SU585881A1 - Осадительна центрифуга - Google Patents

Description

(54) ОСАДИТЕЛЬНАЯ ЦЕНТРИФУГА

НИИ, стекает вниз под действием сил т жести, затем через сливные окна фланца сливаетс  в приемную кольцевую камеру и далее поступает в емкость дл  сбора фугата или непосредственно на рабочие операции.

В тех случа х, когда фугат подаетс  непосредственно на рабочие операции, ванна (суспензи ) после каждой остановки центрифуги загр зн ет фугат, в результате чего значительно снижаетс  качество готовой продукции , что имеет место, в частности, при химико-механической обработке полупроводниковых пластин.

Целью изобретени   вл етс  предотвращение попадани  суспензии в фугат при периодических остановках центрифуги и повышение таким образом чистоты фугата.

Это достигаетс  тем, что в предлагаемой центрифуге в приемной камере фугата на фланце ротора по окружности установлены лопатки, при этом выпускной патрубок фугата размещен в верхней части камеры тангенциально по направлению вращени  ротора, а в нижней части камера имеет отверстие и тангенциально укрепленный в направлении, противоположном направлению вращени  ротора , патрубок дл  слива суспензии из ротора при его остановке.

На фиг. 1 изображена осадительна  центрифуга , общий вид; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1.

Центрифуга имеет цилиндроконический ротор 1, внутри которого размещен щнек 2, предназначенный дл  выгрузки твердой фазы . На торцах ротора 1 установлены фланцы 3 и 4 с окнами 5 и 6 дл  отвода твердой фазы и фугата. На фланцах 3 и 4 выполнены приемные кольцевые камеры 7 и 8 дл  сбора и отвода твердой фазы и фугата. В приемной кольцевой камере 8 на фланце 4 ротора 1 по окружности установлены лопатки 9. В верхней части кольцевой камеры 8 тангенциально по направлению вращени  ротора 1 размещен выпускной патрубок 10 фугата. В нижней части камеры 8 имеетс  отверстие 11 и тангенциально укрепленный в направлении, противоположном направлению вращени  ротора 1, патрубок 12 дл  слива суспензии из ротора 1 при его остановке. Ротор 1 и шнек 2 привод тс  во вращение от привода.

Предлагаема  центрифуга работает следующим образом.

Исходна  суспензи , например абразивна , подаетс  по трубе 13 и через отверстие 14 поступает во вращающийс  ротор 1. Тверда  фаза под действием центробежной силы отжимаетс  к внутренней поверхности ротора 1, выгружаетс  шнеком 2 через окна 5 фланца 3 в кольцевую камеру 7 и выходитс  наружу.

Жидкость (суспензи ) перемещаетс  в сторону большого диаметра ротора 1. По мере поступлени  исходной суспензии по патрубку

12 толщина сло  жидкости (ванна) возрастает и по достижении уровн  окон 6 фугат начинает выливатьс  в приемную камеру 8. Этот фугат захватываетс  вращающимис 

лопатками 9, через выпускной патрубок 10 выгружаетс  наружу и по трубопроводу подаетс  на рабочие операции. Ванна (суспензи ), наход ща с  в роторе 1, в период остановки центрифуги скапливаетс  под действием сил т жести в его нижней части, а затем при достижении уровн  окна 6 расположенного в нижней части фланца 4, сливаетс  в приемную камеру 8, откуда через отверстие

11и патрубок 12 удал етс  из центрифуги. Дл  предотвращени  выхода фугата в процессе центрифугировани  через патрубок 12 зазор между лопатками 9 и камерой 8 должен быть минимальным.

Наличие в нижней части приемной кольцевой камеры 9 отверсти  и тангенциально укрепленного в направлении, противоположном направлению вращени  ротора 1, патрубка

12обеспечивает полную выгрузку загр зненной суспензии, попадающей в камеру 8 при

остановках центрифуги, что исключает попадание суспензии в фугат и таким образом повышает его чистоту. Это позвол ет примен ть предлагаемую осадительную центрифугу , в частности дл  очистки от ворсы замщи , сколов кремни  суспензии, подаваемой непосредственно на рабочие участки, например операции химико-механической полировки полупроводниковых пластин.

Claims (3)

1.Патент США № 3858794, кл. 233-7, опубл. 1975.

2.Контарович

3. Б. Машины химической промышленности. М., «Машиностроение, 1965, с. 86-87.

.1