(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕСТАБИЛЬНОСТИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Устройство содержит масштабный усилитель 1, двухвх-одовый регенеративный компаратор 2, логическое устройство 3, генератор 4 импульсов, реле 5 времени, управл емый генератор 6 импульсов, преобразователь 7 «код-аналог, счетчик 8, логические элементы «И 9, схему 10 сравнени кодов, счетч11К 11 нестабильности, блок 12 индикации . Устройство работает следующим образом .,. По сигналу «пуск включаетс реле 5 времени, счетчик нестабильности сбрасываетс в исходное состо ние. Выходное напр жение масштабного усилител 1 поступает на один вход регенеративного компаратора 2, на другой вход которого поступает напр женне с преобразовател 7 «код-аналог . Результат сравнени напр жений поступает на логическое устройство 3, которое упра|8л ет режимом работы реверсивного счетчика 8. 1.При и-а логическое устройство 3 переключает реверсивный счетчик 8 в режим «сложение. 2.при лргическое устройство 3 нереключает реверсивный счетчнк 8 в режим «вычитание. 3.при U4«« Ue-a логическое устройство 3 запрещает заполнение реверсивного счетчика 8 импульсами с управл емого ге.нератора 6. Допустим дл простоты, что реверсив-30 ный счетчнк 8 состоит из трех декад двоичио-дес тичиых счетчиков, счетчнк И нестабильности содержит один двоично-дес тичиый счетчик. Схема 10 сра1:неии кодов вы вл ет совпадение кодов, что означает равенство чисел во всех разр дах счетчика иестабиль сти и старшей декаде реверсивного счетчика. Рассмотрим процесс измерени нестабильности электрического пар аметра. При иодаче сигнала на вход устройства он преобразуетс масштабным усилителем 1 в напр жение , которое йоступает на один вход . регенеративного компаратора 2. При этом и )«асштабиог9 усилител 1 . больше и к-а преобразовател 7 «код-ана- 45 лог. Поэтому схема 3 управлени переводит реверсивный счетчик 8 в режим «сложение и разрешает его заполнение импульсами генератора 6. В реверсивный счетчик заноситс величина, соответствующа аб-50 еолютной величине измер емого параметра , относительно которой измер етс нестабильиость . Допустим, что этому абсолютному значению в реверсивном счетчике соответствует численное значение, равное 300. Заполнение реверсивного счетчика приводит55 к увеличению напр жени на выходе преобразовател «код-аналог. При U4nx Un-4 3 управлени запрещает заполнение реверсивного счетчика 8 и начинает посто нйо отслеживать уровень входного сигиала. Реле 5 времени через логический элемент «И 9 дает разрешение на заполнение счетчика II нестабнльностн. При измерении нестабильности импульсы, идущие в реверсивный счетчик 8 через элемент «И 9 проход т в счетчнк I1 нестабильности. Предположим, что при измерении нестабильности в интервале времени t в реверсивный счетчик 8 проход т шесть импульсов , так как в старшей декаде реверсивного счетчика 8 находитс цифра 3, то счетчик I1 нестабильности считает только до трех, и каждый третий импульс попадает в блсж 12 индикации. Дл данного случа в блок 12 индикации, попадает 2 импульса, что соответствует относительной нестабильности измер емого параметра, равной 2%. Запоминание знака монотонного дрейфа и обработка числа импульсов схемы 10 сравнени кодов осуществл етс блоком 12 индикации . Если за врем измерени At монотонное изменение параметра не превысит допустимую норму, котора задана блоку 12 нндикации в относительных единицах, то прибор считаетс годным. При наличии знакопеременного дрейфа наблюдаетс переключение разрешающих входов реверсивного счетчика 8 за врем измерени . Информаци о переключении входов поступает на блок 12 индикации, который запоминает ее. Через заданное врем At реле 5 времени выключаетс , и контроль стабильности электрического параметра заканчиваетс . Блок 12 индикации сигнализирует о годностн или причине выбраковки проверенного полупроводникового прнбора. Схема измёрит(ел проста, позвол ет автоматизировать процесс контрол нестабиль ности обратных токов и статического коэффициента передачи тока (Вст) с высокой точиостью. Предлагаемое устройство может быть использовано как в качестве отдельного прибора дл измерени нестабильности электрических параметров, так и в качестве блока дл автоматических классификаторов полупроводниковых приборов. Ф рмула изобретени Устройство дл измерени нестабильности электрических параметров полупроводниковых приборов, содержащее реверсивиый счетчик, схему управлени , преобразователь «код-аналог, мгсштабный усилитель , реле времени, генератор импульсов и блок индикации, отличающеес тем, что, с целью измерени отиосительной величины нестабильности, в него дополнительно введены компаратор, управл емый генератор импульсов, логический элемент «И, счетчик нестабильности и схема сравнени кодов , причем выводы реверсивного счегчнка через преобразователь «код-аналог, а масшт бного усилител - непосредственно соединены со входами компаратора, выход которого соединен со схемой управлени , выходы которой соединены с управл ющими входами реверсивиого счетчика и управл емого генератора импульсов, которого соединен со счетным входом реверсивно .го счетчика и через логический элемент «И со входом счетчика нестабильности, шина «сброс которого соединена с выходом схемы сравнени кодов, входы которой соединены соответственно с выходами счетчика нестабильности и выходами старших разр дов реверсивного счетчика.(54) DEVICE FOR MEASURING THE INSTABILITY ELECTRIC PARAMETERS OF SEMICONDUCTOR DEVICES The device comprises a scaling amplifier 1 dvuhvh-odovy regenerative comparator 2, logic unit 3, 4, a pulse generator, the relay 5 time controlled by a pulse generator 6, the converter 7 "code-analog counter 8, logical elements “And 9, code comparison circuit 10, instability counter 11K, display unit 12. The device works as follows.,. On the "start" signal, the time relay 5 is turned on, the instability counter is reset. The output voltage of the scale amplifier 1 is fed to one input of the regenerative comparator 2, to the other input of which is fed from the converter 7 "analogue code. The result of the comparison of the voltages is fed to the logic device 3, which controls the mode of operation of the reversible counter 8. 1. When and-and the logical device 3 switches the reversible counter 8 to the "addition" mode. 2. When the device 3 is not switching the reversible counter 8 into the mode “subtraction. 3. for U4 "" Ue-a logical device 3 prohibits the filling of the reversible counter with 8 pulses from the controlled generator 6. Suppose for simplicity that the reversible 30 counter 8 consists of three decades of binary-ten counters, counter I instability contains one binary decade. Scheme 10 cpa1: none of the codes reveals the coincidence of the codes, which means the equality of the numbers in all bits of the counter and the stability and high decade of the reversible counter. Consider the process of measuring the instability of an electrical vapor meter. When the signal is input to the device, it is converted by the large-scale amplifier 1 into a voltage that is fed to one input. regenerative comparator 2. At the same time, and) “scale 9 amplifier 1. more and to-and converter 7 “code-analog 45. Therefore, the control circuit 3 transfers the reversible counter 8 to the "addition" mode and allows it to be filled with the pulses of the generator 6. The value corresponding to an ab-50 current value of the measured parameter, against which the instability is measured, is entered into the reversible counter. Let us assume that this absolute value in a reversible counter corresponds to a numerical value equal to 300. Filling the reversible counter leads55 to an increase in the voltage at the output of the converter-code-analogue. With U4nx Un-4 3 controls, it prohibits filling the reversible counter 8 and starts to constantly monitor the level of the input sigal. Time relay 5 through the logical element "And 9 gives permission to fill the counter II is unstable. When measuring the instability, the pulses going to the reversible counter 8 through the element "And 9" are passed to the counter I1 of the instability. Suppose that when measuring instability in the time interval t, six impulses pass into the reversible counter 8, since in the high decade of the reversible counter 8 there is 3, then the instability counter I1 counts only three, and every third impulse falls into the display 12. For this case, the display unit 12 receives 2 pulses, which corresponds to a relative instability of the measured parameter equal to 2%. The storage of the monotonous drift sign and the processing of the number of pulses of the code comparison circuit 10 is carried out by the display unit 12. If during the measurement time At a monotonous change of the parameter does not exceed the permissible rate, which is set to the indication unit 12 in relative units, the device is considered suitable. In the presence of an alternating drift, the switching inputs of the reversible counter 8 are observed during the measurement time. Information about the switching of the inputs goes to the display unit 12, which stores it. After a predetermined time At, time relay 5 is turned off and the stability control of the electrical parameter is terminated. The display unit 12 signals the validity or the reason for rejection of the tested semiconductor device. The scheme will measure (it is simple, it allows you to automate the process of monitoring the instability of reverse currents and the static current transfer ratio (Bst) with high accuracy). The proposed device can be used both as a separate instrument for measuring the instability of electrical parameters, and as a unit for automatic semiconductor classifiers. Formula of the invention A device for measuring the instability of the electrical parameters of semiconductor devices, containing reversible counter, control circuit, code-analog converter, m-scale amplifier, time relay, pulse generator and display unit, characterized in that, in order to measure the horizontal instability value, a comparator controlled by a pulse generator, and the , an instability counter and a code comparison circuit, with the outputs of the reversible screw through the converter "code-analogue, and the scale amplifier - directly connected to the inputs of the comparator, the output of which is connected to the circuit control, the outputs of which are connected to the control inputs of the reversible counter and the controlled pulse generator, which is connected to the counting input of the reversible counter and through the logic element "And to the input of the instability counter, the bus" reset is connected to the output of the code comparison circuit, inputs which are connected respectively with the outputs of the instability counter and the outputs of the higher bits of the reversible counter.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе:Sources of information taken into account in the examination:
1.Авторское свидетельство СССР № 163820, кл. G 01 R 31/26, 1%4.1. USSR author's certificate number 163820, cl. G 01 R 31/26, 1% 4.
2.Авторское свидетельство СССР № 372521, кл. G 01 R 31/26, 1970.2. USSR author's certificate number 372521, cl. G 01 R 31/26, 1970.