SU600216A1 - Подвеска дл гальванической обработки деталей - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к области нанесени  гальванических покрытий, в частности к оборудованию дл  гальванической обработки плоских деталей, например дл  электролитичеокого оксидировани  и полировани  подложек из алюмини  и его сплавов, и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности . Известна подвеска дл  гальванической обработки деталей, содержаща  раму с опорными элементами и основание с закрепленными в нем подпружиненными электропроводными стержн ми, выполненными из титана 1. Однако при использовании этой подвески прижим контактирующих стержней осуществл етс  со стороны плоскости детали. На участках в местах прижима стержней наблюдаютс  нарушени  оксидного сло , что недопустимо дл  подложек микросхем, так как на них оксид выполн ет функции электроизол ции . Прижим ico стороны плоскости детали в случа х, если деталь имеет толщину менее 1 мм, вызывает ее коробление, что также недопус1имо , так как коробление отрицательно вли ет на точность изготовлени  и качество микросхем. Целью изобретени   вл етс  повышение качества обработки путем уменьшени  короблени  и обеспечени  сплошности и однородности оксидного сло  на рабочих боковых поверхност х плоских деталей. Дл  этого в предлагаемой подвеске дл  гальванической обработки деталей электропроводные стержни установлены с возможностью контактировани  с деталью по торцовой поверхности, а опорные элементы выполнены в виде роликов. При этом электропроводные стержни могут быть выполнены из алюмини . На фит. 1 схематически изображена предлагаема  подвеска, вид спереди; на фпг. 2то же, вид сбоку; на фиг. 3 - то же, вид сверху; на фиг. 4 - то же, вид снизу. Подвеска содержит раму 1 с опорнымл элементами 2, выполненными в виде роликов. Три стороны рамы выполнены цельными, а сторона 3 соединена с остальными с помощью винтов 4 и 5. К раме 1 неподвижно закреплены направл ющие 6 и 7, на которые с помощью соединени  шин - паз установлено основание 8 с возможностью свободного перемещени  вдоль направл ющих 6 и 7, служащее дл  креплени  двух электропроводных стержней 9 из алюмини , св занных с основанием 8 посредством резьбового соединени , зао-стренныс концы которых контактируют с деталью 10. Дл  подвода тока к электропроводным

стержн м 9 имеютс  гибкие шины 11, Закрепленные между гайками 12.

На раме 1 имеетс  неподвижно закрепленный кронштейн 13, на консоли которого установлен регулирземый шток 14, который шарнирно соединен с основанием 8. С помош;ью пружины 15, расположенной на штоке 14, основание 8 посто нно удерживаетс  в нижнем положении и оказывает посто нное давление через стержни 9 на деталь. Шток 14 имеет винтовую резьбу по всей длине, усилие прижима его к основанию 8 задано положением гайки 16. Движение штока вниз ограничено гайкой 17.

Крюк 18, с помощью которого предложенное приспособление устанавливают в ванне, соединен с рамой 1 винтами 19.

В процессе работы шток 14 отт гивают вверх враш,ением гайки 17. Выворачивают винт 5 на несколько оборотов с целью ослаблени  .креплени  боковой стороны 3 рамы 1. Открывают сторону 3 рамы I вращением вокруг винта 5.

Устанавливают .между опорными элементами 2 деталь 10 и закрывают сторону 3. Зат гивают винт 5 и отпускают шток 14 вращением гайки 16. Затем приспособление с деталью устанавливают с помощью крюка 18.

После электролитической обработки сн тие детали с приспособлени  выполн ют в обратном пор дке.

Использование предлагаемого приспособлени  дл  электролитической обработки подлол ек из алюмини  дл  микросхем, в котором прижим электропроводных стержней осуществл ют со стороны их торцовой поверхностИ , позвол ет обеспечить получение дл  боковых рабочих поверхност х однородных и

сплоЩнь1х оксидных слоев, а также уменЬ шить величину короблени .

Применение электропроводных стержней с заостренными концами значительно снижает коробление детали, так как площадь контакта стержней с деталью небольша  и дл  обеспечени  необходимого удельного давлени  в месте контакта требуетс  малое усилие прижима .

Использование опорных элементов, выполненных в виде роликов, позвол ет обрабатывать в предлагаемом приспособлении плоские детали алюминиевых подложек толщиной 0,2-1 мм.

Claims (2)

1.Подвеска дл  гальванической обработки деталей, содержаща  раму с опорными элементами и основание с закрепленными в нем подпружиненными электропроводными стержн ми с заостренными концами, отличающа с  тем, что, с целью повыщени  качества обработки путем уменьшени  короблени  и обеспечени  сплошности и однородности оксидного сло  на рабочих боковых поверхност х плоских деталей, электропроводные стержни установлены с возможностью контактировани  с деталью по торцовой поверхности , а опорные элементы выполнены в виде роликов.

2.Подвеска по п. 1, о т л ич а ю ща  с  тем, что электропроводные стержни выполнены из алюмини .

Источники ипформации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Патент Японии № 49-31185, кл. 12А 42, 1974.

п

/

J/

9

О S -Фиг . 1

V I IpW 1

02 Фиг . 2

./- -тTIГГ . I