SU676911A1

SU676911A1 - Apparatus for thermovacuum testing

Info

Publication number: SU676911A1
Application number: SU762330513A
Authority: SU
Inventors: Иосиф Майорович Грач; Григорий Семенович Мельникер; Геннадий Петрович Кончук; Георгий Александрович Качурин; Борис Дмитриевич Строганов
Original assignee: Фрунзенский политехнический институт
Priority date: 1976-02-20
Filing date: 1976-02-20
Publication date: 1979-07-30

Description

лом и держател ми токопровод щие проклад ,ки, концы которых выступают на поверхность защитного стекла н имеют овальную форму, а держатели выполнены в виде токапрОБОд щих зажимов и соединены с источником высоковольтного напр жени .scrap and holders of conductive pads, ki, the ends of which protrude to the surface of the protective glass and have an oval shape, and the holders are made in the form of current-carrying clamps and connected to a source of high voltage.

На чергелге показана ириниипиальна схема .предлагаемого устройства дл проведени высокотемпературных испытаний в вакуумной среде,The chergelg shows an iriniipia diagram of the proposed device for conducting high-temperature tests in a vacuum environment.

Устройство содержит металлографический микроскоп I, вакуумную камеру 2 со смотровым стеклом 3. В вакумной камере 2 размещены исследуемый образец 4, защитна щторка 5 и защитное кварцевое стекло 6. Защитное кварцевое стекло 6 с двух сторон зажато держател ми 7, выполненными в виде токопровод щих зажимов, подключенных к источнику высокого напр жени . Между поверхностью защитного кварцевого стекла 6 и держател ми 7 помещены токопровод щие прокладки 8, выполненные , например, из аллюминиевой фольги .The device contains a metallographic microscope I, a vacuum chamber 2 with a viewing glass 3. Test sample 4, protective curtain 5 and protective quartz glass 6 are placed in the vacuum chamber 2. Protective quartz glass 6 is clamped on both sides by holders 7 made in the form of conductive clamps connected to a high voltage source. Conductive pads 8, made, for example, of aluminum foil, are placed between the surface of the protective quartz glass 6 and the holders 7.

Часть токопрсзод щих прокладок 5 выступает ,иа поверхность защитного кварцевого стекла 6 из-под держателей 7 и имеет овальную форму.Part of the current strips 5 protrudes, and the surface of the protective quartz glass 6 from under the holders 7 and has an oval shape.

При проведении исследований частицы, испарившиес с поверхности исследуемого образца 4, через отверстие в шторке 5, попадают на защитное кварцевое стекло 6, образу токопровод щую пленку. Одновременно на токопровод щую прокладку 8 через держатель 7, выполненный в виде токопровод щих контактов, подают от высоковольтного генератора напр жение.When conducting research, particles evaporated from the surface of sample 4, through a hole in shutter 5, fall on protective quartz glass 6, forming a conductive film. At the same time, a conductive strip 8 through the holder 7, made in the form of conductive contacts, is supplied with a voltage from a high voltage generator.

Таким образом, к держател м 7 подвод т ток высокой частоты 3-4 кГц, при которой процесс очистки защитного кварцевого стёкла 6 идет с максимальным выделением тепловой энергии в пленке.Thus, a high-frequency current of 3-4 kHz is supplied to the holders 7, at which the cleaning process of the protective quartz glass 6 proceeds with the maximum release of thermal energy in the film.

Тонка токопровод ща плеака 8 из алюминиевой фольги служит дл создани направленного протекани разр дного тока через Осевшую при испарении пленку, а овальный конец фольги - дл выравнивани разр дного тока по ширине пленки. ПоThe thin conductive puller 8 made of aluminum foil serves to create a directional flow of discharge current through the film deposited during evaporation, and the oval end of the foil is used to equalize the discharge current across the width of the film. By

мере напылени частиц п образовани провод щей пленки создаетс возможность дл протекани тока между держател ми 7. При протекании высокочаютотного тока частицы сублимата отлетают с поверхности защитного кварцевого стекла за счет влени термического расширени и магнитного взаимодействи .As sputtering particles form a conductive film, it is possible for current to flow between the holders 7. When high-current flows through, the sublimate particles fly away from the surface of protective quartz glass due to the appearance of thermal expansion and magnetic interaction.

Применение предлагаемого устройстваApplication of the proposed device

дл проведени высокотемпературных испытаний в вакуумной среде позвол ют значительно упростить существующую установку и пра,ктически мгновенно очистить поBepxHoicTb защитного кварцевого стекла отfor conducting high-temperature tests in a vacuum environment, it is possible to significantly simplify the existing installation and to instantly clean the protective silica glass from BepsHoicTb

пленок из осевших частиц сублимата, толщина снимаемой пленки при этом колеблетс от 30 до 2000 А.films of deposited sublimate particles, the thickness of the film removed in this case ranges from 30 to 2000 A.

Claims

1. Author's certificate of the USSR Alb. 129864, cl. G 01 N 33/20, 1963.

2. Slutsk V. B. “Thin films in microwave technology, 1962.

3. "Technical description and operating instructions of the IMASH-5TS installation, 69 - the plant of instrumentation, Frunze, 1960.

Lny

jF

A and