SU579241A1 - Glass - Google Patents

Glass

Info

Publication number
SU579241A1
SU579241A1 SU7602370141A SU2370141A SU579241A1 SU 579241 A1 SU579241 A1 SU 579241A1 SU 7602370141 A SU7602370141 A SU 7602370141A SU 2370141 A SU2370141 A SU 2370141A SU 579241 A1 SU579241 A1 SU 579241A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
glass
glasses
vacuum
thermal expansion
silicon
Prior art date
Application number
SU7602370141A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Аркадьевич Герчиков
Улдис Янович Седмалис
Рудольф Августович Цимдинь
Янис Петрович Лиепинь
Original Assignee
Рижский Ордена Трудового Красного Знамени Политехнический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Рижский Ордена Трудового Красного Знамени Политехнический Институт filed Critical Рижский Ордена Трудового Красного Знамени Политехнический Институт
Priority to SU7602370141A priority Critical patent/SU579241A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU579241A1 publication Critical patent/SU579241A1/en

Links

Landscapes

  • Glass Compositions (AREA)

Description

Изобретение относитс  к стеклам с низким коэффициентом термического расширени , способным образовывать тонкие пленки на кремнии и других полупроводниковых материалах, испол зуемых в радиоэлектронной и радиотехнической промышленности.. Известно стекло, включающее SiOj 49-51; АЕ, 23-25; Ма-0-3,54 ,5; ZnO-$-lO,; СаО 7-8; В, О. 55 ,5; Со0; ,2,5-3, 5,; l . Указанное стекло не обладает достаточно низким коэффициентом тер мического расширени  и не способно образовывать тонких пленок при распылении в вакууме. Цель изобретени  - понижение коэф циента термического расьчирени  стекл и получение из него тонких пленок н кремнии при термическом распылении в вакууме. Это достигаетс  тем, что стекло имеет следующий состав (по синтезу), Бес.%: SiO - 35-60; - 5-25; Mg-0 - 5-l1; Zli О - 1526; СаО - 0,5-6; SrO- 0,5-6; ВсхО 0 ,5-6. Стекло вар т в электрической печи в корундовых тигл х при ьиксимальных температурах - 1340-1450 0. Стекла размалывают в шаровой мельнице и полученные после рассева фракции порошка стекла 200-300 мкм и ниже 63 мкм используют дл  нанесени на деталь методом вакуумного термического распылени  и методом плазменного напылени . Пример iqpcTaBOB стекол приведен в табл. 1. Таблица 1The invention relates to glasses with a low thermal expansion coefficient capable of forming thin films on silicon and other semiconductor materials used in the electronic and radio engineering industries. Glass including SiOj 49-51; AE, 23-25; Ma-0-3,54, 5; ZnO - $ - lO ;; CaO 7-8; B, O. 55, 5; Co0; 2.5-3, 5 ,; l. This glass does not have a sufficiently low thermal expansion coefficient and is not capable of forming thin films when sprayed in vacuum. The purpose of the invention is to reduce the coefficient of thermal degradation of glass and to obtain from it thin films of n silicon during thermal spraying in a vacuum. This is achieved by the fact that glass has the following composition (according to synthesis), Bes.%: SiO - 35-60; - 5-25; Mg-0 - 5-l1; Zli O - 1526; CaO - 0.5-6; SrO - 0.5-6; All 0, 5-6. The glass is cooked in an electric furnace in corundum crucibles at maximum temperatures of 1340-1450 0. The glasses are ground in a ball mill and the fraction of glass powder 200-300 µm obtained after sieving and below 63 µm is used for vacuum coating on the part using the method of vacuum thermal spraying and plasma spraying. An example of iqpcTaBOB glasses is given in Table. 1. Table 1

Физико-химические свойства составов стекол приведены в таблице 2, Таблица 2Physico-chemical properties of the compositions of the glasses are shown in table 2, table 2

Полученные стекла имеют р д преимуществ по сргшнению с известньми. Они обладают малыми коэффициентами термического расширени . Благодар  отсутствию окиси бора и щелочных окислов они способны сохран ть свой при те1 1ИЧесксм распылении в вакууме и даже- 11ри плазменном напылении и давать также пленочные покры ти  на кремнии и других полупроводниковых материалах. Стекла  вл ютс  бес1целочньа«и и имеют высокие диэлектрические свойства и хорошую химическую устойчивость к воде.The resulting glass has a number of advantages in terms of limestone. They have low thermal expansion coefficients. Due to the absence of boron oxide and alkaline oxides, they are able to retain their spontaneous sputtering in vacuum and even plasma spraying and also produce film coatings on silicon and other semiconductor materials. Glasses are integerless and have high dielectric properties and good chemical resistance to water.

изобретени  the invention

....

Стекло включающее SiO Mg-Q ,ZnO , Со О, отличающееGlass comprising SiO Mg-Q, ZnO, Co O, distinguishing

с   тем/ что, с целью понижени  коэффициента термического расширени  и получени  пленочного покрыти  на полупроводниковых материалах, преимущественно на кремнии, оно дополнительно содержит 5рО и ВаО при следующем соотношении между компонентами, вес.%:so that, in order to reduce the thermal expansion coefficient and obtain a film coating on semiconductor materials, mainly silicon, it additionally contains 5pO and BaO in the following ratio between components, wt.%:

35-60 35-60

SiO,SiO,

Ае,о, 5-25 Ae, oh, 5-25

Mg-O 5-17 2пО 15-26 Со О 0,5-6 SfO 0,5-6 ЬаО 0,5-6Mg-O 5-17 2pO 15-26 Co O 0.5-6 SfO 0.5-6 Lao 0.5-6

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе:Sources of information taken into account in the examination:

1. Авторское свидетельство СССР 380599, кл. С 03 С 3/04, 1973.1. USSR author's certificate 380599, cl. From 03 On 3/04, 1973.

SU7602370141A 1976-06-07 1976-06-07 Glass SU579241A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU7602370141A SU579241A1 (en) 1976-06-07 1976-06-07 Glass

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU7602370141A SU579241A1 (en) 1976-06-07 1976-06-07 Glass

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU579241A1 true SU579241A1 (en) 1977-11-05

Family

ID=20664804

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU7602370141A SU579241A1 (en) 1976-06-07 1976-06-07 Glass

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU579241A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002030840A2 (en) 2000-10-13 2002-04-18 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass member resistant to plasma corrosion

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002030840A2 (en) 2000-10-13 2002-04-18 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass member resistant to plasma corrosion
US7015163B2 (en) * 2000-10-13 2006-03-21 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass member resistant to plasma corrosion

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0049041B1 (en) Porcelain enamel frit
US4746578A (en) Glaze compositions for ceramic substrates
US3540895A (en) Process for the manufacture of a devitrified glass
JPS56145132A (en) Glass composition
GB671785A (en) Improvements in or relating to glass compositions
SU579241A1 (en) Glass
JPS6049144B2 (en) colored frit glass mixed glaze
US3307958A (en) Ceramic material
JPWO2001090012A1 (en) Glass composition and glass-forming material containing the composition
US3745032A (en) Low expansion,multiband transmitting glass
JPS6236040A (en) Low-melting point sealing glass
US3841883A (en) Bi{11 O{11 {11 CONTAINING Pbo-Zno-B{11 O{11 {11 LOW TEMPERATURE SEALING GLASS
JPS6042246A (en) Glass for substrate
JPS60118648A (en) Glaze composition for ceramic base
JPS6055453B2 (en) Glaze composition for alumina substrates
US3519446A (en) Ceramic material
US3264122A (en) Insulating coating compositions for electrical conductors
WO1999021803A3 (en) Dielectric glasses for low dielectric loss, low temperature cofired ceramics with medium dielectric constants
US3005722A (en) Glass composition
JP2002160937A (en) Low temperature-meltable glass
JPS5614449A (en) Binder glass composition for coating phosphor
JPS61186248A (en) Glass ceramic
KR101431001B1 (en) Eco-friendly dielectric glass containing Ta2O5 and its synthetic method
JPH01188443A (en) Glaze composition for ceramic substrate
JPS6150890B2 (en)