Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8657filedCriticalПредприятие П/Я В-8657
Priority to SU1941093ApriorityCriticalpatent/SU489775A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU489775A1publicationCriticalpatent/SU489775A1/ru
3 Сравнительные данные свойств известного защитного состава и оиисываемого приведены в таблице. Поет,мет изобретени Состав дл временной защиты полупроводниковых пластин при резке их на кристаллы, содержащий поливинилацетат и низший спирт. 4 отличающийс тем, что, с целью сокращени времени сушки и исключени набухани пленки при обработке пластин водными суспензи ми, он дополнительно содержит метакриловую кислоту при следующем соотношении комнонентов, вес. ч.: Поливинилацетат8,7-11,1 Метакрилова кислота5,4-6,7 Низший спирт100.
SU1941093A1973-06-251973-06-25Состав дл временной защиты полупроводниковых пластин
SU489775A1
(ru)