Изобретение относитс к оборудованию дл ультразвуковой сварки и может быть использовано при присоединении выводов в процессе сборки полупроводниковых приборов. Известен инструмент с поперечной канавкой на рабочем торце Л. Его недостатки: отсутствие фиксации проволочного вывода от бокового смещени чрезмерна деформаци вывода и ограни ченна длина сварного шва - следствие ТОГО; что материал вывода течет вдоль канавки вместо того, чтобы находитьс в услови х второстепенного сжати . Также известен инструмент дл ульт развуковой микросварки, выполненный в виде иглы с продольной канавкой на рабочем торце 2. Продольна канавка фиксирует проволочный вывод от бокового смещени и ограничивает его деформацию в процессе сварки. Недостатком указанной формы рабочего торца инструмента вл етс наличие проскальзывани между инструментом и проволокой в начальный период сварки, что приводит к потере УЗ и снижению стабильности сварки. Целью изобретени вл етс повшиение стабильности ультразвуковой микросварки . Поставленна цель достигаетс тем, что в канавке вдоль ее оси выполнен р д лунок,причем глубина h каждой лунки выбрана в соответствии с соотношением 0,5 di h i d , где d - диаметр лунки, а общий объем всех лунок составл ет 0,05-0,1 объема канавки. На фиг.1 изображен рабочий торец инструмента в разрезе; на фиг. 2 вид А фиг.1; на фиг.З - сечение лунки. На рабочем торце 1 имеетс продольна канавка 2, в верхней части которой вдоль ее оси выполнен р д лунок 3. Лунки могут иметь цилиндрическую, сферическую или иную форму. В начальный период сварки материал вывода затекает в лунки, образу зубцы, которые преп тствуют проскальзыванию проволоки относительно инструмента. В процессе сварки материал вывода заполн ет лунки полностью, и в объеме вывода, включа пространство под лунками, создаетс напр женное состо ние, близкое к всестороннему сжатию. Благодар этому сварной шов образуетс по всей длине рабочей площадки. Дл эффективного устранени проскальзывани металл вывода должен затекать в лунки относительно свободноThe invention relates to equipment for ultrasonic welding and can be used to attach leads in the process of assembling semiconductor devices. A tool with a transverse groove on the working end is known. Its disadvantages are: the absence of fixation of the wire lead from lateral displacement, excessive deformation of the lead, and the limited length of the weld seam is a consequence of the HLRT; that the withdrawal material flows along the groove instead of being subjected to secondary compression conditions. Also known is a tool for ultrasonic micro welding, made in the form of a needle with a longitudinal groove at the working end 2. The longitudinal groove fixes the wire lead from lateral displacement and limits its deformation during welding. The disadvantage of this form of the working end of the tool is the presence of slippage between the tool and the wire in the initial period of welding, which leads to a loss of ultrasonic and a decrease in the stability of welding. The aim of the invention is to improve the stability of ultrasonic micro-welding. The goal is achieved in that a row of holes is made in the groove along its axis, with the depth h of each well chosen according to a ratio of 0.5 di hid, where d is the diameter of the well and the total volume of all holes is 0.05-0 , 1 volume grooves. Figure 1 shows the working end of the tool in the section; in fig. 2 view And figure 1; on fig.Z - section of the hole. At the working end 1 there is a longitudinal groove 2, in the upper part of which a row of holes 3 is made along its axis. The wells may have a cylindrical, spherical or other shape. In the initial period of welding, the output material flows into the wells, forming teeth, which prevent wire from slipping around the tool. During the welding process, the output material fills the wells completely, and in the output volume, including the space under the wells, a stress state is created that is close to all-round compression. Due to this, the weld is formed along the entire length of the working platform. To effectively avoid slippage, the lead metal must flow into the wells relatively freely.