SU528637A1

SU528637A1 - Camera of combined auto-electron-auto-ion microscope

Info

Publication number: SU528637A1
Application number: SU2153246A
Authority: SU
Inventors: Валерий Андреевич Кузнецов; Евгений Павлович Шешин
Original assignee: Московский Институт Инженеров Гражданской Авиации
Priority date: 1975-07-07
Filing date: 1975-07-07
Publication date: 1976-09-15

Description

1one

Изобретение относитс к области автоионной и автоэлектронной микроскопии и может быть использовано при создании приборов дл исследовани твердого тела на атомном уровне.The invention relates to the field of auto-ion and auto-electron microscopy and can be used to create instruments for studying a solid at the atomic level.

Известна конструкци автоионного-электронного микроскопа, выполненного в металле с высоковольтными вводами 1. Недостатком таких устройств вл етс их сложность и громоздкость.The known design of an avionic electron microscope, made in a metal with high-voltage inputs 1. The disadvantage of such devices is their complexity and bulkiness.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению вл етс устройство камеры комбинированного автоэлектронного-автоионного микроскопа 2, содержащей цельнометаллический корпус, съемный экран и охлаждаемый цилиндр, укрепленный на держателе исследуемого образца.Closest to the proposed invention is a camera device of a combined autoelectronic-auto-ion microscope 2, comprising an all-metal body, a removable screen and a cooled cylinder mounted on the sample holder.

Однако такое устройство сложно и при этом не обеспечиваетс высока точность исследований .However, such a device is complicated and the accuracy of the research is not ensured.

Целью изобретени вл етс повышение точности исследовани и упрощение конструкции каморы.The aim of the invention is to improve the research accuracy and simplify the design of the chamber.

Это достигаетс тем, что в предлагаемом микроскопе охлаждаемый цилиндр установлен с возможностью перемещени вдоль оси держател , в камеру введены высоковольтные вводы, один из которых посредством скольз щего контакта соединен с охлаждаемым цилиндром, а другой также посредством скольз щего контакта соединен с провод щим слоем экрана, который электрически изолирован от корпуса стекл нным кольцом.This is achieved by the fact that in the proposed microscope the cooled cylinder is mounted for movement along the holder axis, high-voltage bushings are inserted into the chamber, one of which is connected to the cooled cylinder by means of a sliding contact, and the other is connected to a conductive screen layer by means of a sliding contact, which is electrically isolated from the body by a glass ring.

На чертеже показано предлагаемое устройство .The drawing shows the proposed device.

Здесь обозначено: 1 - люминесцентный слой экрана, 2 - провод щий слой экрана, 3 - коваровое кольцо, 4 - фланцевое уплотнение , 5 - стекло, 6 - высоковольтный ввод, 7 - скольз щий контакт, 8 - высоковольтный ввод, 9 - скольз щрп контакт, 10 - охлаждаемый цилиндр, 11-образец-острие, 12-ножка образца.Here is indicated: 1 - luminescent layer of the screen, 2 - conductive layer of the screen, 3 - coarse ring, 4 - flange seal, 5 - glass, 6 - high-voltage input, 7 - sliding contact, 8 - high-voltage input, 9 - slippery contact, 10 - cooled cylinder, 11 sample tip, 12 sample leg.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Высокое наир жение через высоковольтные вводы 6 и 8 при помощи скольз щего контакта 7 подводитс через коваровое кольцо 3 к провод щему слою 2 на экране, причем сам экран электрически изолирован от фланца, на котором он размен1ен, стекл нным кольцом, а дл сохранени однородного пол у поверхности остри 11 на ножку 12 надеваетс охлажденный цилиндр 10, также соединенный скольз щим контактом 9 с высоковольтным вводом 8.High voltage through the high-voltage bushings 6 and 8 through the sliding contact 7 is supplied through the covort ring 3 to the conductive layer 2 on the screen, and the screen itself is electrically isolated from the flange on which it is exchanged, with a glass ring on the surface of the tip 11, a cooled cylinder 10 is put on the leg 12, also connected by a sliding contact 9 to the high-voltage input 8.

Съемный экран выполнен следующим образом . Люминесцентный слой 1 нанесен на црозрачный провод щий слой 2, который находитс в электрическом контакте с коваровым кольцом 3. Дл электрической изол ции экраRemovable screen is made as follows. The luminescent layer 1 is deposited on a transparent conductive layer 2 which is in electrical contact with the covort ring 3. For electrically insulating the screen