каторного растра 2, выполиенный, например, в виде датчика перемещени индикаторного растра 2, формирователь 7 опорных импульсов с в моменты перехода индикаторным растром 2 через ось сканировани , соответствующую его среднему положению, блок 8 измерени временных интервалов и блок 9 определени отношени временных интервалов. Растровое сопр жение датчика 1 может быть выполнено, например, фотоэлектрическим с источником 10 и приемником М света . Предлагаемый способ измерени заключаетс в следующем. С помощью привода 4 индикаторному растру 2 сообщают колебательное движение, чем обеспечиваетс сканирование растра 2 относительно измерительного растра 3. Это сканирование производит модул цию потока, например светового, проход щего через растры 2 и 3 от источника 10 к приемнику И. Совпадению зрачков растров 2 и 3 соответствуют положительные пики выходного сигнала d на выходе приемника 11 датчика 1, а перекрытию зрачков растров 2 и 3 соответствуют отрицательные пики этого сигнала. В области линейной зависимости перемещени растра 2 от времени перемещени растра 2 на одИН шаг датчика 1 соответствует один период выходного сигнала d датчика 1. Этот период включает в себ один положительный и один отрицательный пики сигнала d. При помощи датчика 6 получают опорный сигнал а, соответствующий перемещению индикаторного растра 2. Максимальному перемещению растра 2 вправо от оси сканировани (т. е. оси колебаний растра 2) соответствует восход ща положительна ветвь графика сигнала а. Перемещению растра 2 влево соответствует уменьщение сигнала а. Ам плитуду колебаний индикаторного растра 2 устанавливают больше половины шага датчика. Например, при максимальном перемещении растра 2 вцраво от оси сканировани возникают два отрицательных пика сигнала d и между ними один .положительный пздк (фиг. 2). Это означает, что в этом случае амплитуда колебаний индикаторного растра 2 составл ет, примерно, полтора шага датчика 1. С помощью формировател 7 сначала преобразуют сигнал а в пр моугольные импульсы 6, от переднего и заднего фронта которых формируют опорные импульсы с в моменты перехода растром 2 через ось сканировани . При этом опорные импульсы с, сформированные от переднего фронта импульсов Ь, соответствуют направлению сканировани растра 2 вправо, а опорные им1пульсы с, сформированные от заднего фронта импульсов Ь, соответствуют направлению сканировани растра 2 влево. С помощью формировател 5 формируют импульсы е полушага датчика 1 через каждый полупериод его выходного сигнала d. Например , импульсы е можно формировать в моменты перехода сигнала d через уровень, равноотсто щий от максимального и минимального уровней сигвала d. С помощью измерительного генератора эталонной частоты (не показан), вход щего в состав блока 8, измер ют временной интервал tg полушага датчика 1, ограниченный двум соседними импульсами е полушага датчика 1 и включающий в себ момент возникновени опорного импульса с. Одновременно с этим измер ют часть этого интервала , а именно интервал ь между одной из границ интервала tg и моментом возникновени опорного импульса с на этом интервале g. Интервал /i соответствует искомому .перемещению . Случай измерени интервала ti, показанный на фиг. 2 в качестве примера, соответствует перемещению индикаторного растра 2 вправо. В ав зи с этим измер етс интервал tg, на котором возник импульс с, сформированный от переднего фронта импульса Ь. Измерение интервалов ti и tg производ т следующим образом. При возникновении очередного импульса е сначала гас т счетчик импульсов (не показан ), вход щий в блок 8, а затем начинают подсчитывать этим счетчиком имюульсы / эталонной частоты, подаваемые от измерительного генератора, вход щего в блок 8. В момент возникновени опорного импульса с интерв.ал t оказываетс измеренным количестаом т импульсов f. Число m из счетчика передают в блок 9. Далее счетчик продолжает счет импульсов до момента по влени соседнего импульса е. В этот момент прекращают подачу импульсов f в счетчик, но не гас т его. Интервал tg оказываетс измеренным количеством импульсов /. Далее число п передают из счетчика в блок 9, с помощью которого определ ют отношение ti/tg m/n, соответствующее искомому перемещению, выраженному в дол х шага датчика 1. Значение искомого перемещени в любых требуемых единицах можно найти также в блоке 9, умножив отношение min на цену шага датчика 1, выраженную в требуемых единицах. Предмет изобретени Способ измерени перемещений при помои датчика, выполненного в виде растрового опр жени с возможностью возвратнонпостуательного сканировани индикаторного астра, отличающийс тем, что, с целью овышени точности и скорости измерений, станавливают амплитуду сканироваии болье половины шага датчика, формируют соотетствуюшие направлению сканировани опорые импульсы в моменты перехода индикаорного растра через ось сканировани , в аждый полупериод выходного сигнала датчика формируют импульсы полушага, измер ют временной интерв:ал, ограниченный двум соседними импульсами полушага и включаюш ,ий в себ момент возникновени опорного импульса, измер ют часть этого интервала 5 the caster screen 2, made, for example, in the form of an indicator raster movement sensor 2, a driver 7 of reference pulses c at the moments of transition of the indicator raster 2 through a scanning axis corresponding to its average position, a time interval measurement unit 8 and a time ratio ratio determining unit 9. The raster coupling of sensor 1 can be performed, for example, photoelectric with source 10 and receiver M of light. The proposed measurement method is as follows. Using the actuator 4, the indicator raster 2 is reported to oscillate, which ensures scanning of the raster 2 relative to the measuring raster 3. This scanning modulates the flow, for example, light passing through rasters 2 and 3 from source 10 to receiver I. Coincidence of pupils of rasters 2 and 3, the positive peaks of the output signal d at the output of the receiver 11 of sensor 1 correspond, and the overlap of the pupils of rasters 2 and 3 correspond to the negative peaks of this signal. In the area of the linear dependence of the raster 2 movement on the time of raster 2 moving, one sensor step 1 corresponds to one period of the output signal d of sensor 1. This period includes one positive and one negative peaks of the signal d. Using sensor 6, a reference signal a is obtained corresponding to the movement of the indicator raster 2. The maximum movement of the raster 2 to the right of the scanning axis (i.e. the axis of oscillation of the raster 2) corresponds to the upward positive branch of the signal graph a. Moving raster 2 to the left corresponds to decreasing the signal a. The amplitude of oscillations of the indicator raster 2 is set to more than half the sensor pitch. For example, when the raster 2 is maximally moved away from the scan axis, two negative peaks of the signal d appear and between them one positive psdk (Fig. 2). This means that in this case, the oscillation amplitude of the indicator raster 2 is approximately one and a half steps of sensor 1. With the help of shaper 7, the signal a is first converted into rectangular pulses 6, from the front and rear edges of which they form reference pulses c at the moments of transition by raster 2 through the scan axis. In this case, the reference pulses c, formed from the leading edge of the pulses b, correspond to the scanning direction of raster 2 to the right, and the reference pulses of c, formed from the trailing edge of the pulses b, correspond to the scanning direction of the raster 2 to the left. Using the imaging unit 5, pulses e of the half-step of sensor 1 are formed through each half-period of its output signal d. For example, the pulses e can be formed at the instants of the transition of a signal d through a level equidistant from the maximum and minimum levels of the segawa d. The time interval tg of the half-step of sensor 1, limited to two adjacent pulses e of the half-step of sensor 1 and including the instant of the occurrence of the reference pulse c, is measured using a reference frequency measuring generator (not shown) included in block 8. At the same time, a part of this interval is measured, namely, the interval between one of the boundaries of the interval tg and the moment of occurrence of the reference pulse with on this interval g. The interval / i corresponds to the desired displacement. The case of measuring the interval ti shown in FIG. 2, as an example, corresponds to moving the indicator raster 2 to the right. In this connection, the interval tg is measured, on which a pulse c originated, formed from the leading edge of the pulse b. The intervals ti and tg are measured as follows. When a next pulse occurs, e first extinguishes the pulse counter (not shown) included in block 8, and then start counting with this counter the pulses / reference frequency supplied from the measuring generator included in block 8. At the moment the reference pulse occurs, the interval .al t is the measured number of pulses f. The number m from the counter is passed to block 9. Next, the counter continues counting the pulses until the next pulse appears, e. At this point, the pulses f are not fed into the counter, but do not go out. The interval tg is the measured number of pulses. Next, the number n is transferred from the counter to block 9, with which the ratio ti / tg m / n is determined, corresponding to the desired displacement expressed in steps of sensor 1. The value of the desired displacement in any required units can also be found in block 9 by multiplying the ratio of min to the price of the sensor 1 step, expressed in the required units. Subject of the Invention A method for measuring movements using a sensor in the form of raster scanning with the possibility of returning a scan of indicator aster, characterized in that, in order to increase the accuracy and speed of measurements, the amplitude of scanning of more than half of the sensor pitch is formed, the pulses corresponding to the scanning direction moments of transition of the indicator raster through the scanning axis, in each half period of the sensor output signal pulses form a half-step, measure time interval: a, limited by two adjacent pulses of the half-step and including, the moment of the occurrence of the reference pulse, a part of this interval 5 is measured
между одной из его границ и моментом возникновени опорного имлульса на этом интервале и определ ют отношение измеренного значени части интервала к измеренному значению всего интервала.the ratio of the measured value of a part of the interval to the measured value of the entire interval is determined between one of its boundaries and the moment of the occurrence of the reference impulse on this interval.
./../.