SU476409A1

SU476409A1 - Vacuum chamber

Info

Publication number: SU476409A1
Application number: SU1778602A
Authority: SU
Inventors: Валентин Никитович Верба; Анатолий Дмитриевич Чорный
Original assignee: Предприятие П/Я М-5612
Priority date: 1972-04-19
Filing date: 1972-04-19
Publication date: 1975-07-05

Description

1one

Изобретение нредназначено дл еоздаии глубокого вакуума и может найти применение в химической, приборостроительной (дл испытаний приборов в услови х вакуума) и других отрасл х промышленности.The invention is intended for the creation of a high vacuum and can be used in the chemical, instrument-making (for testing instruments under vacuum conditions) and other industries.

Известна вакуумна камера, содержаща основание, крышку п секционный корпус с уплотнитель} ыми фланцами, вакуумиые насосы , систему охлаждени и портал дл обслуживани .A known vacuum chamber comprising a base, a cover, a sectional body with sealing flanges, vacuum pumps, a cooling system, and a portal for servicing.

Известна вакуумна камера не обеспечивает создани глубокого вакуума в больших объемах, т. к. при больших габаритах большое значение приобретают температурные деформации (особенно при термовакуумпой тренировке).The known vacuum chamber does not provide for the creation of a high vacuum in large volumes, since with large dimensions, thermal deformations are of great importance (especially during thermal vacuum training).

Кроме того, из-за жесткой св зи уилотнительных фланцев с секци ми корпуса нередко происход т повреждени уплотнительпых металлических прокладок, что также снижает глубииу вакуума.In addition, due to the tight coupling of the pilot flanges to the housing sections, seals of metal gaskets are often damaged, which also reduces the depth of the vacuum.

Цель изобретени - создание глубокого вакуума в больших объемах.The purpose of the invention is to create a high vacuum in large volumes.

Дл этого предлагаема вакуумна камера снабжена лннзовыми комиенсаторами, соеди 1 юпи1ми ceKiuui, основание и крышку с уплот11ительными фланцами. Кроме того, секции, основание и крышка снабжены нанравл юшими нланками и ловител ми, а нортал снабжен направл юш.ими колоннами.For this, the proposed vacuum chamber is equipped with a loudspeaker, connecting 1 ceKiuui, base and cover with sealing flanges. In addition, the sections, the base and the lid are equipped with nanoscaps and catchers, and the Nortal is equipped with directional columns.

22

На фиг. 1 изображена вакуумна камера, обпип вид; па фиг. 2 - направл ющие коЛ011111 ; п портал, вид в плане; на фиг. 3 - узел I па фнг. 1, (уплотнитель ежат); па фиг. 4 - то же, уплотнитель не сжат; на фиг. 5 - схема вакуумной камеры после монтажа всех элементов по опорным поверхност м кроме псжерхпостн стыка между основанием и первой секцией, т. е. нагрузку воспринимаютFIG. 1 shows a vacuum chamber, obpep view; pas figs. 2 - guides qL011111; n portal plan view; in fig. 3 - node I pa fng. 1, (seal ezhat); pas figs. 4 - the same, the seal is not compressed; in fig. 5 is a diagram of the vacuum chamber after mounting all the elements on the supporting surfaces except for the overgrown joint between the base and the first section, i.e. the load is perceived

Вакуумна камера содерл ит осиование 1, первую секцию 2, вторую секцию 3, третью секцию 4, крышку 5, направл ющие колоины 6 п 7, нацравл ющие пластины 8, которые креп те на секци х 2-4, амортизаторы 9, опорную лану 10, котора закренлена только на первой секции 2, портал 11 (площадку обслуживани ), вакуумные наеосы 12, онорные платпки 13, направл ющие планки 14, ловители 15, несущие обечайки 16, уплотнительные прокладкп 17, линзовые комиенсаторы 18, уплотнительпые фланцы 19, поддержпваюни1е рычагп 20, которые одновременно ориентируют уилотлительпые фланцы 19.The vacuum chamber contains the axis 1, the first section 2, the second section 3, the third section 4, the cover 5, the guide pins 6 and 7, the national plates 8, which are fastened to the sections 2-4, the shock absorbers 9, the support 10 which is fixed only on the first section 2, portal 11 (service platform), vacuum chains 12, onion plates 13, guide bars 14, catchers 15, supporting shells 16, sealing gaskets 17, lens commensers 18, sealing flanges 19, supporting lever 20, which simultaneously guide the pilot flanges 19.

Сборка высоковакуумной камеры ведетс с;1ед ющнм образом.The assembly of the high-vacuum chamber is carried out with; 1 single way.

Опорные поверхпости амортизаторов 9 выдвигаютс в крайнее верхнее положение, на уплотнительном фланце 19 укладываетс уилотнительна прокладка 17, после этого мостовым краном опускаетс перва секци 2, котора направл етс по колоннам 6 и 7 ii окончательно ориептпруетс направл ющпми планками 14 по ловнтел м 15. Секци 2 своими опорными лапами 10 устанавливаетс па амортизаторы 9, обеспечива зазор S (см. фиг. 5), между опорной поверхностью основани 1 и поверхностью платиков 13. В дальнейшем наращивают секции 3 и 4, а также крышку 5, при этом они уже полпостью опираютс своими платиками 13 на соответствующие поверхности, возможные удары см гчаютс амортизаторами 9. После окончательной сборки производ т уплотнение поверхностей по флапцам в любой удобной дл эксплуатационников последовательности и освобождают амортизаторы 9. Линзовые компенсаторы 18 одновременно вл ютс термосонротивлени ми , обеснечнваюпдцми нор ,м1;ль:1ую работу унлотнительных фланцев п;)и -л1С)ецноГ1 температуре.The support surfaces of the shock absorbers 9 are extended to the extreme upper position, a pilot gasket 17 is placed on the sealing flange 19, then the first section 2 is lowered by the bridge crane, which is guided along the columns 6 and 7 ii and finally oriented by the bars 14 and 15. with its supporting paws 10 it is installed on the shock absorbers 9, providing a gap S (see Fig. 5), between the supporting surface of the base 1 and the surface of the platens 13. In the future, sections 3 and 4, as well as the cover 5, are enlarged; their plates 13 are fully supported by their respective surfaces, possible shocks are damped by shock absorbers 9. After the final assembly, the surfaces are sealed in any convenient for operator sequence and the shock absorbers 9 are released. Lens compensators 18 are also thermal resistances, m1; e: the first work of the sealing flanges n;) and -l1C) eCG1 temperature.

Пред м е т изобретени Prevention Invention

1.Вакуумна камера, содержаща основание , крышку и сектгионный корпус с уплотпнтельными фланцами, вакуумные насосы, систему охлаждени и портал дл обслуживани , отличающийс тем, что, с целью создани глубокого вакуума в больших объемах , она снабжена линзовыми компенсаторами , соедин юп1ими секции, основание и крышку с уилотнительными фланцами.1. A vacuum chamber containing a base, a cover and a sectoral body with sealing flanges, vacuum pumps, a cooling system and a portal for service, characterized in that, in order to create a high vacuum in large volumes, it is equipped with lens compensators, joints of the section, the base and cover with pilot flanges.

2.Камера по и. 1, отличающа с тем, что секции, основание и крышка снабжены направл ющими иланками и ловител ми, а портал снабжеп направл ющими колоннами.2. Camera for and. 1, characterized in that the sections, base and cover are provided with guide bars and catchers, and the portal is equipped with guide columns.

Ijj ., piT 1i fIjj. PiT 1i f

..

Л ill 11 1L ill 11 1

-12-12

Фиг.11

rfi..- iI ™ -i--s: i V I I---. U--,.™„ - рг;;-р™;д, X , u-«i;. -j. .-- s ,-i - -----Г -- -- ч 0 1 :1-4 Щй . .J..jyg.-grjgngJ-, jJ Jf-rT.;j --X J - -ад J т-.. t j.--T.-.-rj.:Ag. .liiiA-;-p:, i i --. u 3 RL; --. Jk J« , -.. / ™,« - . - ™7 7™-;-/ / ;-- ..., rfi ..- iI ™ -i - s: i V I I ---. U -,. ™ „- рг ;; - р ™; d, X, u-« i ;. -j. .-- s, -i - ----- G - - h 0 1: 1-4 Sch. .J..jyg.-grjgngJ-, jJ Jf-rT.; J --X J - -ad J t- .. t j.--T.-.-rj.:Ag. .liiiA- ;-p :, i i -. u 3 RL; -. Jk J ", - .. / ™," -. - ™ 7 7 ™ -; - / /; - ...,

t.t.

СП I , , I TxI i I .- -«Hj vtr-W rj i,.U ТНИРИ . :r222rc4fe2TJ3s;:::; rW:ii:SSP I,, I TxI i I .- - “Hj vtr-W rj i, .U TNIRI. : r222rc4fe2TJ3s; :::; rW: ii: S

ТТТТЛТф .UiLiU.iUTTTTLTf .UiLiU.iU

. .

J чл J

оabout

5 five

f%.. f% ..

pl ;:: ;±;ssss3SEa3:sb322s; и pl; ::; ±; ssss3SEa3: sb322s; and