SU576518A1 - Вибрационно-частотный преобразователь усилий - Google Patents
Вибрационно-частотный преобразователь усилийInfo
- Publication number
- SU576518A1 SU576518A1 SU7602377631A SU2377631A SU576518A1 SU 576518 A1 SU576518 A1 SU 576518A1 SU 7602377631 A SU7602377631 A SU 7602377631A SU 2377631 A SU2377631 A SU 2377631A SU 576518 A1 SU576518 A1 SU 576518A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vibration
- frequency transducer
- plate
- electrodes
- frequency
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области измерительной техники и может найти применение в частотных датчиках силы, деформаций и других приводимых к ним величин.
Известный вибрационно-частотпый преобразователь , содержащий резонаторы изгибиых колебаний в виде металлической пластины пр моугольного сечени , выполненной за одно целое с элементами кренлени , и систему возбуждени и съема колебаний, св занные между собой через усилитель, обладает недостаточной функциональной возможностью 1.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс вибрационно-частотный преобразователь, содержащий резонатор изгибных колебаний в виде пластины пр моугольного сечеии , выполненной за одно целое с элементами креплени из монокристаллического материала, и электроды возбуждени и съема колебаний 2.
К недостаткам известного преобразовател относитс его ограниченна функциональна возможность.
Дл расщирени функциональных возможностей в предлагаемый преобразователь введены нагревательные резисторы, расположенные непосредственно на резонаторе вблизи обоих концов его креплени и соединенные с электродами возбуждени , и тензометрический
мост, расположенный на резонаторе и соединенный с электродами съема колебаний.
На чертел е представлен описываемый преобразователь усилий.
На пластипе 1 пр моугольного сечени , выполненной за одно целое с элементами креплени из монокристаллического материала, расположены электроды 2 и 3 соответственно возбуждени и съема колебаний. На пластине 1 диффузией примеси созданы нагревательные резисторы 4, расположенные вблизи обоих концов ее креплени и соединенные с электродами 2 возбуждени . Тензометрический мост 5 расположен также па пластиие 1 и соединен с электродами 3 съема колебаний.
Двусторонним избирательным травлением образуютс глуха полость 6 и формообразующие сквозные щели 7. В результате получаетс пластинчатый резонатор 8, выполненный за одно целое с элементами креплепи 9. Направление прилагаемого измер емого усили показано позицией 10.
Нри пропускании через нагревательные резисторы 4 импульсного тока в пластине 1 создаетс переменный градиент температуры, а возникающие при этом термоупругие напр жепи вызывают ее изгиб. Нри приложении к пластине продольных зсилий измен етс частота ее колебаний.
3
В качестве детектора колебаний используют тензометрический мост 5, расположенный иа пластине 1, частотный сигнал которого пронорционален действуюндему усилию.
Claims (2)
1.Авторское свидетельство СССР № 302629, кл. G OIL 1/16, 1965.
2.Патеит США т 3479536, кл. 310-8.5, 1969.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU7602377631A SU576518A1 (ru) | 1976-05-19 | 1976-05-19 | Вибрационно-частотный преобразователь усилий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU7602377631A SU576518A1 (ru) | 1976-05-19 | 1976-05-19 | Вибрационно-частотный преобразователь усилий |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU576518A1 true SU576518A1 (ru) | 1977-10-15 |
Family
ID=20667482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU7602377631A SU576518A1 (ru) | 1976-05-19 | 1976-05-19 | Вибрационно-частотный преобразователь усилий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU576518A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4372173A (en) * | 1980-10-20 | 1983-02-08 | Quartex, Inc. | Resonator force transducer |
| US4947694A (en) * | 1988-03-16 | 1990-08-14 | W & T Avery Limited | Vibrating force sensor |
-
1976
- 1976-05-19 SU SU7602377631A patent/SU576518A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4372173A (en) * | 1980-10-20 | 1983-02-08 | Quartex, Inc. | Resonator force transducer |
| US4947694A (en) * | 1988-03-16 | 1990-08-14 | W & T Avery Limited | Vibrating force sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5113698A (en) | Vibrating beam transducer drive system | |
| US4594898A (en) | Force sensors | |
| US4215570A (en) | Miniature quartz resonator force transducer | |
| EP0161533B1 (en) | resonator temperature transducer | |
| JP3416887B2 (ja) | 結合力変換器および温度センサ | |
| JPH02189433A (ja) | 振動型の力・周波数変換器 | |
| US4531073A (en) | Piezoelectric crystal resonator with reduced impedance and sensitivity to change in humidity | |
| US4743790A (en) | Force sensing vibrating beam resonator | |
| SU576518A1 (ru) | Вибрационно-частотный преобразователь усилий | |
| JPS60186725A (ja) | 圧力センサ | |
| SU896396A1 (ru) | Интегрально-оптический тензодатчик | |
| Barthod et al. | New force sensor based on a double ended tuning fork | |
| JPS5856406B2 (ja) | 水晶トランスデュサ | |
| SU642656A1 (ru) | Частотный пьезопреобразователь механических величин | |
| RU2302007C1 (ru) | Резонатор электромеханический | |
| JPS596370B2 (ja) | 力変換機構 | |
| RU2003063C1 (ru) | Вибрационно-частотный преобразователь усилий | |
| RU2003062C1 (ru) | Полупроводниковый частотный преобразователь усилий | |
| JPS646837A (en) | Vibration type differential pressure sensor | |
| RU2014579C1 (ru) | Датчик силы | |
| SU991194A1 (ru) | Струнный датчик силы | |
| SU845002A1 (ru) | Струнный компенсационный датчикпЕРЕМЕщЕНи | |
| SU547046A1 (ru) | Способ измерени уровн колебаний в возбужденном электромеханическом преобразователе крутильных колебаний | |
| RU2026540C1 (ru) | Датчик давления с частотным выходом | |
| JPS6110197Y2 (ru) |