SU605480A1 - Ion gun - Google Patents

Ion gun

Info

Publication number
SU605480A1
SU605480A1 SU762431012A SU2431012A SU605480A1 SU 605480 A1 SU605480 A1 SU 605480A1 SU 762431012 A SU762431012 A SU 762431012A SU 2431012 A SU2431012 A SU 2431012A SU 605480 A1 SU605480 A1 SU 605480A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
anode
holes
cathode
hydrogen
ion
Prior art date
Application number
SU762431012A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
В.М. Быстрицкий
Я.Е. Красик
В.И. Подкатов
В.Г. Толмачева
Ю.П. Усов
Original Assignee
Научно-Исследовательский Институт Ядерной Физики, Электроники И Автоматики При Томском Политехническом Институте Им. С.М. Кирова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-Исследовательский Институт Ядерной Физики, Электроники И Автоматики При Томском Политехническом Институте Им. С.М. Кирова filed Critical Научно-Исследовательский Институт Ядерной Физики, Электроники И Автоматики При Томском Политехническом Институте Им. С.М. Кирова
Priority to SU762431012A priority Critical patent/SU605480A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU605480A1 publication Critical patent/SU605480A1/en

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

(54) ИОННАЯ ПУШКА(54) ION GUN

Claims (2)

Изобретение относитс  к ускоритепьной технике и может быть использовано дл  получени  сипьнопоточньпс ионных пучков. Известны ионные пушки, состошииа из сопеноида, создающего импульсное магнитное поле, внутр и которого размещены двойной диод, имекиций два катода, и общий анод, вьтолненный из металла и водородсодержащего материала. В качест ве водородсооержащего материала испол зуют нейлоновые сетки бопьшой прозрачности . Однако в известных ионных пушках отмечаетс  мапа  плотность плазмы и, соответственно, низка  плотность ионног тока. Наиболее близким к изобретению техническим решением  вл етс  ионна  пуш ка, содержаща  соданоид к отражатега ный триод, состо щий из катода и анода , выполненного из металла и водороисодержащего материала. В этой пушке имеетс  один катод и один анод, выпо ненный в виде кольца с проволочками, на которые нат нут водородсодержащий материал в виде тонкой попизтипевовой фольги . Но у такой пушки низок ресурс из-за малой стойкости анода. Цель изобретени  - повышение ресурса источника. Это достигаетс  тем, что анод выполнен в виде анодного блока, составленного из двух металлических пластин, с закпк ченной междз ними прокпа кс из водородсодержашего материала, в метапшческих пластинах и водородсодержашей прок апхе выполнены сквозные отверсти  таким образом , что в6дорош;одаржаща  прокладка эквидистантно выступает за кра  отверстий в метап1шческнх ппастинах, в прокладке со crqpoHH отверстий радвапьно установлены меташгаческие игпы. Кроме того, в катоде выпо гаены выотупы , о ашенные к в ору, с отверств мв, совпадающими по форме и распопожению с отверсти ми в аноде. На чертеже схематично изображена Предлагаема  ионна  пушка. В соленоид 1 помещен отражательный Триод 2, состо щий нз высоковопьтного ввода 3, на котором укреп пен анод, выпопненный из двух метапшческих дисков 4 и 5 и закпюченной между ними прокла кн 6 из водородсодержащего материала с отверсти ми, с внутренней поверхности кедорыхвведеныигпы7,Вкатоде, выполненном в виде метапгшческого диска 8 с выступами 9 имеютс  отверсти . Причем форма выступов и,отверстий в катоде новтор ет форму и расположение отверстий в аионном блоке. Ионна  пушка работает сггедуклним образом . При подаче/положительного высоковольтного импульса на анЬд и одновремен но с подачей импульса тока на соленоид 1 по внутренней поверхности отверстий в прокладке ,6 из водородсодержащего материала происходит пробой ; между дисками 4 и 5 и иглами 7. Пробой обусловлен различием в скорости распространени  эпектромагнитной волны в металле и диэлектрике, В результате пробо  образуетс  поверхностный слой плазмы; распростран ю щейс  Ш1утрь отверстий и играющей роль плазменного анода. Змми-ГИрУ мьте с катода электроны многократно проход т через созданный ппаэменньй анод, совершай колебани  между катодом и виртуаль . катодом, и аейтрализуЮт анод - кагодный зазор. Выт гиваемые электричес- КИМ полем из плазмы ионы образуют два пучка, двигающиес  в противоположных направлени х к прорез м в катоде, через которые они вьгеод тс  из отражательного триода. Наличие выступов в катоде и соответствие отверстий в нем по форме и располо жению отверсти м в аноде повышают эффективность процесса экстракции ионов. В предлагаемой конструкции ионной пушки снижаетс  поток электронов, выпадающих на анод, что снижает его температуру и повышает ресурс. Формула изобретени  1.Ионна  пушка, содержаща  соленоид и отражательный триод, состошний из катода и анода. Выполненного из металла и водородсодержащего материала, о тл и ч а ю щ а   с   тем, что, с целью повышени  ресурса источника, анод выполнен в виде анодного блока, составленного из двух металлических пластин с заключенной между ними прокладкой из водорорсодержашего материала в металлических пластинах и врдородсодержащей прокладке выполнены сквозные отверсти  таким обpaaoMi что водородсодержаща  прокладки эквидистантно выступает за кра  отверстий в металлических пластинах, причем в прокладке со стороны отверстий рвДиально установлены металлические иглы. The invention relates to acceleration technology and can be used to obtain precision spot ion beams. Ion guns are known, consisting of a copenoid, creating a pulsed magnetic field, inside of which a double diode is placed, having two cathodes, and a common anode made of metal and hydrogen-containing material. Nylon nets of greater transparency are used as a hydrogen-containing material. However, in the known ion guns, plasma density is observed and, accordingly, the ion current density is low. The closest technical solution to the invention is an ion gun containing a sodoid to a reflecting triode consisting of a cathode and an anode made of metal and a hydrogen-containing material. In this gun there is one cathode and one anode, made in the form of a ring with wires, on which the hydrogen-containing material is drawn in the form of a thin pee-foil foil. But such a gun has a low resource due to the low resistance of the anode. The purpose of the invention is to increase the resource source. This is achieved by the fact that the anode is made in the form of an anode block made up of two metal plates, with a gap between them, made of a hydrogen-containing material, in metaphilic plates and a hydrogen-containing prok ape made through holes in such a way that the gap; the edges of the holes in the metapascids, in the gasket with the crqpoHH holes, the metagasic needles are installed radially. In addition, in the cathode, outcrops were formed, injected into a hole, with holes mV, which coincided in shape and position with holes in the anode. The drawing schematically shows the proposed ion gun. The solenoid 1 contains the reflective Triode 2, consisting of the high-voltage input 3, on which the anode is reinforced, made out of two meta-disks 4 and 5 and connected between them, a block 6, of hydrogen-containing material with holes, in the form of a meta-disk 8 with protrusions 9 there are holes. Moreover, the shape of the protrusions and the holes in the cathode replicates the shape and location of the holes in the ion block. The ion cannon works in a guided manner. When applying / positive high-voltage impulse to antid and simultaneously with applying a current impulse to the solenoid 1 along the inner surface of the holes in the gasket, 6 of the hydrogen-containing material breakdown occurs; between the disks 4 and 5 and the needles 7. The breakdown is due to the difference in the propagation speed of the electromagnetic wave in the metal and the dielectric. As a result, the sample forms a surface plasma layer; spreading gap of holes and playing the role of a plasma anode. Using a cathode from the cathode, electrons repeatedly pass through the created anode, oscillate between the cathode and the virtual. cathode, and neutralization anode - suitable gap. Electromagnetic field extracted from the plasma by the ions form two beams moving in opposite directions to the slots in the cathode through which they exit from the reflective triode. The presence of protrusions in the cathode and the correspondence of the holes in it in shape and location of the holes in the anode increase the efficiency of the ion extraction process. In the proposed construction of the ion gun, the flow of electrons falling on the anode decreases, which reduces its temperature and increases the resource. Claims of the invention 1. An ion gun containing a solenoid and a reflective triode composed of a cathode and an anode. Made of metal and hydrogen-containing material, about t and ch ya with the fact that, in order to increase the resource source, the anode is made in the form of an anode block composed of two metal plates with a gasket containing a hydrogen-containing material in the metal plates and in the gas-containing gasket, the through holes are made so obpaoMiMi that the hydrogen-containing gaskets equidistantly protrude beyond the edges of the holes in the metal plates, and in the gasket from the side of the holes rv metal needles. 2.Ионна  пушка по п. 1, отличающа с  тем, что в катоде выполнены выступы, обращенные к аноду, с отверсти ми, совпадающими по форме и расположению с отверсти ми в аноде.2. The ion gun according to claim 1, characterized in that the cathode has protrusions facing the anode with openings that coincide in shape and arrangement with openings in the anode. -114 V4j v x N VxX ч X ухх Ч X-114 V4j v x N VxX h x uh h x j Чj × 2ss2ss ХХ ХХХХХ..XX XXXXX ..
SU762431012A 1976-12-20 1976-12-20 Ion gun SU605480A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762431012A SU605480A1 (en) 1976-12-20 1976-12-20 Ion gun

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762431012A SU605480A1 (en) 1976-12-20 1976-12-20 Ion gun

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU605480A1 true SU605480A1 (en) 1978-12-15

Family

ID=20686998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU762431012A SU605480A1 (en) 1976-12-20 1976-12-20 Ion gun

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU605480A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4119362A1 (en) * 1991-06-12 1992-12-17 Leybold Ag PARTICLE SOURCE, ESPECIALLY FOR REACTIVE ION NETWORK AND PLASMA SUPPORTED CVD PROCESSES

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4119362A1 (en) * 1991-06-12 1992-12-17 Leybold Ag PARTICLE SOURCE, ESPECIALLY FOR REACTIVE ION NETWORK AND PLASMA SUPPORTED CVD PROCESSES

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2305884A (en) Electron beam concentrating system
US4282436A (en) Intense ion beam generation with an inverse reflex tetrode (IRT)
US4155825A (en) Integrated sputtering apparatus and method
EP0185045B1 (en) Wire-ion-plasma electron gun employing auxiliary grid
US3969646A (en) Electron-bombardment ion source including segmented anode of electrically conductive, magnetic material
GB1033447A (en) Ion sources
US4045677A (en) Intense ion beam generator
SE8700017L (en) JONPLASMAELEKTROKANON
US3613370A (en) Ion thruster
SU605480A1 (en) Ion gun
US4471224A (en) Apparatus and method for generating high current negative ions
US2520603A (en) Method of and means for utilizing charged-particle radiation
US3846668A (en) Plasma generating device
US4721889A (en) Uniform insulation applied-B ion diode
US2892946A (en) Method of and apparatus for the more efficient use of high-energy charged particles in the treatment of gasphase systems
US3376469A (en) Positive ion-source having electron retaining means
GB1062168A (en) Improvements in or relating to ion sources
JP2003270400A (en) Pig type negative ion source for neutron generation tube
US2713648A (en) Image storage devices
US5030885A (en) Charged particle control device
GB1083626A (en) Improvements in and relating to ion sources
US2530859A (en) Ion generators
US2806143A (en) Isotope separating apparatus
GB1153363A (en) Method of Coating.
GB1525396A (en) Sintered cathode