SU500370A1 - Ultrahigh vacuum installation - Google Patents

Ultrahigh vacuum installation

Info

Publication number
SU500370A1
SU500370A1 SU1907887A SU1907887A SU500370A1 SU 500370 A1 SU500370 A1 SU 500370A1 SU 1907887 A SU1907887 A SU 1907887A SU 1907887 A SU1907887 A SU 1907887A SU 500370 A1 SU500370 A1 SU 500370A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
vacuum
helium
nitrogen
cryocondensation
vessels
Prior art date
Application number
SU1907887A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Марксэн Петрович Ларин
Original Assignee
Ленинградский Ордена Ленина Политехнический Институт Им. М.И.Калинина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Ордена Ленина Политехнический Институт Им. М.И.Калинина filed Critical Ленинградский Ордена Ленина Политехнический Институт Им. М.И.Калинина
Priority to SU1907887A priority Critical patent/SU500370A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU500370A1 publication Critical patent/SU500370A1/en

Links

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

(54) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА(54) SUPER-HIGH-VACUUM INSTALLATION

1one

Изобретение касаетс  вакуумной техники.The invention relates to vacuum technology.

Известны свёрхвьюоковакуумные устанрв-ки , содержащие помеченный в вакуумную полость реципиент, соединенньй с гелиевым крноконденсапионным и высоковакуумным g диффузионным насосами, гелиевый и азотныйсосуды , подключенные к криоконденсааионно- му насосуKnown for overhead vacuum installations, containing a recipient labeled in a vacuum cavity, connected to a helium condenser and high vacuum g diffusion pumps, helium and nitrogen vessels connected to a cryocondensation ion pump.

Однако эти установки не обеспечивают достаточной экономичности при работе и |0 спохсны в обслуживании, так как криоповер1Хности охлаждаютс  вынесенными за пределы установки устройствами.However, these installations do not provide sufficient profitability during operation and | 0 are efficient in service, since cryopovers are cooled by devices placed outside the installation.

Цель изобретени  - повышение экономичности и упрощение обслуживани  установки. |jThe purpose of the invention is to increase the efficiency and simplify maintenance of the installation. | j

Это достигаетс  тем, что сосуды помешены внутрь вакуумной полости, и гелиевый сосуд выполнен цилиндрическим и расположен по оси азотного сосуда.This is achieved by the fact that the vessels are placed inside the vacuum cavity, and the helium vessel is cylindrical and located along the axis of the nitrogen vessel.

На фиг. 1 схематически изображена опи-2в сываема  сверхвысоковакуумна  установка; на фиг. 2 - разрез разрез А.-А на фиг. 1.FIG. 1 shows schematically an opi-2v ultra high vacuum mounting system; in fig. 2 shows a section through section A.-A in FIG. one.

Установка содержит высойОЬакууйнын диффузионный насос 1, гелиевый криоконденсацнонный насос 2, реципиент. состо1пиий из 35The installation contains a high-vacuum diffusion pump 1, a helium cryocondensation pump 2, a recipient. state of 35

исследовательской камеры 3 и камеры-криостата 4 с держателем образца 5, которые стыкуютс  одна с другой фланцевыми совдйнени$1ми 6,7 и 8 н образуют сверхвысоко вакуумируемую колонну, котора  помешена :в цилиндрическуто обечайку 9, снабженную плоским днишем Юн верхней крышкой 11,research chamber 3 and cryostat chamber 4 with sample holder 5, which are joined to each other by flange joints $ 1 and 6.7 and 8 n, form an ultrahighly evacuated column, which is: in a cylindrical shell 9, fitted with a flat bottom Yun top cap 11,

В свободное от сверхвысоковакуумируе мой колонны пространство вакуумной поло :сти помешен гёлиеиьгй сосуд 12, выполне1| ныЛ цилиндрическим и распешоженный по .:оси азотного сосуда 13. Сосуд 12 ti 13 .соединены нижней частью с. соответствутов;щими л- вушками криоконденсационного нан coca 2 трубками 14 и 15, по которьтм осушествлйетс  их посто нна  подпитка хладагентами. В вакуумной полости размЬ щены также соОуды 16 и 17 с жидким азотом, которые соединены со змеевиками охлаждени  корпусов камер 3 и 4. Вакуумна  полость подключена к высоковакуумно му диффузионному насосу 18 с вентилем 19.In the vacuum polo-free space of the ultrahigh vacuum column: STI, a hölieiyi vessel 12 is placed, completed1 | Cylindrical and unwound along the axis of the nitrogen vessel 13. The vessel 12 ti 13. are connected to the lower part of the c. corresponding tubes; cryocondensation nanoca 2 tubes 14 and 15, through which they are constantly fed with refrigerants. In the vacuum cavity, the spOles 16 and 17 with liquid nitrogen, which are connected to the cooling coils of the bodies of chambers 3 and 4, are also diluted. The vacuum cavity is connected to a high vacuum diffusion pump 18 with a valve 19.

Claims (1)

Вклкзчают диффузионные и-асосы I и 1в, Пр |юстижении давлени  в йо у -мнЬй (П:Ч7 jCTH не BbJuie и в сверхвакууми .уруемой колон|(в 10 - 10 тор осущ&ctBflfflOT- цикл колонны, если в 0ТОМ есть нвебходимость (така  }Гео6ходи мость по овл етс , еоли колонна длительио© врем  была разгерметизирована). Еей« же цикл. прогрева не нужен, то по до ё111Же ки указанных уровней вакуума зат лают, жидкий аэрт в сосуды 13, 16 и 17 fno верхним патрубкам, уплотн ющимс  в Крышке 11. Жидкий азот по мере заполне 1г (и  сбсудов поступает по трубкам в змееви-) охлаждений корпусов насоса 2, камер 3 I и 4 и азотнъгх ловушек криоконденсаШ1онно ;го насоса и посто нно подпитывает их по « (принципу сообшаюшихс  сосудов. По достижении корпусом криоконденсациЬнц ного- насоса 2 и азотных ловушек темпера- / туры жидкого азота заливают жидкий гелий| в сосуд 2,1Йвтор|лЙпеирйнцт1у ьсообшаю- « - -.. --, , -,,„1 ., Л тих(   сосупов пос;тупает в гелиевус- лпвушку криоконденсационного нвсосо 2, и как только температура ее снизитс  до 4,2 К, вакуум ia репжгшвнте повыситс  еще не не ,с впько пор дков. Формула изобретени  - Сверхвысоковакуумна  установйа, содер жаща  помешенный в.: вакуумную-полость ,реципиент, соединенный с гелиевым криокой денсационным и высоковакуумным ди4фузио«ным насосами, гёлиевыЛ и азотный сосуды; подключенные к|МЙЗ{б1аЬеисацИбЙнЬЙ унасо; су, отличающа с  тем, что, с целью повышени  экономичности и упрощени  обслуживани , сосуды помещены внутрь вакуумной полости, и гелиевый сосуд выполнен цилиндрическим и расположен по1оси| азотного сосуда.The diffusion i-pumps 1 and 1c are turned on, the pressure is reduced in yo-masses (P: Ch7 jCTH is not BbJuie and in supervacuum columns) (in 10 - 10 torus impulse & ctBflfflOT- column of the column if there is an output in (such a) Geo-repeatability is overwhelming, if the column was unsealed, it didn’t need warm-up, then at these levels of vacuum it was decayed, liquid liquid wasted into the vessels 13, 16 and 17 fno. , sealing in the cover 11. Liquid nitrogen as it fills 1g (and ssudov enters the tubes in the serpentine) cooling of the pump housing 2, cam p 3 I and 4 and the cryocondensation traps of the cryocondensation pump; and the pump constantly feeds them according to "(the principle of communicating vessels. Upon reaching the cryocondensation of the foot pump 2 and nitrogen traps, the temperature / liquid nitrogen is poured into liquid helium | 2.1V | Liepereunt1oosobshayu- “- - .. -,, - ,,„ 1.., L quiet (sopupov pos; blunt in helium-freezer of cryocondensation nvsoso 2, and as soon as its temperature drops to 4.2 K, vacuum ia rep The rise is not yet not wrong. The claims of the invention are Ultrahigh vacuum installation, containing the obsessed in: vacuum-cavity, the recipient connected to the helium cryocation and high-vacuum diffusion pumps, helium and nitrogen vessels; connected to | MYS {biacetas unaso; Su, characterized in that, in order to increase efficiency and simplify servicing, the vessels are placed inside the vacuum cavity, and the helium vessel is cylindrical and located | nitrogen vessel.
SU1907887A 1973-04-17 1973-04-17 Ultrahigh vacuum installation SU500370A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1907887A SU500370A1 (en) 1973-04-17 1973-04-17 Ultrahigh vacuum installation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1907887A SU500370A1 (en) 1973-04-17 1973-04-17 Ultrahigh vacuum installation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU500370A1 true SU500370A1 (en) 1976-01-25

Family

ID=20549589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1907887A SU500370A1 (en) 1973-04-17 1973-04-17 Ultrahigh vacuum installation

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU500370A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3137551A (en) Ultra high vacuum device
GB1068165A (en) Improvements in sorption vacuum pumps
US3262279A (en) Extreme high vacuum apparatus
US2871669A (en) Radiation shield circulation system for large liquefied gas storage containers
US3571677A (en) Single bellows water-cooled vehicle capacitors
SU500370A1 (en) Ultrahigh vacuum installation
US3390536A (en) Cryogenic pumping apparatus
US3149775A (en) Vacuum system
SU1682628A1 (en) Cryoabsorption pump
US3172748A (en) Sorption pump
US3446422A (en) Ultra-high vacuum device
US3867260A (en) Mass transfer condenser, particularly for use with fermenting vessels
US3344979A (en) Diffusion-pump construction
US3512369A (en) Ultrahigh-vacuum enclosure
CA1322273C (en) Method for the manufacture of a vacuum insulating structure and an insulating structure so produced
US3304731A (en) High vacuum cold trap
GB1140798A (en) Improvements in and relating to high vacuum pumps
US3330125A (en) Cryogenic method
US2336764A (en) Pump
SU421864A1 (en) CRYOSTAT FOR LIQUID HELIUM
US2135883A (en) Electric discharge apparatus
US2943783A (en) Heater for a diffusion pump
CN211977316U (en) Refrigerant tank capable of improving refrigeration compression efficiency
US3377495A (en) Glow discharge apparatus having a stacked array of magnets
SU1116265A1 (en) Cryostat