SU721729A1 - Ртутный зонд - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к электронной промышленности, в частности к установкам контрол  и исследовани  Полупроводниковьк структур. Известны зонды, выполненные в вид игольчат}11х щупов, размещенных в держател х , соединенных с механизмс и перемещени  зонда 1. Однако вследствие их жесткости, возможно нарушение структуры подложк и целостности напыленного материала . Ближайшим техническим решением к Предлагаемому изобретени о  вл етс  ртутный зонд, содержащий корпус с ра мещенным в нем резервуаром с ртутью который снабжен каналом подвода -ртути с расположенным в нем электрическим контактом блока измерени  и сред ство перемещени  ртути 2. Однако и это устройство не дает достаточной, точности измерени . Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерений путем посто нства воспроизведени  площади кон тактировани  и контактного давлени  регулировани  их, а также повышение чувствительности зонда к изменению температуры. Цель достигаетс  тем, что в пред пагаемом устройстве средство переме щени  ртути выполнено в виде нагревательного элемента и теплоизолировано от окружающей среды, а резервуар с ртутью разделен герметичной диэлектрическоП перегородкой на два объема и снабжен дополнительным каналом с размещенным в нем регулируемым электрическим контактсм блока управлени  нагревательном элементом ртутного зонда, а также тем, что дополнительный канал выполнен в виде капил ра и имеет диаметр, св занный с диаметром основного канала отношениемjj i -Tгде 1 D- диаметр основного канала; d - диаметр дополнительного канала. На чертеже изображена принципиальна  схема конструкции предлагаемого ртутного зонда. Зонд содержит корпус с теплоизол тором 1, внутри которого размещен резервуар 2 с ртутью, снабженный Нагревательным элементом 3 и разделенный герметичной диэлектрической перегородкой 4 на два объема,внутрь которых введены электрический контакт 5 блока измерени  6 и элеьстрический контакт 7 блока управлени  8. Резервуар имеет основной канал 9 и дополнительный канал 10. В дополнительный канал 10 введен регулируемый электрический контакт 11 блока управлени  8,

Работа ртутного зонда осуществл етс  следующим образам.

При поступлении сигнала с блока управлени  8 на нагревательный элемент 3 происходит нагрев ртути в обоих объемах резервуара 2. Вследствие расширени  ртути она переме- щаетс  по каналам 9 и 10. Перемещение ртути по основному каналу 9 происходит более медленно, чем по дополнительному каналу 10, так как диаметр дополнительного канала .10 меньше диаметра основного канала 9 и св зан с ним соотношением

.ID ,.,

где 1 1;

J3 - диаметр основного канала 9;

d - диаметр дополнительного

канала 10.Образующийс  на поверхности ртути- основчого канала 9 мениск, имеющи форму полусферы, соприкасаетс  с подложкой 12 и в блок измерени  6 через контакт 5 поступает сигнал на начало измерений.

Е то же врам  миниск ртути дополнительного канала 10 соприкасаетс  с регулируемым контактом 11 блока упра лени  8 и через контакт 7 в блок управлени  8 поступает сигнал на отключение нагревательного элемента 3. Площадь контакта ртути с подложкой 5.2 зависит от положени  контакта 11 в канале 10, которое определ етс  аго регулировкой в осевом направлении .

Послепрекращени  нагрева ртути в резервуаре 2, ртуть сжимаетс  и перемещаетс  в обратном направлении, разрыва  свой контакт с .контактом II блока управлени  8, одновременно с блока управлени  8 поступает сигнал на в лючение нагревательного элe;vieнтa 3, и цик.п повтор етс .

Предлагаема  конструкци  позвол ет производить измерени  без нарушени  структуры подложки и целости напыленного материала, обеспечить сохранение контакта п осто нной площади , -не- завис щего от внешних условий , производить рехулировку площади контакта, а также повысить чувствительность зонда к изменению температуры , что повысит точность измерени 

Формула иэрбретени 

Claims (2)

1.Ртутный зонд, содержащий корпу с размещенным в нем резервуаром с ртутью, который снабжен каналом подвода ртути, с.расположенным в нем электрическим контактом блока измер.ени  и средство перемещени  ртути, отличаю щййс   .тем, что/

с целью повышени  точности измерений средство перемещени  ртути выполнено в виде нагревательного и теплоизолировано от окружающей среды -а резервуар с ртутью разделен герметичной диэлектрической перегородкой на два объема и снабжен дополнительным каналом, в котором размещен электрический контакт, соединенный с блоком управлени  нагревательного элемента.

2.Зонд по п.1, отличающ и и с   тем, что, с цель; повышени  чувствительности зонда к изменению температуры, дополнительный канал выполнен в виде капилл ра и имеет диаметр, св занный с диаметром основного канала соотношением

. 1)

1 ::- )

где

U - диаметр основного канала;

d диаметр дополнительного

канала.

Источники информации, прин ть1е во внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР № 333729 кл.Н 05 К 1/04, 1970.

2 .ESectonemicae societv,

119., W 10, 1972, с.1384-1389 (прототип).

12