SU691363A1 - Ленточный конвейер - Google Patents

Description

i

Изобретение относитс  к промышленному транспорту, в частности к ленточным конвейерам дл  транспортировани  изделий плоской формы и может быть исполъзоваио в электронной промьшшенности при производстве полупроводниковых приборов, например, на операци х фотолитографии, св занных с термообработкой сло  фоторезиста, нанесенного на полупроводниковую пластину.

Данна  операци  необходима дл  удалени  остатков растворител  из пленки фоторезиста, а также дл  обеспечени  большей адгезии между подложкой и фоторезистом. От проведени  этой операции зависит качество формируемого в пленке изображени .

Известен ленточный конвейер, включающий грузонесущую сетчатую ленту, огибающую концевые барабаны, снабженные приспособлени ми, фиксирующими на них ленту и предотвращающими ее боковой сход. При этом каждое фиксирующее приспособление выполнено в виде обреэиненных роликов, установленных под холостой ветвью конвейера, взаимодействующих с элементами наружной стороны сетчатой ленты . Ролики создают усилие, направленное в сторону, противоположную усилию, возникающему при взаимодействии элементов внутренней стороны ленты с обводаым барабаном 1 .

Однако данный койвейер не исключает схода ленты с барабанов в процессе работы. В результате этого на ленте образуютс  гофры и складки . Это отрицательно сказываетс  на качестве обработки материала.

Известен ленточный конвейер, включающий приводаой и нат жной барабаны с проточками на одном из краев, ленту с выстзпами, расположенными в проточках барабанов 2.

Недостатком конвейера  вл етс  неравномерность термической обработки транспортируемого материала, так как нат жение ленты по щирт1е не одинаково.

Целью изобретени   вл етс  новыщение равномерности термической обработки транспортируемого материала обеспечени  выравнивани  нат жени  ленты по щирине.

Claims (2)

1. Указанна  цель достигаетс  тем, что барабаны выполнены с наклоненными в сторону проточек винтовыми канавками. На фиг. 1 изображен ленточный конвейер, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. J; на фиг. 3 - схема действи  сил в точке контактировани  полотна ленты с выстуАрм винтовой канавки барабана. Конвейер содержит замкнутую грузонесущую „ленту 1, нат нутую на приводной 2 и нат жной 3 барабан. Лента I выполнена из стеклоткани , армированной фторопластом (отвечающей по качеству требовани м полупроводнккового прогаводства при термической обработке сло  фоторезиста). . По одному краю ленты 1 выполнена стальна  полоска 4, на которой на равном рассто нии Друг от друга имеютс  выступы 5 (металлические шипы). На поверхност х природного 2 и нат жного 3 барабанов соответственно выступам 5 выполнены проточки 6. Кроме того, по всей поверхности каждого барабана выполнены наклоненные в сторону проточек винтовые канавки , образующие выступы 7 и вПадины 8. Нат жное средство конвейера выполнено в виде двух винтов 9, а привод осуществл етс  от мотор-редуктора 10. При включении мотор-редуктора Ю барабаны 2 и 3 начинают вращатьс . При этом в точках контактировани  верхнего полотна ленты 1 во зникает сила нат жени  Р, составл юща  которой - тангенциальна  Pt направлена в противоположную сторону от металлических ишпов 5. Наличие указанных сил при работе конвейера обеспечивает нат жение ленты I на барабанах 2 и 3 по ширине, в результате чего на полотне ленты 1 полностью отсутствуют неровности (гофры, складки). При транспортировании обрабатываемых .изделий, например , полупроволликовых пластин, издели  наход тс  в контакте с полотном грузонесущей ленты 1 всей своей поверхностью. Использование данного ленточного конвейера , в частности, в установках инфракрасной конвейерной термообработки, предназначенных дл  сушки (задубливани ) сло  фоторезиста, нанесенного на полупроводниковую пластину, обеспечивает одинаковый температурный режим в зоне обработки дл  всех обрабатываемых пластин. Формула изобретени  Ленточный конвейер, включающий приводной и нат жной барабаны с проточками на одном из краев, ленту с выступами, расположенньгми в проточках барабанов, отличающийс  тем, что, с целью повышени  равномерности термической обработки транспортируемого материала путем обеспечени  выравнивани  нат жени  ленты по ширине , барабаны выполнены с наклоненными в сторону проточек винтовыми канавками. Источники информации, прин тые во внимание при зкспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 191406, кл. в 65 G 15/54, 1965.
2. 2.Авторское свидетельство СССР № 249258, кл. В 65 G 15/42, 1968 (прототип).

   . Й/г.- -л

   i1

   Фиг.З