(54) КЛАПАННЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ВАКУУМНОГО МЕХАНИЧЕСКОГО НАСОСА(54) VALVE KNOT FOR VACUUM MECHANICAL PUMP
Изобретение относитс к области вакуумной техники, в частности к клапанным узлам, примен емым на форвакуумных магистрал х с механическими насосами. Известен клапанный узел фЬрвакуумного насоса, включающий мембранный клапан с эластичной диафрагмой, св занной штоком с тарелью, образующей полость, соединейную с патруб ком насоса, и полость, расположенную под мембранным клапаном. Обе полости сообщены между собой при помощи вспомогательного клапана 1 Узел выполн ет функции запорного и аварийного клапанов. Известный клапанный узел не дает возможности поддерживать во всасывающем патрубке насоса посто нное давление, не предохран ет насос от перегрузок в случае разгерметизаций вакуумной системы и не обеспечивает напуск воздуха в насос после его остановки. Известно также клапанное устройст во дл вакуумного механического насоса, содержащее корпус с седлом и размещенные внутри подпружиненный клапан и дроссельный золотник, снабженные автономными пневмоприводами 2}. Известное клапанное устройство работает следующим образом. В исходном положении дроссельный золотник находитс в -крайнем верхнем положении, образу зазор, через который начинаетс откачка газа. По мере понижени давлени золотник перемещаетс приводом, при этом измен етс зазор и давление во всасывающем па трубке насоса остаетс посто нным . При достижении давлени , близкого к заданному, клапан открываетс . Известные устройства способны поддерживать посто нное требуемое давление во всасывающем патрубке насоса при откачке основной массы газа и обеспечивать наибольшую пропускную способность клапана после ее откач-ки , однако, не могут предотвратить попадани , масла в откачиваемый объем и обеспечить напуск воздуха в насос при его остановке. С целью предотвращени попадани масла в откачиваемый объем и обеспечени напуска воздуха в насос, в корпусе насоса, соосно его седлу установлена цилиндрическа перего-.The invention relates to the field of vacuum technology, in particular, valve assemblies used on foreline vacuum lines with mechanical pumps. The valve assembly of the vacuum pump is known, which includes a diaphragm valve with an elastic diaphragm connected by a rod with a plate forming a cavity connected to the pump nozzle and a cavity located under the diaphragm valve. Both cavities communicate with each other using an auxiliary valve. 1 The node performs the functions of shut-off and emergency valves. The well-known valve assembly makes it impossible to maintain constant pressure in the suction port of the pump, does not protect the pump from overloading in the event of a depressurization of the vacuum system, and does not allow air to flow into the pump after it stops. It is also known valve device for a vacuum mechanical pump, comprising a housing with a saddle and a spring-loaded valve placed inside and a throttle valve equipped with independent pneumatic actuators 2}. Known valve device operates as follows. In the initial position, the throttle valve is in the -most upper position, forming a gap through which gas evacuation begins. As the pressure decreases, the spool is moved by the actuator, while the gap changes and the pressure in the suction pipe of the pump tube remains constant. When the pressure reaches close to the target, the valve opens. The known devices are capable of maintaining a constant required pressure in the pump suction nozzle when pumping the main mass of gas and ensuring the greatest valve capacity after it is evacuated; however, they cannot prevent oil from entering the pumped volume and ensure airflow into the pump when it stops. To prevent the ingress of oil into the pumped volume and to provide air inlet to the pump, a cylindrical pipeline is installed in the pump casing coaxially with its seat.