SU553483A1

SU553483A1 - Thermocouple graduation method

Info

Publication number: SU553483A1
Application number: SU2072282A
Authority: SU
Inventors: Владимир Алексеевич Кочан; Анатолий Алексеевич Саченко; Владимир Владимирович Кочан; Виктор Васильевич Лапшин
Original assignee: Тернопольский Финансово-Экономический Институт
Priority date: 1974-11-04
Filing date: 1974-11-04
Publication date: 1977-04-05

Description

Изобретение касаетс поверки термоэлектрических термопар и может использоватьс , например, при контроле первичных преобразователей температуры в электротермических установках дл производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.The invention relates to the calibration of thermoelectric thermocouples and can be used, for example, in monitoring temperature transducers in electrothermal installations for the production of semiconductor devices and integrated circuits.

Известен способ поверки термоэлектрических термометров, заключающийс в сличении термоэлектродвижущей силы повер емого термоэлектрического термометра с термоэлектродвижущей силой образцового термометра.A known method of calibration of thermoelectric thermometers consists in comparing the thermoelectromotive force of a thermoelectric thermometer under test with the thermoelectromotive force of an exemplary thermometer.

Недостатками такого способа поверки вл ютс сложность, необходимость в точном измерений температуры поверочной печи и применение высокоточной поверочной аппаратуры .The disadvantages of this method of calibration are the complexity, the need for accurate measurements of the temperature of the calibration furnace and the use of high-precision calibration equipment.

Указанные недостатки частично устранены при градуировке термопар способом поэлектродного сличени , при этом измер етс величина термо-ЭДС образующейс между одинаковыми термоэлектродами градуируемой и об- разцовой термопар. .These drawbacks are partially eliminated when thermocouples are calibrated by the method of electrode comparison, and the thermo-EMF value formed between the same thermoelectrodes of the calibrated and sample thermocouples is measured. .

По термо-ЭДС образцовых и градуируемых термопар суд т о погрешност х.Thermo-EMF of exemplary and graduated thermocouples are judged on the errors.

Поэлектродна градуировка имеет большое преимущество, заключающеес в том, что измер емые термо-ЭДС сравнительно мало чувствительны к колебани м температуры в градуировочной печи. Кроме того, на измер емую термо-ЭДС почти не оказывает вли ни температура свободных концов термопары.Electrode graduation has a great advantage in that the measured thermo-emf is relatively little sensitive to temperature fluctuations in the calibration furnace. In addition, the measured thermo-emf has almost no effect on the temperature of the free ends of the thermocouple.

Однако за счет неодновреме ности измерений термо-ЭДС на отдельных термоэлектродах и вли ни на результат измерений температур контактных термоэлектродвижущих сил при двухкратном измерении снижаетс точность измерений и усложн етс процесс градуировки .However, due to the nonuniformity of measurements of thermo-EMF on individual thermoelectrodes and the effect on the measurement result of the temperatures of contact thermoelectromotive forces in the double measurement, the accuracy of measurements decreases and the calibration process becomes more complicated.

Цель изобретени - повышение точности измерений и упрощение процесса градуировки .The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy and simplify the calibration process.

Указанна цель достигаетс тем, что приThis goal is achieved by

поэлектродной градуировке термопар измер ют одновременно разность термо-ЭДС двухElectrode calibration of thermocouples is used to measure simultaneously the difference between the thermo-emf of two

пар попарно однотипных термоэлектродовpairs of identical thermoelectrodes

повер емой и образцовой термопар.verifiable and exemplary thermocouple.

На чертеже изображена схема устройства, по сн ющего предлагаемый способ. Устройство содержит размещенные в рабочем пространстве поверочной печи образцо .вую 1 и градуируемые 2-4 термопары, которые подключаютс при помощи -переключател 5 и резистора 6 к рамкам дифференциального гальванометра 7.The drawing shows a diagram of the device, explaining the proposed method. The device contains samples 1 and 1 calibrated in the working space of the calibration furnace, 2-4 thermocouples, which are connected by means of a switch 5 and a resistor 6 to the frames of the differential galvanometer 7.

Градуировку, например, термопары 2 осуществл ют следующим образом. , Став т переключатель 5 в положение а, что обеспечивает подачутерМО-ЭДС образцовой I и градуируемой 2 термопары на рамки дифференциального гальванометра 7, отсчитывают разность термо-ЭДС, развиваемых однотипным термозлектродами образцовой и градуируемой термопар. Затем став т переключатель 5 в положение б, что обеспечивает отключение градуируемого термометра 2 и подключение через резистор 6 образцовой термопары 1 к рамке диф:ференциального гальванометра 7 (в этом случае дифференциальный гальванометр работает в режиме милливольтметра ), которым измер ют термо-ЭДС образцовой термопары и делают вывод о погрешности повер емой термопары 2.For example, thermocouples 2 are calibrated as follows. Switch 5 is set to position a, which provides a submulti-EMF of exemplary I and 2 calibrated thermocouples on the frame of a differential galvanometer 7, the difference between the thermo-EMF developed by the same thermocouple thermocouples and of the same type is measured. Switch 5 is then set to position b, which ensures that the calibrated thermometer 2 is disconnected and connected through a resistor 6 of an exemplary thermocouple 1 to the frame of a differential: galvanometer 7 (in this case, the differential galvanometer operates in millivoltmeter mode), by which the thermo-EMF of the exemplary thermocouple is measured and make a conclusion about the accuracy of the thermocouple being tested 2.

Аналогичным образом определ ют погрешности градуируемой термопары 2 дл других значений термопары, измеренной образцовой термопарой 1.Similarly, the uncertainties of the calibrated thermocouple 2 are determined for other thermocouple values measured by the reference thermocouple 1.

По предложенному способу градуируемые термопары должны бьггь того же типа, что и образцова , следует так же обеспечивать надежный электрический контакт рабочих концов градуируемых и образцовых термометров и размещать их в равномерном температурном поле. При необходимости количество градуируемых термопар может быть увеличено. По предложенному способу путем одновременных измерений разностей термо-ЭДС отсутствует погрешность от неодновременности измерени , а за счет проведени измерени одного измерени вместо двух уменьшаетс вли ние на результат измерений контактных термо-ЭДС и упрошаетс процесс градуировки .According to the proposed method, the calibrated thermocouples should be of the same type as the model one; one should also ensure reliable electrical contact of the working ends of the calibrated and model thermometers and place them in a uniform temperature field. If necessary, the number of graduated thermocouples can be increased. According to the proposed method, by simultaneously measuring the differences of thermo-EMF, there is no error due to non-simultaneity of measurement, and by measuring one measurement instead of two, the effect on the measurement result of contact thermo-EMF is reduced and the calibration process is promoted.

Claims

Invention Formula

A method of calibrating thermocouples by measuring thermo-EMF between identical thermoelectrodes of a graduated and exemplary thermocouple, and measuring a thermo-EMF of an exemplary thermocouple, is different because, in order to improve the measurement accuracy and simplify the process of graduation, simultaneously measure the difference in thermo-EMF of two pairs pairwise thermoelectrodes of the same type and exemplary thermograms.

OQOQ OOODO

R

V vj v

Have