SU476342A1

SU476342A1 - Evaporator for vacuum systems

Info

Publication number: SU476342A1
Application number: SU1921804A
Authority: SU
Inventors: Алексей Николаевич Жунда; Андрис Антонович Колуж; Марат Осипович Розенберг
Original assignee: Специальное Конструкторское Бюро Вакуумных Покрытий При Госплане Латвийской Сср
Priority date: 1973-05-11
Filing date: 1973-05-11
Publication date: 1975-07-05

Description

Нагреватель 1 несет на себе функции экрана . Эффективность действи этого экрана увеличиваетс тем, что он нагрет до высокой темлературы, что вызывает испарение «ак выброшенных на него макрочастиц, так и частиц молекул рного потока. Тем самым такой экран вл етс самоочищающимс .Heater 1 bears the functions of the screen. The effectiveness of this screen is increased by the fact that it is heated to a high temperature, which causes evaporation of both the particulates emitted onto it and the particles of the molecular flow. Thus, such a screen is self-cleaning.

Испаритель работает следующим образом.The evaporator works as follows.

Испар емый металл 3 в виде гранул или обрезков загружаетс через отверсти 3 в контейнер 2. Испаритель иомещают в вакуумную камеру с .издели ми, подлежащими металлизации , получают в ней ра бочее разрежение и подают на контакты 7 и 8 испарител начальное на пр жение, достаточное дл разогрева испар емого металла 9 до темлературы плавлени . При этом ток проходит через нагреватель 1, торцовую крышку 4, контейнер 2 и испар емый металл 9, как показано на эквивалентной электрической схеме,The evaporated metal 3, in the form of granules or scraps, is loaded through the openings 3 into the container 2. The evaporator is placed into the vacuum chamber with products to be metallized, a working vacuum is obtained in it and fed to the initial evaporator 7 and 8 for sufficient voltage to heat the evaporated metal 9 to the melting point. In this case, the current passes through the heater 1, the end cover 4, the container 2 and the evaporated metal 9, as shown in the equivalent electric circuit,

где - сопротивление нагревател ; RK - сопротивление контейнера; - шунтирующее сопротивление испар емого металла.where is the resistance of the heater; RK - container resistance; - shunt resistance of the evaporated metal.

Сопротивление нагревател ,i на пор док превышает сопротивление контейнера RK.The resistance of the heater, i, is in order of magnitude greater than the resistance of the container RK.

Выбор пор дка сопротивлений обеспечивает существенную стабилизацию мощиости, так как лри предопредел ющим в изменении мощности три иеизмеииом напр жении на концах испарител вл етс 1посто нство Rn.The selection of the order of resistance provides a significant stabilization of power, since the prerequisite for a change in power due to three isometric voltage at the ends of the evaporator is the 1 st state of Rn.

Увеличение н на два пор дка или более по сравнению с RK приводит к тому, что дополнительный нагрев контейнера 2 оказываетс малым дл генерации в нем достаточной мощиости.Increasing n by two orders of magnitude or more compared to RK causes the additional heating of container 2 to be small to generate sufficient power in it.

Дл вывода испарител в рабочий режим увеличивают напр жение на контактах 7 и 8 до значени , при которых происходит генераци такого уровн мощности в испарителе, при котором обеспечиваетс заданна температура и, следовательно, скорость испарени металла.To bring the evaporator to the operating mode, the voltage at contacts 7 and 8 is increased to the value at which the generation of such a power level in the evaporator occurs, at which the desired temperature and, consequently, the rate of metal evaporation is maintained.

В рабочем режиме в замкнутой области испарител создаетс избыточное давление паров испар емого металла, соответствующее температуре поверхности испарени , и молекул рный поток через отверсти 3 в контейнере 2 испарител направл етс в вакуумный объе.м камеры, конденсиру сь далее на холодных поверхност х. Поскольку давление паров внутри замкнутого объема практически одинаково , распределение объема испареиного металла по длине испарител будет пропорциональио соотношению площадей сечеии отверстий 3 контейнера 2. Металл 9 эффективио нагреваетс за счетIn the operating mode, in the closed region of the evaporator, an overpressure of the vaporized metal vapor is created corresponding to the temperature of the evaporation surface, and the molecular flow through the openings 3 in the evaporator container 2 is directed into the vacuum chamber volume, condensing further on the cold surfaces. Since the vapor pressure inside the closed volume is almost the same, the volume distribution of the evaporated metal along the evaporator will be proportional to the ratio of the cross-sectional area of the openings 3 of the container 2. The metal 9 is effectively heated due to

теплоты излучени нагревател и контактной теплопередачи от контейнера 2, нагреваемого как потоком лучистой энергии нагревател , так и от выделени тепла в его материале при прохождении через пего электрического тока.heat of radiation of the heater and contact heat transfer from the container 2, which is heated both by the flow of the radiant energy of the heater, and from the heat generated in its material when electric current passes through it.

При этом наиболее перегретой областью испар емого металла будет его поверхность.In this case, the most overheated area of the evaporated metal will be its surface.

Предмет изобретени Subject invention

Испаритель дл вакуумных установок, содержащий нагреватель, источник питани и закрытый контейнер с отверсти ми по образующей и торцовыми крышками, отличающийс тем, что, с целью повышени производительности , стабилизации скорости испарени и исключени вы броса макрочастиц при испарении металла путем создани избыточного давлени паров, снижени шунтирующегоAn evaporator for vacuum installations containing a heater, a power source and a closed container with openings along the generator and end caps, characterized in that, in order to improve performance, stabilize the evaporation rate and eliminate particulate matter during evaporation of the metal by creating an excessive vapor pressure, reduce shunt

действи жидкого металла на электрические параметры исиарител и обеспечени эффективного нагрева испар емого металла за счет теплоты излучени нагревател и контактной теплопередачи от стенок контейнера, нагреватель выполиен сплошным, укреплен одним концом на торцовой крышке внутри контейнера напротив отверстий, причем один полюс источника подключен к свободному концу нагревател , а другой - к свободной крышкеthe effect of the liquid metal on the electrical parameters of the source and ensuring the effective heating of the evaporated metal due to the heat of radiation of the heater and contact heat transfer from the container walls, the heater is solid, fixed with one end on the end lid inside the container opposite the openings and the other to the free cap

контейнера.container.

/f/ff/ f / ff

Источник питани Power source

Фиг. IFIG. I

Фиг гFIG g