SU673083A1 - Травитель для полупроводниковых соединений типа ab - Google Patents
Травитель для полупроводниковых соединений типа abInfo
- Publication number
- SU673083A1 SU673083A1 SU2475520/25A SU2475520A SU673083A1 SU 673083 A1 SU673083 A1 SU 673083A1 SU 2475520/25 A SU2475520/25 A SU 2475520/25A SU 2475520 A SU2475520 A SU 2475520A SU 673083 A1 SU673083 A1 SU 673083A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- type
- mainly
- semiconductor compounds
- water
- traveler
- Prior art date
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Травитель для полупроводниковых соединений типа AB, преимущественно для антимонида индия, содержащий водорастворимые органические кислоты, преимущественно винную и этилендиаминтетрауксусную, окислитель и воду, отличающийся тем, что, с целью получения зеркально-гладкой поверхности травления при малых толщинах съема материала и улучшения эксплуатационных свойств травления, он дополнительно содержит соляную кислоту и кислородхлорсодержащий окислитель, преимущественно хлорноватистую кислоту, при следующем соотношении компонентов мас.%:Водорастворимые органические кислоты, преимущественно винная и этилендиаминтетрауксусная - 0,4 - 0,5Соляная кислота (37%) - 7,5 - 8Кислородхлорсодержащий окислитель, преимущественно хлорноватистая кислота - 7,5 - 10Вода - Остальное
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2475520/25A SU673083A1 (ru) | 1977-04-11 | 1977-04-11 | Травитель для полупроводниковых соединений типа ab |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2475520/25A SU673083A1 (ru) | 1977-04-11 | 1977-04-11 | Травитель для полупроводниковых соединений типа ab |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU673083A1 true SU673083A1 (ru) | 1999-11-10 |
Family
ID=60521092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2475520/25A SU673083A1 (ru) | 1977-04-11 | 1977-04-11 | Травитель для полупроводниковых соединений типа ab |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU673083A1 (ru) |
-
1977
- 1977-04-11 SU SU2475520/25A patent/SU673083A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5242461A (en) | Method of oxidizing no | |
| JPS5268334A (en) | Semiconductor memory | |
| SU673083A1 (ru) | Травитель для полупроводниковых соединений типа ab | |
| JPS51118395A (en) | Semiconductor emitting unit and manufacturing process | |
| JPS5222885A (en) | Transistor and manufacturing system | |
| JPS5241451A (en) | Biological denitrating method | |
| JPS51141787A (en) | Fluorescent substance | |
| JPS5210881A (en) | Fluorescent substances | |
| JPS5398926A (en) | Preparation of azodicarbonamides | |
| JPS5341055A (en) | Waste water treatment process | |
| JPS5211986A (en) | Self supply type acid analyzer | |
| JPS51136885A (en) | New biologically active substance, ml-236a, and its pr eparation | |
| JPS5232675A (en) | Etching solution for chemical compound | |
| JPS5235457A (en) | Controlling method for addition of organic carbon in biological denitr ogen method | |
| JPS531413A (en) | Mixing circuit | |
| JPS5296871A (en) | Manufacture of mos type transistor | |
| JPS51111036A (en) | Transistor circuit | |
| JPS51115787A (en) | Electric field emission plate | |
| JPS5251859A (en) | Relay driving conversion circuit | |
| JPS51147341A (en) | Elecrtochemical display substance | |
| JPS52141477A (en) | Treatment of air containing organic halogen compounds | |
| JPS5225580A (en) | Transistor | |
| JPS51135885A (en) | Fluorescent substance | |
| JPS539758A (en) | Preparation of santonin derivatives | |
| JPS542079A (en) | Light emission unit of semiconductor |