SU724793A1

SU724793A1 - Vacuum plant

Info

Publication number: SU724793A1
Application number: SU782584580A
Authority: SU
Inventors: Эдуард Вячеславович Августинович; Леонид Антонович Дембровский; Борис Васильевич Егоров; Владимир Васильевич Леонов; Николай Васильевич Филин
Original assignee: Предприятие П/Я А-3605
Priority date: 1978-02-21
Filing date: 1978-02-21
Publication date: 1980-03-30

Description

Изобретение относится к вакуумной технике и касается вакуумных установок.The invention relates to vacuum technology and relates to vacuum installations.

Известны вакуумные установки, содержащие корпус, расположенную в нем охлаждаемую камеру, на стенке которой закреплен змеевик крионасоса, и криосорбционный насос, выполненный в виде змеевика [1].Known vacuum installations containing a housing, a cooled chamber located in it, on the wall of which a cryopump coil is mounted, and a cryosorption pump made in the form of a coil [1].

В известных установках криосорбционный насос размещен внутри камеры, что при сохранении полезного объема последней приводит к увеличению габарцтов.In known installations, the cryosorption pump is placed inside the chamber, which, while maintaining the useful volume of the latter, leads to an increase in size.

Цель изобретения — сохранение габаритов.The purpose of the invention is the preservation of dimensions.

Указанная цель достигается тем, что змеевик крйосорбционного насоса закреплен на стенке камеры и его витки размещены между витками змеевика крионасоса.This goal is achieved by the fact that the coil of the cryosorption pump is mounted on the wall of the chamber and its turns are placed between the turns of the cryopump coil.

На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез А—А на фиг. 1; на фиг. 3 — узел Б на 20 фиг. 1 в увеличенном масштабе.In FIG. 1 shows the proposed installation, a longitudinal section; in FIG. 2 — section A — A in FIG. 1; in FIG. 3 - node B to 20 of FIG. 1 on an enlarged scale.

Вакуумная установка содержит корпус 1, расположенную в нем охлаждаемую камеру 2, на стенке которой закреплен змеевик крионасоса, и криосорбционный насос, вы-. 25 полненный в виде змеевика 4. Змеевик 4 крйосорбционного насоса закреплен на стенке камеры и его витки размещены .между витками змеевика 3 крионасоса. Змеевик 3 выполнен в виде двух полуторовых оболочек 5 и 6, которые сообщены с коллекторами 7 и 8 трубопроводами 9' и между собой— отверстиями 10. Змеевик 4 снабжен теплозащитным экраном И и сообщен с коллекторами 12 и 13 трубопроводами 14. Между экраном И и стенкой камеры 2 размещен адсорбент 15.The vacuum installation comprises a housing 1, a cooled chamber 2 located therein, on the wall of which a cryopump coil is fixed, and a cryosorption pump, you-. 25 filled in the form of a coil 4. The coil 4 of the sorption pump is mounted on the wall of the chamber and its turns are placed. Between the turns of the coil 3 of the cryopump. The coil 3 is made in the form of two one and a half shells 5 and 6, which are connected to the collectors 7 and 8 by pipelines 9 'and to each other by holes 10. The coil 4 is equipped with a heat shielding screen And and communicated with the collectors 12 and 13 of the pipes 14. Between the screen And and the wall chamber 2 placed adsorbent 15.

Размещение витков змеевика 4 криосорбционного насоса между витками змеевика 3 крионасоса позволяет сократить габариты установки.'The placement of the coils of the coil 4 of the cryosorption pump between the coils of the coil 3 of the cryo pump reduces the dimensions of the installation. '

Claims

Claim

A vacuum installation comprising a housing, a cooled chamber located in it, on the wall of which a cryonic pump coil is fixed, and a cryosorption pump made in the form of a coil, characterized in that, in order to reduce the dimensions, the cryosorption pump coil is fixed on the chamber wall and its coils are placed between coils of a cryopump coil.