SU509832A1

SU509832A1 - Hot-wire sensor

Info

Publication number: SU509832A1
Application number: SU1992384A
Authority: SU
Inventors: Мадияр Фахретдинович Зарипов; Константин Васильевич Кумунжиев; Анатолий Федорович Романченко
Original assignee: Уфимский авиационный институт им.Орджоникидзе
Priority date: 1974-01-25
Filing date: 1974-01-25
Publication date: 1976-04-05

Description

1one

: Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано при |иэмерениитурёулентности, «--идкостей и гаlaoB в аэрогидродинамике,: The invention relates to a measuring technique and can be used in the measurement of urination, "- liquids and halaoB in aero-hydrodynamics,

.1 Известны термоанемометрические дат.1 Thermo-anemometric dates are known.

1чики, содержащие .подложку из электроизо п ционного материала, на торпе которой ;наиесена тонка металлическа пленка и электрод, расположенный на оси подложки. 1chiki, containing a substrate made of an electrically insulating material, on the top of which there is a thin metal film and an electrode located on the axis of the substrate.

Цель изобретени - обеспечение про (странственной разрешающей способности (Путем уменьшени поверхности контакта до точки. Это достигаетс тем, что элеК трод, расположенный по оси подложки, |выполнен заостренным и острым концом ;прикреплен к металлической пленке. The purpose of the invention is to provide a pro (spatial resolution (by reducing the contact surface to a point. This is achieved by the fact that an elektrod located along the substrate axis) is made with a pointed and sharp end; attached to a metal film.

На чертеже представлен термоанемомет рический датчик.The drawing shows a thermo-anemometric sensor.

Термоанемометрический датчик содер жит чувствительный элемент 1 в виде тонкой металлической пленки, нанесенной jga..торец цилиндрической подложки 2, изA hot-wire anemometer sensor contains a sensitive element 1 in the form of a thin metal film applied jga..to the end of a cylindrical substrate 2 of

электроизол ционного материала и два токоподвода 3 и 4. Электрод 4, расположенный по оси подложки, выполнен заост ренным и острым концом прикреплен к металлической пленке.an electrically insulating material and two current leads 3 and 4. Electrode 4, located along the substrate axis, is made with a pointed and sharp end attached to a metal film.

Датчик работает следующим образом. Измерительный ток, пропорциональный скорости действующего на термоэлектрический датчик потока жидкости или газа, протекает через чувствительный элемент 1, представл ющий собой тонкую металлическую пленку. Площадь кругового сечени металлической пленки уменьшаетс The sensor works as follows. A measuring current proportional to the velocity of a liquid or gas flow acting on a thermoelectric sensor flows through a sensitive element 1, which is a thin metal film. The circular area of the metal film is reduced.

по мере приближени к центральному электроду 4. Это приводит кУвели ению электрического сопротивлени пленки, росту плотности измерительного тока и ра-- зогреву металлической пленки в месте ееas it approaches the central electrode 4. This leads to an increase in the electrical resistance of the film, an increase in the density of the measuring current and the heating of the metal film in its place

;контакта с центральным электродом. Площадь разогретого участка металлическойcontact with the central electrode. The area of the heated metal site

Пленки (пространственна разрешающа ..Films (spatial resolution ..

;способнасть) обеспечиваетс за счет вы« бора необходимой толщины пленки 1 иability) is provided by selecting a boron of the required thickness of the film 1 and

: величины площади контакта с централь-: area of contact with the central

JHbiM электродом 4.JHbiM electrode 4.

Claims

Invention Formula

Thermoanemometric sensor containing a substrate made of an electroplating material, on the end of which a thin metal film and an electrode located along the axis of the substrate are deposited, characterized in that in order to ensure a transient resolution by reducing the contact surface to a point, along the axis of the substrate, is made with a pointed and sharp end attached to a metal film.