SU715821A1

SU715821A1 - Пакет дисков турбомолекул рного насоса

Info

Publication number: SU715821A1
Application number: SU782568617A
Authority: SU
Inventors: Вячеслав Сергеевич Кондрашов; Леонид Михайлович Деев-Анисимов
Original assignee: Предприятие П/Я В-2058
Priority date: 1978-01-05
Filing date: 1978-01-05
Publication date: 1980-02-15

Description

Изобретение относится к вакуумной / технике. . .

Известен пакет дисков, в котором статорный даек имеет отбортовку по внутреннему диаметру, образующую с 5 поверхностью ротора зазор [1J. Однако поток газа, проходя'через этот зазор, сокращает компрессию газа в статорной ступени. Известен также пакет дисков турбомолекулярного на- ’θ coca, содержащий статорные и ротор- ^:ные диски с’ лопатками [ 2J . Однако в насосе с таким пакетом не достигается достаточная степень сжатия, .··.' Целью изобретения является увели-' 15 чение прои зводительности насоса путем повышения степени сжатия. Это . ... достигается тем, что в предлагаемом , . пакете лопатки роторных Дисков имеют радиусы корневого и периферийного 20 сечений, превышающие соответственно радиусы периферийного и корневого' сечений лопаток статорных дисков, а ^:соответствующая разность указанных радиусов имеет величину, увеличиваю- 25 щуюся в направлении откачки.

На чертеже показан описываемый пакет, продольный разрез.

Пакет дисков турбомолекулярного . насоса, содержит статорные 1 и ротор-'30 'ные 2 диски с лопатками 3 и 4. Лопатки 4 роторных дисков 2 имеют радиусы корневого R^ ή периферийного R_a сё- . чений, превышающих соответственно радиусы периферийного R₃ и корневого R^ сечений лопаток 3 статорных дисков 1, а соответствующая разность указанных радиусов'имеет величину, увеличивающуюся в Направлений откачки, . '

При работе насоса молекулы газа, ; прошедшие через кольцевой радиальный зазор роторного' 2 или статорного 1 диска со 'стороны вых ода на вход ступени, чтобы попасть в межлопаточные каналы следующего в направлении к входу пакета диска, должны преодолеть канал аксиального зазора между дисками в радиальном направлений·οτ окружностй периферийного радиуса лопатки первого диска до окружности корневого радиуса лопатки левого диска, На этом участке пути молекулы~ имеют некоторую Вероятность'попадания в межлопаточный канал правого диска и прохода на выходную сторону этого диска. Вероятность этого тем выше, чем больше отношение разности периферийного-и корневого радиусов .соседних статорных и роторных дис'ков к величине аксиального зазора между ними и ч ем больше от ноше Hire ширины межлопаточного паза к толщине лопаткив торцовой плоскости диска.

://-. Для увеличения кбмпреббйи газа раз*·: ность <' радиусов корневых й периферийных сечений лопаток соседних роторных и статорных дисков увеличива- .

•ется в направлении откачки.

Claims

; 54) ПАКЕТ ДИСКОВ .ТУРБрМОЛЕКУЛЯРЙОГб {АСрСА Между НИМИ и чем больше отноЬеоте ширины межлопаточного паза к толш.И Не лопатки в торцовой плоскбсти диска . Дл увеличени компрессии газа ра ность - радиусов корневьк и перлферййньгх бечений лопаток соседних рО торных и статорных дисков увёличива етсй в направлении откачки. Формула изобретени : Пакет Ййскдв турёрмблёкулйрного насЬоа, сойФжгиций статорныё и ротор ныедиски с опатками, о т и и io ta и и си тем, что/ с целью увеличенн проиЭводительности путем повышени степени сжати , лопатки роторных дисков имеют радиусы корневого и периферийно © сечений, превышающие сротззетстэе1нно радиусы периферийного и корневого речени:й лопаток статорных дисков,а соответствующа разность указанных радиусов имеет величину, увеличмваюиуюс в направлении откачки . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Автерское свидетельство СССР № 243770, кл. F 04 D 19/04, 1969.
2.Королев Б.и. Основы вакуумной техники. М., Энерги , 1975, СЛ19-122,