SU493657A1

SU493657A1 - Temperature sensor

Info

Publication number: SU493657A1
Application number: SU2039699A
Authority: SU
Inventors: Виктор Константинович Костерев; Глеб Афанасьевич Фомин; Вадим Иванович Иванов; Зоя Евгеньевна Ефишова; Татьяна Ивановна Павлинова
Original assignee: Предприятие П/Я В-8495
Priority date: 1974-07-03
Filing date: 1974-07-03
Publication date: 1975-11-28

Description

1one

Изобретение относитс к области измерительной техники.The invention relates to the field of measurement technology.

Известны датчики дл измерени температуры поверхности, содержащие керамическую пластину с отверсти ми дл проволочных электродов термопары.Sensors for measuring surface temperature are known that contain a ceramic plate with holes for thermocouple wire electrodes.

Цель изобретени - упрощение креплени электродов термопары и повыщение надежности устройства.The purpose of the invention is to simplify the mounting of thermocouple electrodes and increase the reliability of the device.

Дл этого гор чий спай термопары помещен в конусное отверстие, наход щеес в пластине между отверсти ми дл электродов термопары , причем электроды термопары пропущены через отверсти в форме петли.For this, the hot junction of the thermocouple is placed in the tapered hole located in the plate between the holes for the thermocouple electrodes, and the thermocouple electrodes are passed through the holes in the shape of a loop.

На чертеже схематически изображен датчик дл измерени температуры.The drawing shows schematically a sensor for measuring temperature.

Датчик содержит пластину 1, например, из кремни , котора защищена пленкой 2 (Si02), преп тствующей образованию при нагреве эвтектики платины с кремнием. Гор чий спай 3, например, платинородиевой термопары помещен в конусное отверстие 4, выполненное в пластине между отверсти ми 5 дл проволочных электродов 6.The sensor contains a plate 1, for example, of silicon, which is protected by a film 2 (SiO2), which prevents the formation of platinum-silicon eutectic when heated. A hot junction 3, for example, a platinum-rhodium thermocouple, is placed in a tapered hole 4 made in the plate between the holes 5 for wire electrodes 6.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Погруженный в тело пластины 1 и плотноприлегающий к боковым стенкам конусного отверсти 4 рабочий спай 3 термопары воспринимает тепло окружающей его поверхности как излучением, так и теплопроводностью при непосредственнО М контакте. Плотность прилегани рабочего спа к боковым стенкам отверсти при нагреве возрастает, так как коэффициент линейного расщирени платинородиевого сплава выще, чем кремни . Следовательно , услови теплообмена между термопарой и кремниевой пластиной улучшаютс . Поток тепла от участка пластины, температуру которого измер ют, по проволоке термоэлектродов 6 сводитс к минимуму за счет прогрева термоэлектродов в отверсти х, в которых проволока термоэлектродов находитс на длине, равной не менее 5-10 своих диаметров , в услови х, близких к изотермическим .The working junction 3 of the thermocouple immersed in the body of the plate 1 and tightly attached to the side walls of the tapered hole 4 accepts heat from the surrounding surface both by radiation and by thermal conductivity with direct M contact. The density of adhesion of the working spa to the side walls of the hole increases with heating, since the linear expansion coefficient of the platinum-rhodium alloy is higher than silicon. Therefore, the heat exchange conditions between the thermocouple and the silicon wafer are improved. The heat flow from the plate section, whose temperature is measured, over the wire of thermoelectrodes 6 is minimized by heating the thermoelectrodes in the holes in which the wire of the thermoelectrodes is at a length of at least 5-10 of its diameters under conditions close to isothermal .

. Предмет изобретени . Subject invention

Датчик дл измерени температуры, содержащий керамическую пластину с отверсти ми дл проволочных электродов термопары, отличающийс тем, что, с целью упрощени креплени электродов термопары и иовыщенп надежности устройства, гор чий спай термопары помещен в конусное отверстие, выполненное в пластине и расположенное между отверсти ми дл электродов термопары, причем электроды термопары пропущены через отверсти в форме петли. 5A sensor for measuring temperature, comprising a ceramic plate with holes for thermocouple wire electrodes, characterized in that, in order to simplify the mounting of thermocouple electrodes and improve device reliability, the thermocouple hot junction is placed in a tapered hole made in the plate thermocouple electrodes, and the thermocouple electrodes are passed through holes in the shape of a loop. five