SU721729A1 - Ртутный зонд - Google Patents
Ртутный зонд Download PDFInfo
- Publication number
- SU721729A1 SU721729A1 SU782675453A SU2675453A SU721729A1 SU 721729 A1 SU721729 A1 SU 721729A1 SU 782675453 A SU782675453 A SU 782675453A SU 2675453 A SU2675453 A SU 2675453A SU 721729 A1 SU721729 A1 SU 721729A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mercury
- diameter
- channel
- probe
- additional channel
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
Изобретение относитс к электронной промышленности, в частности к установкам контрол и исследовани Полупроводниковьк структур. Известны зонды, выполненные в вид игольчат}11х щупов, размещенных в держател х , соединенных с механизмс и перемещени зонда 1. Однако вследствие их жесткости, возможно нарушение структуры подложк и целостности напыленного материала . Ближайшим техническим решением к Предлагаемому изобретени о вл етс ртутный зонд, содержащий корпус с ра мещенным в нем резервуаром с ртутью который снабжен каналом подвода -ртути с расположенным в нем электрическим контактом блока измерени и сред ство перемещени ртути 2. Однако и это устройство не дает достаточной, точности измерени . Целью изобретени вл етс повышение точности измерений путем посто нства воспроизведени площади кон тактировани и контактного давлени регулировани их, а также повышение чувствительности зонда к изменению температуры. Цель достигаетс тем, что в пред пагаемом устройстве средство переме щени ртути выполнено в виде нагревательного элемента и теплоизолировано от окружающей среды, а резервуар с ртутью разделен герметичной диэлектрическоП перегородкой на два объема и снабжен дополнительным каналом с размещенным в нем регулируемым электрическим контактсм блока управлени нагревательном элементом ртутного зонда, а также тем, что дополнительный канал выполнен в виде капил ра и имеет диаметр, св занный с диаметром основного канала отношениемjj i -Tгде 1 D- диаметр основного канала; d - диаметр дополнительного канала. На чертеже изображена принципиальна схема конструкции предлагаемого ртутного зонда. Зонд содержит корпус с теплоизол тором 1, внутри которого размещен резервуар 2 с ртутью, снабженный Нагревательным элементом 3 и разделенный герметичной диэлектрической перегородкой 4 на два объема,внутрь которых введены электрический контакт 5 блока измерени 6 и элеьстрический контакт 7 блока управлени 8. Резервуар имеет основной канал 9 и дополнительный канал 10. В дополнительный канал 10 введен регулируемый электрический контакт 11 блока управлени 8,
Работа ртутного зонда осуществл етс следующим образам.
При поступлении сигнала с блока управлени 8 на нагревательный элемент 3 происходит нагрев ртути в обоих объемах резервуара 2. Вследствие расширени ртути она переме- щаетс по каналам 9 и 10. Перемещение ртути по основному каналу 9 происходит более медленно, чем по дополнительному каналу 10, так как диаметр дополнительного канала .10 меньше диаметра основного канала 9 и св зан с ним соотношением
.ID ,.,
где 1 1;
J3 - диаметр основного канала 9;
d - диаметр дополнительного
канала 10.Образующийс на поверхности ртути- основчого канала 9 мениск, имеющи форму полусферы, соприкасаетс с подложкой 12 и в блок измерени 6 через контакт 5 поступает сигнал на начало измерений.
Е то же врам миниск ртути дополнительного канала 10 соприкасаетс с регулируемым контактом 11 блока упра лени 8 и через контакт 7 в блок управлени 8 поступает сигнал на отключение нагревательного элемента 3. Площадь контакта ртути с подложкой 5.2 зависит от положени контакта 11 в канале 10, которое определ етс аго регулировкой в осевом направлении .
Послепрекращени нагрева ртути в резервуаре 2, ртуть сжимаетс и перемещаетс в обратном направлении, разрыва свой контакт с .контактом II блока управлени 8, одновременно с блока управлени 8 поступает сигнал на в лючение нагревательного элe;vieнтa 3, и цик.п повтор етс .
Предлагаема конструкци позвол ет производить измерени без нарушени структуры подложки и целости напыленного материала, обеспечить сохранение контакта п осто нной площади , -не- завис щего от внешних условий , производить рехулировку площади контакта, а также повысить чувствительность зонда к изменению температуры , что повысит точность измерени
Формула иэрбретени
Claims (2)
1.Ртутный зонд, содержащий корпу с размещенным в нем резервуаром с ртутью, который снабжен каналом подвода ртути, с.расположенным в нем электрическим контактом блока измер.ени и средство перемещени ртути, отличаю щййс .тем, что/
с целью повышени точности измерений средство перемещени ртути выполнено в виде нагревательного и теплоизолировано от окружающей среды -а резервуар с ртутью разделен герметичной диэлектрической перегородкой на два объема и снабжен дополнительным каналом, в котором размещен электрический контакт, соединенный с блоком управлени нагревательного элемента.
2.Зонд по п.1, отличающ и и с тем, что, с цель; повышени чувствительности зонда к изменению температуры, дополнительный канал выполнен в виде капилл ра и имеет диаметр, св занный с диаметром основного канала соотношением
. 1)
1 ::- )
где
U - диаметр основного канала;
d диаметр дополнительного
канала.
Источники информации, прин ть1е во внимание при экспертизе
1, Авторское свидетельство СССР № 333729 кл.Н 05 К 1/04, 1970.
2 .ESectonemicae societv,
119., W 10, 1972, с.1384-1389 (прототип).
12
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782675453A SU721729A1 (ru) | 1978-10-03 | 1978-10-03 | Ртутный зонд |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782675453A SU721729A1 (ru) | 1978-10-03 | 1978-10-03 | Ртутный зонд |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU721729A1 true SU721729A1 (ru) | 1980-03-15 |
Family
ID=20789868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782675453A SU721729A1 (ru) | 1978-10-03 | 1978-10-03 | Ртутный зонд |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU721729A1 (ru) |
-
1978
- 1978-10-03 SU SU782675453A patent/SU721729A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3787307A (en) | Sensing element to sense ions in liquids | |
US2025534A (en) | Electromotive thermometry | |
JPS5488314A (en) | Device and method for stable reading of thermocouple used in bushing for glass fiber spinning | |
SE8800943D0 (sv) | Anordning for metning av termiska egenskaper hos en provsubstans | |
US3438518A (en) | Measuring method and apparatus | |
SU721729A1 (ru) | Ртутный зонд | |
GB1425204A (en) | Moisture-measuring devices | |
US2743340A (en) | Electrical resistor device | |
US3241922A (en) | Instrumentation for the automatic, simultaneous ultramicro determination of the c-h-n contents of organic compounds | |
US2732710A (en) | Gas flow | |
Rochow | Electrical conduction in quartz, periclase, and corundum at low field strength | |
US1734342A (en) | Apparatus for the detection and estimation of impurities and dissolved matter in water and other fluids | |
US2599276A (en) | Wick hypsometer | |
US2473610A (en) | Barometer | |
US4603980A (en) | Methods of measuring temperature and electrical resistivity in a molten glass stream | |
JPH0155551B2 (ru) | ||
SU1548731A1 (ru) | Термоэлектрический датчик | |
SU665211A1 (ru) | Уровнемер жидкостей | |
GB779307A (en) | Improvements relating to hygrometers | |
Ecker et al. | A Device for the Measurement of Rotor Temperature in the Air‐Driven Ultracentrifuge | |
RU2006734C1 (ru) | Безвакуумный криостат | |
JPS55138624A (en) | Electric signal conversion type liquid thermometer | |
SU568023A1 (ru) | Термоанемометрический датчик | |
US1992304A (en) | Electrical apparatus | |
SU699388A1 (ru) | Тарировочное устройство прибора дл измерени толщины смазочной пленки в подшипниках |