above-described configuration, first, the oil rotary vacuum pump 104 is driven with the roughing valve 111 and the fore valve 112 open, and the turbo molecular pump 103 operates. The turbo molecular pump 103 is driven at a possible pressure.
【００２１】試験下のワークをターボ分子ポンプ１０３
の第１排気口２３に接続して補助排気ラインにつなぐと
ともに、分析管１０７側をターボ分子ポンプの吸気口に
接続して高真空側につなぎ、プローブガスとしてヘリウ
ムを用いる。ワーク内にリークが生じた場合には、ター
ボ分子ポンプ１０３は、テストポート１０１に接続され
ているワーク内のリークによって主として存在するＨ2
Ｏ、Ｎ2 、Ｏ2 等の重い気体と軽いヘリウムとを圧縮比
によって差別して、他の気体より多くのヘリウムを高真
空側の分析管１０７側に逆拡散し、分析管１０７側のヘ
リウムの濃度を第１排気口側よりも高くする。したがっ
て、この分析管１０７の分析結果によりリーク検出を行
うことができる。The work under test is supplied to the turbo molecular pump 103.
The first exhaust port 23 is connected to an auxiliary exhaust line, and the analysis tube 107 is connected to an intake port of a turbo molecular pump and connected to a high vacuum side. Helium is used as a probe gas. When a leak occurs in the work, the turbo molecular pump 103 causes the H 2 mainly present due to the leak in the work connected to the test port 101.
Heavy gas such as O, N 2 , O 2 and the like are distinguished from light helium by the compression ratio, and more helium is diffused back into the analysis tube 107 on the high vacuum side, and helium on the analysis tube 107 side is diffused. Is higher than the first exhaust port side. Therefore, leak detection can be performed based on the analysis result of the analysis tube 107.
【００２２】図３は、リーク検出時におけるヘリウムの
流れを示す図である。図３では、要部のみを示すととも
に、ヘリウムの流れを破線により示している。FIG. 3 is a diagram showing the flow of helium when a leak is detected. In FIG. 3, only the main part is shown, and the flow of helium is indicated by a broken line.
【００２３】テストポート１０１に接続されている系内
において、例えば、漏れ量ｑ〔Ｐａ・ｍ3 ／ｓ〕のリー
クがある場合には、ヘリウムは破線に示すようにターボ
分子ポンプ１０３の第１排気口２３に流入し、一方はタ
ーボ分子ポンプ１０３の吸気口から分析管１０７に逆拡
散し、他方はターボ分子ポンプ１０３の第２排気口２４
からＲＰ接続ポート１０２を介して油回転真空ポンプ１
０４側に排気される。In the system connected to the test port 101, for example, when there is a leak amount of q [Pa · m 3 / s], helium is supplied to the first of the turbo molecular pump 103 as shown by a broken line. The gas flows into the exhaust port 23, one of which is diffused back from the intake port of the turbo-molecular pump 103 to the analysis tube 107, and the other is the second exhaust port 24 of the turbo-molecular pump 103.
Rotary vacuum pump 1 through the RP connection port 102 from
The air is exhausted to the 04 side.
【００２４】ここで、ターボ分子ポンプ１０３の第１排
気口側である背圧側の排気速度をＳc 〔ｍ3 ／ｓ〕、分
析管１０７のヘリウムの分圧をＰA 〔Ｐａ〕、ターボ分
子ポンプ１０３の第１排気口側のヘリウムの分圧をＰC
〔Ｐａ〕、ターボ分子ポンプ１０３のヘリウムガスに対
する圧縮比をＡHe、及び分析管１０７の固有感度をＳA
〔Ａ／Ｐａ〕とすると、第１排気口側のヘリウムの分圧
ＰC 及び分析管１０７のヘリウムの分圧ＰA は、それぞ
れ ＰC ＝ｑ／Ｓc ＰA ＝ＰC ／ＡHe により表される。Here, the pumping speed on the back pressure side which is the first exhaust port side of the turbo molecular pump 103 is S c [m 3 / s], the partial pressure of helium in the analysis tube 107 is P A [Pa], The partial pressure of helium on the first exhaust port side of the pump 103 is set to P C
[Pa], the compression ratio of the turbo molecular pump 103 to helium gas is A He , and the intrinsic sensitivity of the analysis tube 107 is S A
When [A / Pa] to the partial pressure P A helium partial pressure P C and analyzer tube 107 helium of the first exhaust port side, by respective P C = q / S c P A = P C / A He expressed.
【００２５】そして、分析管１０７において取り出され
るイオン電流Ｉｉ〔Ａ〕は、以下の式により表される。The ion current Ii [A] extracted from the analysis tube 107 is expressed by the following equation.
【００２６】Ｉｉ＝ＳA ・ＰA ＝ＳA ・ｑ／（Ｓc ・ＡHe） ＝Ｋ・ｑ なお、ＫはＳA ／（Ｓc ・ＡHe）で表される比例定数で
ある。Ii = S A · P A = S A · q / (S c · A He ) = K · q where K is a proportionality constant represented by S A / (S c · A He ).
【００２７】上記の式から分析管１０７からのイオン電
流Ｉｉの値は、ターボ分子ポンプ１０３の油回転真空ポ
ンプ１０４側の背圧ＰB に関係しておらず、油回転真空
ポンプ１０４の圧力変動の影響を受けることなくリーク
検出を行うことができることを示している。From the above equation, the value of the ion current Ii from the analysis tube 107 is not related to the back pressure P B of the turbo molecular pump 103 on the side of the oil rotary vacuum pump 104, and the pressure fluctuation of the oil rotary vacuum pump 104 This indicates that leak detection can be performed without being affected by the above.
【００２８】逆拡散法によるリークデテクタにおいて、
油回転真空ポンプ圧力変動が、該油回転真空ポンプに接
続されているターボ分子ポンプ側に影響を与える場合に
は、ターボ分子ポンプの吸気口側に接続されている分析
管の圧力に変動が生じ、正確なリーク検出を行うことが
できない。In a leak detector by the inverse diffusion method,
When the pressure fluctuation of the oil rotary vacuum pump affects the turbo molecular pump connected to the oil rotary vacuum pump, the pressure of the analysis tube connected to the inlet side of the turbo molecular pump fluctuates. And accurate leak detection cannot be performed.
【００２９】この油回転真空ポンプの圧力変動による影
響を、従来のリークデテクタの構成において説明する。
図５は、前記図４に示した従来のリークデテクタのリー
ク検出時におけるヘリウムの流れを示す図であり、図３
と同様に要部のみを示すとともに、ヘリウムの流れを破
線により示している。The influence of the pressure fluctuation of the oil rotary vacuum pump will be described with reference to the configuration of a conventional leak detector.
FIG. 5 is a diagram showing the flow of helium when the conventional leak detector shown in FIG. 4 detects a leak.
Similarly, only the main part is shown, and the flow of helium is shown by a broken line.
【００３０】図５において、ターボ分子ポンプ１０８の
第２排気口側の油回転真空ポンプの排気速度をＳB 〔ｍ
3 ／ｓ〕、ターボ分子ポンプ１０８の排気口側のヘリウ
ムの分圧をＰB 〔Ｐａ〕とすると、分析管１０７におい
て取り出されるイオン電流Ｉｉ〔Ａ〕は、 Ｉｉ＝ＳA ・ＰB ＝ＳA ・ｑ／（ＳB ・ＡHe） となり、ターボ分子ポンプ１０８の排気口側の排気速度
の影響を受けることになる。このターボ分子ポンプ１０
８の排気口側の排気速度は、ターボ分子ポンプ１０８の
排気口側に接続されている油回転真空ポンプの圧力変動
の影響を受けるため、結局リークデテクタのリーク検出
の精度は油回転真空ポンプの性能に影響されることにな
る。In FIG. 5, the pumping speed of the oil rotary vacuum pump on the second exhaust port side of the turbo molecular pump 108 is set to S B [m
3 / s], and assuming that the partial pressure of helium on the exhaust port side of the turbo-molecular pump 108 is P B [Pa], the ion current Ii [A] extracted from the analysis tube 107 is Ii = S A · P B = S A · q / (S B · A He ), which is affected by the exhaust speed on the exhaust port side of the turbo-molecular pump 108. This turbo molecular pump 10
8 is affected by the pressure fluctuation of the oil rotary vacuum pump connected to the exhaust port side of the turbo molecular pump 108, so that the accuracy of the leak detection of the leak detector is It will be affected by performance.
【００３１】リークデテクタを可搬型とする場合には、
リークデテクタ自体の形状を小形にする必要があり、そ
のためには、ターボ分子ポンプ及び油回転真空ポンプを
小形にする必要がある。一般に、ポンプを小形にすれば
するほど、その性能の安定化が難しくなり、油回転真空
ポンプの圧力変動がターボ分子ポンプ側に影響を与える
ような構成のリークデテクタにおいては、この小型化に
よるリーク検出の精度への影響が問題となる。When the leak detector is portable,
It is necessary to reduce the shape of the leak detector itself, and for that purpose, it is necessary to reduce the size of the turbo molecular pump and the oil rotary vacuum pump. In general, the smaller the pump, the more difficult it is to stabilize its performance, and in a leak detector with a configuration in which the pressure fluctuation of the oil rotary vacuum pump affects the turbo molecular pump side, the leak due to this miniaturization The effect on the accuracy of detection is problematic.
【００３２】したがって、図２に示す構成のリークデテ
クタによれば、ターボ分子ポンプに設けた第１の排気口
及び第２の排気口により、分析管の圧力を油回転真空ポ
ンプの圧力変動に影響されないものとし、分析管の検出
性能を安定化させることができる。Therefore, according to the leak detector having the configuration shown in FIG. 2, the first exhaust port and the second exhaust port provided in the turbo-molecular pump affect the pressure of the analysis tube on the pressure fluctuation of the oil rotary vacuum pump. And the detection performance of the analysis tube can be stabilized.
【００３３】そして、本発明の構成のリークデテクタに
よれば、油回転真空ポンプの圧力変動に影響されずに分
析管の検出性能を安定化させることができる高真空排気
用真空ポンプの排気口を、軸受け与圧バネ支えと共用す
るフランジにより構成することができる。According to the leak detector of the present invention, the exhaust port of the vacuum pump for high vacuum exhaust can stabilize the detection performance of the analysis tube without being affected by the pressure fluctuation of the oil rotary vacuum pump. And a flange shared with the bearing pressurizing spring support.
【００３４】（変形例）逆拡散法によるリークデテクタ
においては、高真空排気用真空ポンプとして通常ターボ
分子ポンプを用いるが、ポンプの排気作用は分析管の排
気のみに使用されるため、１０〔ｌ／ｓ〕程度の排気速
度の分子ポンプにより構成することも可能である。(Modification) In a leak detector by the reverse diffusion method, a turbo molecular pump is usually used as a vacuum pump for high vacuum evacuation. However, since the evacuation function of the pump is used only for evacuation of the analysis tube, 10 [l] is used. / S].
【００３５】また、本発明のリークデテクタに用いた高
真空排気用真空ポンプを、小形容器の真空排気に用いる
ことも可能である。The vacuum pump for high vacuum evacuation used in the leak detector of the present invention can be used for evacuation of a small container.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
リークデテクタの高真空排気用真空ポンプの補助真空側
の第２の排気口を、少ない部品数によって容易に組み立
てができる。As described above, according to the present invention,
The second exhaust port on the auxiliary vacuum side of the high vacuum exhaust vacuum pump of the leak detector can be easily assembled with a small number of parts.
【図１】本発明のリークデテクタの高真空排気用真空ポ
ンプの構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a vacuum pump for high vacuum evacuation of a leak detector of the present invention.
【図２】逆拡散法による本発明のリークデテクタの一実
施例の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of an embodiment of a leak detector of the present invention using a despreading method.
【図３】同実施例のリーク検出時におけるヘリウムの流
れを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a flow of helium at the time of leak detection in the embodiment.
【図４】逆拡散法による従来のリークデテクタの構成図
である。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional leak detector based on a despreading method.
【図５】従来のリークデテクタのリーク検出時における
ヘリウムの流れを示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a flow of helium when a leak is detected by a conventional leak detector.
１…軸、２…ハウジング、３…固定壁、４…ステータ、
５…ロータ、６…モータステータ、７…モータロータ、
８，９…軸受け、１０…軸受け与圧バネ、１１…軸受け
与圧バネ支え、１４…ベース、１５…フランジ、２０…
吸気口、２１ねじ溝、２２…導通孔、２３…第１排気
口、２４…第２排気口、１０１…テストポート、１０３
…ターボ分子ポンプ、１０４…油回転真空ポンプ、１０
７…分析管DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... shaft, 2 ... housing, 3 ... fixed wall, 4 ... stator
5 rotor, 6 motor stator, 7 motor rotor,
8, 9 ... bearing, 10 ... bearing pressurized spring, 11 ... bearing pressurized spring support, 14 ... base, 15 ... flange, 20 ...
Intake port, 21 screw groove, 22 conduction hole, 23 first exhaust port, 24 second exhaust port, 101 test port, 103
... Turbo molecular pump, 104 ... Oil rotary vacuum pump, 10
7… Analysis tube
Claims (1)
気用真空ポンプと、被試験体を排気する粗引排気装置か
らなり、逆拡散法により漏れ検出を行うリークデテクタ
において、前記高真空排気用真空ポンプは、軸により回
転可能に軸支されるロータと、該ロータからの排気を行
う前記被試験体側に接続される第１の排気口と前記粗引
排気装置側に接続される第２の排気口を持ち、前記排気
口のいずれか一方は、前記高真空排気用真空ポンプを構
成するべースの下面であって、前記ロータを軸支する軸
受けの一部を支持する支持部材と共用する部材に形成さ
れることを特徴とするリークデテクタ。1. A leak detector, comprising: an analyzer, a high-vacuum vacuum pump for exhausting the analyzer, and a rough exhaust device for exhausting a device under test, wherein the leak detector detects leaks by a reverse diffusion method. The vacuum pump for evacuation is connected to a rotor rotatably supported by a shaft, a first exhaust port connected to the test object side for exhausting from the rotor, and connected to the rough exhaust device side. A support having a second exhaust port, and one of the exhaust ports is a lower surface of a base constituting the vacuum pump for high vacuum exhaust, and supports a part of a bearing that supports the rotor. A leak detector characterized by being formed on a member shared with a member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5271473A JP2606568B2 (en) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | Leak detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5271473A JP2606568B2 (en) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | Leak detector |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128180A JPH07128180A (en) | 1995-05-19 |
| JP2606568B2 true JP2606568B2 (en) | 1997-05-07 |
Family
ID=17500530
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Families Citing this family (2)
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-
1993
- 1993-10-29 JP JP5271473A patent/JP2606568B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07128180A (en) | 1995-05-19 |
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