SU523905A1 - Фосфорсодержащие арилазиды в качестве светочувствительных компонентов фоторезистов - Google Patents

Фосфорсодержащие арилазиды в качестве светочувствительных компонентов фоторезистов

Info

Publication number
SU523905A1
SU523905A1 SU2072958A SU2072958A SU523905A1 SU 523905 A1 SU523905 A1 SU 523905A1 SU 2072958 A SU2072958 A SU 2072958A SU 2072958 A SU2072958 A SU 2072958A SU 523905 A1 SU523905 A1 SU 523905A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
photoresists
phosphorus
containing aryl
photosensitive components
aryl azides
Prior art date
Application number
SU2072958A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Константинович Скворцов
Андрей Васильевич Ельцов
Татьяна Андреевна Юрре
Наталья Алексеевна Семеркина
Original Assignee
Ленинградский Ордена Трудового Красного Знамени Технологический Институт Имени Ленсовета
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Ордена Трудового Красного Знамени Технологический Институт Имени Ленсовета filed Critical Ленинградский Ордена Трудового Красного Знамени Технологический Институт Имени Ленсовета
Priority to SU2072958A priority Critical patent/SU523905A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU523905A1 publication Critical patent/SU523905A1/ru

Links

SU2072958A 1974-11-04 1974-11-04 Фосфорсодержащие арилазиды в качестве светочувствительных компонентов фоторезистов SU523905A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2072958A SU523905A1 (ru) 1974-11-04 1974-11-04 Фосфорсодержащие арилазиды в качестве светочувствительных компонентов фоторезистов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2072958A SU523905A1 (ru) 1974-11-04 1974-11-04 Фосфорсодержащие арилазиды в качестве светочувствительных компонентов фоторезистов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU523905A1 true SU523905A1 (ru) 1976-08-05

Family

ID=20600055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2072958A SU523905A1 (ru) 1974-11-04 1974-11-04 Фосфорсодержащие арилазиды в качестве светочувствительных компонентов фоторезистов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU523905A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8053336B2 (en) * 2008-11-12 2011-11-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method for reducing chip warpage

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8053336B2 (en) * 2008-11-12 2011-11-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method for reducing chip warpage
US8455999B2 (en) 2008-11-12 2013-06-04 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method for reducing chip warpage

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE399574C (sv) Sett for framstellning av fluffmassa
DK429175A (da) Katalysatorer til hydroomdannelse af carbonhydrider
SE403630B (sv) Forfarande vid framstellning av flortyg
SE420313B (sv) Forfarande for framstellning av metyl-5-propyltio-2-bensimidazolkarbamat
DK249975A (da) Fremgangsmade til fremstilling af 8-thiomethylergolin-forbindelser
DK464175A (da) Fremgangsmade til kontinuerlig fremstilling af lineere polyestere
SE404804B (sv) Sett att framstella 18-metyl-19-nor-20-ketopregnaner
DK254975A (da) Fremgangsmade til fremstilling af aminotetralolforbindelser
DK263675A (da) Fremgangsmade til esterifikation af en aminocarboxylsyre
FR2300082A1 (fr) Derives de bis(hydroxyphenylalcanoyloxy-2 p
IT1037632B (it) Mezzo di fissaggio
SE404528B (sv) Sett att framstella 1alfa-hydroxisteroider
SE7513680L (sv) Sett for genomforande av okad kylning polymerisationssatser
DK535275A (da) Substituerede ureidoforbindelser
SE404360B (sv) Sett att framstella 2-nitrobensaldehyd
SU523905A1 (ru) Фосфорсодержащие арилазиды в качестве светочувствительных компонентов фоторезистов
SE402458B (sv) Sett att framstella nya 2-amino-6-dialkylamino-dihydropyridiner
SE407361B (sv) Forfarande for sammanfogning av delar av polyvinylidenfluorid
BR7504813A (pt) Conjunto de projetores para veiculo
SE432092B (sv) Sett for genomforande av koronareaktioner
SE7513879L (sv) Forfarande for syntes av karbamider
SE7605131L (sv) Sett att framstella 3-acyloximetyl-cefemforeningar
DK143650C (da) Fremgangsmaade til fremstilling af bis-(2-pyridyl-1-oxid)-disulfid
SE7613122L (sv) Sett att framstella 4-klor-2-butynyl-m-klorkarbanilat
SU502027A1 (ru) Способ определени токсичности холерагена