Изобретение относитс к контроль измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл изме рени микроперемещений. известны преобразователи перемещений/ основанные на использовании проводимости канала МОП или МДПструктурыг котора индуцируетс в ней приложенным к ее затвору напр жением 1 . Электрод затвора обладает возможностью механического перемещени и отделен слоем диэлект рика от поверхности полупроводников структуры. В таксм преобразователе ток стока зависит от положени подвижного электрода затвора. Недостатком известного преобразовател вл етс сложность его конструкции, св занна с выполнение подвижного затвора. Наиболее близким техническим решением к изобретению вл етс преобразователь линейных перемещени содержащий корпус, заполненный дву м сло ми жидкого диэлектрика и раздел ющим их слоем электролита, р положенный внутри корпуса и жестко св зываемый с объектом перемещени подвижный электрод, состо щий из оболочки и размещенного в ней чувствительного эп&лецта, неподвижный электрод, расположенный в слое электролита, источник питани и регистрирующий прибор. Подвижный электрод и размещенный внутри него чувствительный элй ент-проводник, присоединенный к одному концу этого электрода, подключены противоположными концами к источнику питани ПЭремённого тока и образуют делитель напр жени , с которого осуществл етс съем переменного электрического сигнала, завис щего; от положени подвижного электрода через слой электролита 2. Недостатками известного преобразовател вл ютс ограниченна точность измерени перемещений, обусловленна его низкой чувствительное-, тью, и значительна потребл ема мощность, обусловленна мальм, значением электрического сопротивлени подвижного электрода. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени микроперемещений . Цель достигаетс тем, что чувствительный элемент выполнен в виде . МДП-структуры, рассто ние между Истоком и стоком которой измен етс п6 линейному закону по ширине канал а оболочка подвижного электрода вы полнена из диэлектрика, один полюс источника питани посто нного тока подключен к неподвижному электроду и через регистрирующий прибор - к стоку МДП-структуры, а второй подюс - к полупроводниковой подложке и к истоку МДП-структуры. На фиг. 1 схематически показана конструкци преобразовател ; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1. Преобразователь содержит корпус заполненный трем сло ми 2, 3, 4 не смемиваюцщхс жидкостей, подвижный :элёктрод 5, состо ьдай из обОЛОчки и размещенного в ней чувствитёЛьнОг элемента, выполненного в виде МДП-структуры, и неподвижный электрод 7, МДП-ctpyKTypa представл ет с бой полупроводниковую подложку 8 Од ного типа проводимости со сформиро|1с1йНь 1и В ней област ми ИстокаЭ и стока 10 другого типа прбвол ости Ра1ССГб ние U между истоком 9 и стоксм 10 МДП-структуры измен етс по линейному закону (в общем случае изменение рассто ни может быть и. нелинейным). СлОи 2 и 4 Шдкбстей диэлектрики, а слой 3 представл ет собой электролит, т.е. вл етс то копровод щим. Удёлбныё весажидкос тей в сло х 2, 3 и 4 равны сОот ветстбенно d, dj, djH св заны следуювщм соотношением d dj-cdj . Верхний слой 4 диэлектрика должен. быть нелетучим Дл прёду-гфе с ени испарени слоев 2 и -3. Слой 3 элек ролита, охватывающий МДП-структуру, выполн ет функции электрода-затвора ЭТОЙ структуры. К нему с помощью ; неподвижного электрода 7 подведено напр жение источника 11 посто нного тока .Тот же полюс источника Пос о н: МОго тока присоединен регйстрирук )щий прибор 12 к стоку МДП-стру туры и обеспечивает величину тока стока, Противоположный полюс источника подключенк полупроводниковой подложке 8 и к истоку 9 МДП-СТРУКТУ РЫ .,, - .,:.,... Преобразователь работает следующим образом, , При перемещении подвижного электрода относительно корпусапреобразовател измен етс площадь затвора, что обуславливает соответствующее изменение тока стока, регистрируемое прибором 12. Изменение тока, протекающего через МДП-структуру, находитс в пр молинейной зависимости от велич:ины перемещени (по вертикали ) сло 3 электролита относительно подвижного электрода преобразовател . . . Формула изобретени Преобразователь линейных перемещений , содержащий корпус, заполненный двум сло ми жидкого диэлектрика и раздел ющим их слоем электролита, расположейный внутри корпуса и жестко св зываемый с объектом перемещени Подвижный электрод, состо 4ций из оболочки и разме1денного в ней чувствительного элемента,, неподвижный электрод, расположенный в .слое электролита , и.сточ:нйк питани и регистри рующий прибор, от ли ч а ю щ и йс тем, что, с целью повышени точности измерени микроперемещений, чувствительный элемент выполнен в виде МДП-етруктуры, рассто ние Между истоком и стоком которой измен етс по линейному закону по ширине канала, а оболочка подви ного электрода выполнена из диэлектрика,, один полюс источника питани посто нного тика подкл1() 1йеподвижйЬмУ электроду и через регистрирующий прибор - к стоку МДГ1-структу;ры, а второй полюс - {с полупр.ов6дниковой подложе и к истоку МДП-структуры. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Делитель напр жени на МДПтранзисторе , ТЙИЭР № 10, т.59, 1971, с. 189-190. .