SU481546A1 - Зондовое устройство - Google Patents
Зондовое устройствоInfo
- Publication number
- SU481546A1 SU481546A1 SU1827709A SU1827709A SU481546A1 SU 481546 A1 SU481546 A1 SU 481546A1 SU 1827709 A SU1827709 A SU 1827709A SU 1827709 A SU1827709 A SU 1827709A SU 481546 A1 SU481546 A1 SU 481546A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- probe
- probes
- probe device
- spring
- dielectric tube
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
Изобретение относитс к области радиотехники и может Ьыть использовано в устройствах дл измерени поверхностного сопротивлени тонких пленок, нанесенньрс термическим испарением в вакууме в произаодстве интегральных микросхем .
Известные зондовые устройства, со- держащие корпус, насадку и подпружиненные стержневые зонды, имеют продольгный прогиб, создающий погрешности при измерении и вызывающий быстрый износ устройства.
Цель изоЬретени уменьшить про-1иь зондов и повысить точность измереПИЙ .
Зто достигаетс тем, что каждый ;к)нд размещен в направл ющей, выпол110ННОЙ в виде зафиксированной в корнус-и диэлектрической трубки, и снабжен
резьПопой втулкой, служницей дл регулировани величи), давлени зонда при гак гн)1овании.
На ч( изображено предлат-аемое .i.iii/i.iiv.;:; устройство.
Оно содержит насадку 1, зонды 2, выполненные из вольфрамовой проволоки , нижние конпы которых проход т через руЬиновые втулки дл перпендикул рного расподожени зондов 2 и посто нного междентрового рассто ни между зондами 2, а верхние концы размешены в направл ющих 3, кажда из которых Выполнена в виде диэлектрической тру- Ьочки, например стекл нной, зафиксированной в конусе 4 Корпуса 5 при помо , щи эпоксидной смолы.
Камодый зонд 2 снаЬжен направл ющей 6, выполненной, например, из фторопласта , фланпем 7, спа нным с зондом 2 и выводным Проводником, пружиной 8, резьбовой втулкой 9, шайбой-изол тором 10, упором 11 и контргайкой 12, служащими дл регулировки давлени зонда при контактировании.
Компенсацию при износе зондов 2 нроизвод т ввинчиванием резььовой EvryJiки 9 в корнус 5.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1827709A SU481546A1 (ru) | 1972-09-04 | 1972-09-04 | Зондовое устройство |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1827709A SU481546A1 (ru) | 1972-09-04 | 1972-09-04 | Зондовое устройство |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU481546A1 true SU481546A1 (ru) | 1975-08-25 |
Family
ID=20526797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1827709A SU481546A1 (ru) | 1972-09-04 | 1972-09-04 | Зондовое устройство |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU481546A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4764722A (en) * | 1985-10-28 | 1988-08-16 | International Business Machines Corporation | Coaxial probe |
-
1972
- 1972-09-04 SU SU1827709A patent/SU481546A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4764722A (en) * | 1985-10-28 | 1988-08-16 | International Business Machines Corporation | Coaxial probe |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU481546A1 (ru) | Зондовое устройство | |
| US1328876A (en) | Measuring instrument | |
| US1650603A (en) | Tension meter | |
| US2210561A (en) | Outer taper gauge | |
| GB239388A (en) | A device for the speedy and accurate charging and discharging of liquids measured bymeans of pipettes | |
| US2651200A (en) | Tank gauge | |
| US2236583A (en) | Measuring device | |
| US1766554A (en) | Device for regulating flow of fluids | |
| US3727318A (en) | Micrometer apparatus | |
| DE1944605A1 (de) | Vorrichtung zur Messung der Rundheit von zylindrischen Werkstuecken | |
| US2267539A (en) | Measuring instrument | |
| US3197873A (en) | Gaging device | |
| US2395851A (en) | Apparatus for measuring highfrequency voltages | |
| US2317715A (en) | Spirit level | |
| US3748891A (en) | Pressure standard | |
| DE349411C (de) | Vorrichtung zum Messen der Temperatur von ruhenden Wicklungen, insbesondere von Hochspannungswicklungen, an elektrischen Maschinen und Apparaten | |
| US1266313A (en) | Indicator for gaging instruments. | |
| SU1401247A1 (ru) | Высотомер | |
| DE939406C (de) | Vorrichtung zur Messung der Schallintensitaet in Fluessigkeiten | |
| GB147987A (en) | Improvements in or relating to measuring or gauging instruments | |
| DE647828C (de) | Anzeigevorrichtung | |
| US3774310A (en) | Feeler for linear gauge | |
| US1256967A (en) | Test-indicator. | |
| US2509073A (en) | Article-working apparatus | |
| US1334915A (en) | Surface-indicator |