SU618729A1

SU618729A1 - Resistance evaporator temperature stabilizing apparatus

Info

Publication number: SU618729A1
Application number: SU762392219A
Authority: SU
Inventors: Александр Исаевич Беспальчик; Владислав Николаевич Глебов
Original assignee: Казанский Ордена Трудового Красного Знамени Авиационный Институт Им.А.Н.Туполева
Priority date: 1976-08-01
Filing date: 1976-08-01
Publication date: 1978-08-05

Description

Изобретение относитс к приборостронию , в частности, к устройствам стабилизации температуры нагретых тел в вакууме , например, резистивных испарителей , примен емых в вакуумной технологии дл получени пленочных покрыт1й.The invention relates to instrumentation, in particular, to devices for stabilizing the temperature of heated bodies in vacuum, for example, resistive evaporators used in vacuum technology to produce film coatings.

Имеютс объекты, наход щиес в вакууме , которые нагревают, пропуска через них ток накала, причем температура их должна поддерживатьс посто нной с высокой точностью (например, реэистивные испарители). Однако применение контактных датчиков температуры на этих объектах не всегда возможно. В таких случа х стабилизируют температуру косвенным образом, например, с помощью стабили затора тока накала.There are objects that are in a vacuum, which heat up, they pass a heat current through them, and their temperature must be maintained constant with high accuracy (for example, re-active evaporators). However, the use of contact temperature sensors on these sites is not always possible. In such cases, the temperature is stabilized indirectly, for example, using a filament current stabilizer.

Известно устройство дл стабилизации температуры резистивных испа|лггелей , имеющее источник тока накала испарител l.A device is known for stabilizing the temperature of resistive isp / lgels, having an evaporator current source l.

В вакуумной технологии получени пл -ночных покрытий широко пркмен йтс резистивные испарители. Температура испарени (особенно дл сложныхIn vacuum technology, the production of surface coatings is widely used in resistive evaporators. Evaporation temperature (especially for complex

веществ) цолжна стабилизироватьс с погреипюстью не более 1%. Устройства дл стабилизации температурь, стабилизирующие ток накала, часто не соответствуют этим требовани м, особенно в динамике, так как имеют место различные возмущающие воздействи на температуру непосредственно в испарителе (погрешность установки испарител , изменение количества испар емого вещества и т. п.).substances) should stabilize with less than 1%. Temperature stabilizing devices that stabilize the heating current often do not meet these requirements, especially in dynamics, as there are various disturbing effects on the temperature directly in the evaporator (evaporator installation error, change in the amount of evaporated substance, etc.).

Целью изобретени вл етс повышение точности устройства.The aim of the invention is to improve the accuracy of the device.

Эта цель достигаетс тем, что содержит устройство источник посто нного напр жени и металлический электрод , подключенный к положительному полюсу источника посто нного напр жени , отрицательный полюс которого подЧи1ючен к резистивному испарителю, вл юшемусн вторым электродом.This goal is achieved by the fact that the device contains a constant voltage source and a metal electrode connected to the positive pole of a constant voltage source, the negative pole of which is connected to a resistive evaporator, is a secondary one.

На чертеже изображена функциональна схема предлагаемоI-o устройства л стабилиза1дии температуры резистивioro испарител .The drawing shows a functional diagram of the proposed I-o device for stabilizing the temperature of the evaporator resistor.