SU491734A1 - - Google Patents
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- SU491734A1 SU491734A1 SU1716471A SU1716471A SU491734A1 SU 491734 A1 SU491734 A1 SU 491734A1 SU 1716471 A SU1716471 A SU 1716471A SU 1716471 A SU1716471 A SU 1716471A SU 491734 A1 SU491734 A1 SU 491734A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1716471A SU491734A1 (ja) | 1971-11-18 | 1971-11-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1716471A SU491734A1 (ja) | 1971-11-18 | 1971-11-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU491734A1 true SU491734A1 (ja) | 1975-11-15 |
Family
ID=20493632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1716471A SU491734A1 (ja) | 1971-11-18 | 1971-11-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU491734A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4107711A1 (de) * | 1991-03-09 | 1992-09-10 | Leybold Ag | Verfahren zum dotieren von grundmaterial mit dotiermaterial, zur herstellung einer chemischen verbindung oder einer legierung unter verwendung einer zerstaeubungskatode und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
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1971
- 1971-11-18 SU SU1716471A patent/SU491734A1/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4107711A1 (de) * | 1991-03-09 | 1992-09-10 | Leybold Ag | Verfahren zum dotieren von grundmaterial mit dotiermaterial, zur herstellung einer chemischen verbindung oder einer legierung unter verwendung einer zerstaeubungskatode und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
DE4107711C2 (de) * | 1991-03-09 | 1999-11-11 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung dotierter Schichten oder chemischer Verbindungen oder Legierungen mittels einer Magnetronkathode |